JPS6242117A - 空間光変調管 - Google Patents
空間光変調管Info
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- JPS6242117A JPS6242117A JP18279485A JP18279485A JPS6242117A JP S6242117 A JPS6242117 A JP S6242117A JP 18279485 A JP18279485 A JP 18279485A JP 18279485 A JP18279485 A JP 18279485A JP S6242117 A JPS6242117 A JP S6242117A
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- JP
- Japan
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- crystal
- substrate
- adhesive
- modulation tube
- conductive film
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- Granted
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空容器中に光電面または電子銃等の電子源
と電気光学結晶を設けて構成した空間光変調管に関する
。
と電気光学結晶を設けて構成した空間光変調管に関する
。
（従来の技術）
前述した空間光変調管において、前記電気光学結晶は、
真空容器内に機械的に支持されていた。
真空容器内に機械的に支持されていた。
解像度を向上させるためには前記結晶を薄く加工する必
要があり、例えば０．３ ｍ ｍ以下の厚さにすると、
機械的固定では結晶が反ってしまうという不都合がある
。
要があり、例えば０．３ ｍ ｍ以下の厚さにすると、
機械的固定では結晶が反ってしまうという不都合がある
。
そこで、本件発明者等は結晶を基板に接着した後、結晶
を薄くし研磨し、それらを接着したまま真空容器中に封
入する構造（特願昭５８−４１１８０号および特願昭５
９−１７１１９４号）を提案している。
を薄くし研磨し、それらを接着したまま真空容器中に封
入する構造（特願昭５８−４１１８０号および特願昭５
９−１７１１９４号）を提案している。
（発明が解決しようとする問題点）
前記提案によれば、結晶を薄くしても歪なく配置するこ
とができ、空間光変調管の解像度を向上させることがで
きる。
とができ、空間光変調管の解像度を向上させることがで
きる。
しかし、結晶の接着に用いられた接着剤が真空容器中に
入れることによりガスを放出し、このガスが光電面製作
の障害になったり、光電面作成後、光電面感度を低下さ
せる原因となっていることがわかった。
入れることによりガスを放出し、このガスが光電面製作
の障害になったり、光電面作成後、光電面感度を低下さ
せる原因となっていることがわかった。
電子源として光電面のかわりに電子銃を用いた空間光変
調管においても、前記ガス放出により管の寿命が短くさ
せられている。
調管においても、前記ガス放出により管の寿命が短くさ
せられている。
本発明の目的は前述した問題を解決することができる空
間光変調管を提供することにある。
間光変調管を提供することにある。
（問題を解決するための手段）
前記目的を達成するために、本発明による空間光変調管
は、真空容器中に形成された電子源からの電子が表面に
与えられることにより光学的変化を生ずる結晶を用いた
空間光変調管において、前記結晶を透明導電膜を介して
基板に接着剤で固定し、少なくとも前記基板と前記結晶
との周辺境界部を、蒸気圧の低い物質でコーティングし
て構成されている。
は、真空容器中に形成された電子源からの電子が表面に
与えられることにより光学的変化を生ずる結晶を用いた
空間光変調管において、前記結晶を透明導電膜を介して
基板に接着剤で固定し、少なくとも前記基板と前記結晶
との周辺境界部を、蒸気圧の低い物質でコーティングし
て構成されている。
（実施例）
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する
。
。
第１図は本発明による空間光変調管の使用例を示す略図
である。まずこの図面により動作原理等を簡単に説明す
る。
である。まずこの図面により動作原理等を簡単に説明す
る。
・インコヒーレント光像１は、レンズ２で空間光変調管
３の光電面４に投影される。
３の光電面４に投影される。
光電面４からは像１に対応した光電子が放出され、マイ
クロチャンネルプレート５によって増倍された後、電気
光学結晶７の表面に電荷像としてＭ積される。
クロチャンネルプレート５によって増倍された後、電気
光学結晶７の表面に電荷像としてＭ積される。
この電荷像により電気光学結晶７にその像に対応する屈
折率の変化が生じる。
折率の変化が生じる。
そこで、レーザ光１０を出力ガラス窓８を通して結晶に
照射すると、電気光学結晶７の中でレーザ光は変調され
、出力にコヒーレント像１１が得られる。
照射すると、電気光学結晶７の中でレーザ光は変調され
、出力にコヒーレント像１１が得られる。
このようなコヒーレント像はコヒーレント並列光演算に
使用される。
使用される。
第２図は前記電気光学結晶７ど出力ガラス窓８を取り出
して示した断面図である。
して示した断面図である。
基板となる出力ガラス面板８に透明導電膜（ＩＴＯ）１
０１を形成した後、電気光学結晶７の素材を、接着剤（
例えば紫外線硬化接着剤）１０３で接着する。
０１を形成した後、電気光学結晶７の素材を、接着剤（
例えば紫外線硬化接着剤）１０３で接着する。
そして固定された電気光学結晶７の素材の表面を研磨し
て、厚さ１００μｍ以下にし、表面を光学平面とする。
て、厚さ１００μｍ以下にし、表面を光学平面とする。
その後、５ｉ０２１０２を高周波スパッタで結晶７と基
板８の境界部の接着剤が外気と接触する部分を封じる。
板８の境界部の接着剤が外気と接触する部分を封じる。
第３図は電気光学結晶と出力ガラス窓の他の結合構造を
示す断面図である。
示す断面図である。
前述と同様に基板となる出力ガラス面板８に透明導電膜
１０１を形成した後、電気光学結晶７の素材を、接着剤
１０３で接着する。
１０１を形成した後、電気光学結晶７の素材を、接着剤
１０３で接着する。
そして同様に研磨した後に、結晶７の表面も含めて誘電
体ミラー（Ｓｉ０２とＺｒＯ２の多層膜）１０４をコー
ティングする。
体ミラー（Ｓｉ０２とＺｒＯ２の多層膜）１０４をコー
ティングする。
なお前述した各実施例は、結晶を出力ガラス面仮に接着
した例を示した。
した例を示した。
他の基板、例えば厚い結晶に結晶を接着した場合も前記
密封層による同様の効果を得ることができる。
密封層による同様の効果を得ることができる。
（発明の効果）
以上詳しく説明したように、本発明によれば、接着剤と
真空との界面を低蒸気圧物質で覆ってしまうので、接着
剤からのガスの放出を防止できる。
真空との界面を低蒸気圧物質で覆ってしまうので、接着
剤からのガスの放出を防止できる。
そのため、光電面作製の困難さ、光電面の感度低下を除
去することができると共に、電子銃タイプのものについ
ても寿命の低下を防止できる。
去することができると共に、電子銃タイプのものについ
ても寿命の低下を防止できる。
第１図は本発明による空間光変調管の実施例の使用例を
示す略図である。 第２図は電気光学結晶部分と基板の固定構造の第１の実
施例を示す断面図である。 第３図は電気光学結晶部分と基板の固定構造の第２の実
施例を示す断面図である。 ｌ・・・インコヒーレント像 ２・・・レンズ ３・・・空間光変調管 ４・・・光電面 ５・・・マイクロチャンネルプレート ６・・・メツシュ電極 ７・・・電気光学結晶 ８・・・出力ガラス面板 ９・・・ハーフミラ− １０・・・レーザ光 １０１・・・透明導電膜（ＩＴＯ） １０２＝−８ｉ ０２ 膜 １０３・・・接着剤層 １０４・・・誘電体ミラー １１・・・コヒーレント像 特許出願人 浜松ボトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 第１図 第２図 第３図
示す略図である。 第２図は電気光学結晶部分と基板の固定構造の第１の実
施例を示す断面図である。 第３図は電気光学結晶部分と基板の固定構造の第２の実
施例を示す断面図である。 ｌ・・・インコヒーレント像 ２・・・レンズ ３・・・空間光変調管 ４・・・光電面 ５・・・マイクロチャンネルプレート ６・・・メツシュ電極 ７・・・電気光学結晶 ８・・・出力ガラス面板 ９・・・ハーフミラ− １０・・・レーザ光 １０１・・・透明導電膜（ＩＴＯ） １０２＝−８ｉ ０２ 膜 １０３・・・接着剤層 １０４・・・誘電体ミラー １１・・・コヒーレント像 特許出願人 浜松ボトニクス株式会社 代理人 弁理士 井 ノ ロ 壽 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 真空容器中に形成された電子源からの電子が表面に与え
られることにより光学的変化を生ずる結晶を用いた空間
光変調管において、前記結晶を透明導電膜を介して基板
に接着剤で固定し、少なくとも前記基板と前記結晶との
周辺境界部を、蒸気圧の低い物質で覆い密封層を形成し
て構成したことを特徴とする空間光変調管。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18279485A JPS6242117A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
| US06/887,610 US4741602A (en) | 1985-08-20 | 1986-07-21 | Spatial light modulator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18279485A JPS6242117A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6242117A true JPS6242117A (ja) | 1987-02-24 |
| JPH028289B2 JPH028289B2 (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=16124532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18279485A Granted JPS6242117A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | 空間光変調管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6242117A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01102542A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報読取装置 |
| JPH04212191A (ja) * | 1990-04-06 | 1992-08-03 | Hamamatsu Photonics Kk | 光ヘテロダイン走査型ホログラフィ装置 |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP18279485A patent/JPS6242117A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01102542A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 放射線画像情報読取装置 |
| JPH04212191A (ja) * | 1990-04-06 | 1992-08-03 | Hamamatsu Photonics Kk | 光ヘテロダイン走査型ホログラフィ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH028289B2 (ja) | 1990-02-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |