JPH0283509A - 光学実験用特殊真空フランジ継手 - Google Patents
光学実験用特殊真空フランジ継手Info
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- JPH0283509A JPH0283509A JP23564588A JP23564588A JPH0283509A JP H0283509 A JPH0283509 A JP H0283509A JP 23564588 A JP23564588 A JP 23564588A JP 23564588 A JP23564588 A JP 23564588A JP H0283509 A JPH0283509 A JP H0283509A
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は気密性を必要とする光学実験用特殊真空フラン
ジ継手に係り、特に分光分析における分光測定のセル、
レーザ誘起化学反応実験における反応用セル、レーザ法
ウラン濃縮における反応器、レーザ装置の出力ミラー及
び高出力レーザ光の入射または出射を必要とするガスセ
ル等のフランジ継手に関する。
ジ継手に係り、特に分光分析における分光測定のセル、
レーザ誘起化学反応実験における反応用セル、レーザ法
ウラン濃縮における反応器、レーザ装置の出力ミラー及
び高出力レーザ光の入射または出射を必要とするガスセ
ル等のフランジ継手に関する。
第３図は従来の光学実験用特殊真空フランジ継手を示す
断面図で、図中１は光学材料、２は取付フランジ、３は
管、４はフランジ、５は０リング、６はボルト、７はナ
ツトである。
断面図で、図中１は光学材料、２は取付フランジ、３は
管、４はフランジ、５は０リング、６はボルト、７はナ
ツトである。
従来、光学実験に際して光学材料はフランジ継手に接続
する形で使用されてきた。すなわち、図示するように光
学材料１を取付フランジ２の上に乗せ、管３に設けたフ
ランジ４に０リング５を介して複数のボルト６とナツト
７で取り付けて管３内を気密に維持し、また、必要に応
じて照射すべきガスを封入して、下方からレーザ光を照
射していた。
する形で使用されてきた。すなわち、図示するように光
学材料１を取付フランジ２の上に乗せ、管３に設けたフ
ランジ４に０リング５を介して複数のボルト６とナツト
７で取り付けて管３内を気密に維持し、また、必要に応
じて照射すべきガスを封入して、下方からレーザ光を照
射していた。
ところで、光学材料を取り付けるときフランジ継手を横
に倒したり、複数のボルトとナツトの締め付けが不均等
になったりして、光学材料を破壊し易く、また長期使用
において、空気中の塵挨等が光学材料の表面に付着して
レーザ光等の照射時に局部的な発熱源となって光学材料
の破損の原因ともなった。さらに、赤外領域の光を透過
する光学材料は一般に脆く、潮解性を有する塩化カリウ
ム、塩化ナトリウム、フッ化バリウム等が多いため、乾
燥雰囲気に常時維持する必要があった。
に倒したり、複数のボルトとナツトの締め付けが不均等
になったりして、光学材料を破壊し易く、また長期使用
において、空気中の塵挨等が光学材料の表面に付着して
レーザ光等の照射時に局部的な発熱源となって光学材料
の破損の原因ともなった。さらに、赤外領域の光を透過
する光学材料は一般に脆く、潮解性を有する塩化カリウ
ム、塩化ナトリウム、フッ化バリウム等が多いため、乾
燥雰囲気に常時維持する必要があった。
本発明は上記問題点を解決するためのもので、取り付は
時の破壊の可能性を低減し、防塵、冷却及び乾燥雰囲気
を維持することができる光学実験用特殊真空フランジ継
手を提供することを目的とする。
時の破壊の可能性を低減し、防塵、冷却及び乾燥雰囲気
を維持することができる光学実験用特殊真空フランジ継
手を提供することを目的とする。
そのために本発明は、レーザ光が照射される被照射体端
部に取りつけたフランジと、環状段部が形成され、レー
ザ光の照射窓を形成する光学材料を保持する取りつけフ
ランジとの間をネジ固定するようにした光学実験用特殊
真空フランジ継手において、被照射体端部に取りつけた
フランジのネジ穴を袋ネジ穴とすると共に、取りつけフ
ランジの環状段部に断面り型の円形ガイドを設け、該円
形ガイドで光学材料を保持するようにしたこと、光学材
料の両面はＯリングにより気密に保持するようにしたこ
と、光学材料表面に気体を噴出するための気体供給口と
１個以上の気体噴出口を有する通気路を設けた通気フラ
ンジを、取りつけフランジに固定したこと、通気フラン
ジと取りつけフランジ間に０リングを設けると共に、通
気フランジの固定は、取りつけフランジの固定ネジによ
り行うようにしたことを特徴とする。
部に取りつけたフランジと、環状段部が形成され、レー
ザ光の照射窓を形成する光学材料を保持する取りつけフ
ランジとの間をネジ固定するようにした光学実験用特殊
真空フランジ継手において、被照射体端部に取りつけた
フランジのネジ穴を袋ネジ穴とすると共に、取りつけフ
ランジの環状段部に断面り型の円形ガイドを設け、該円
形ガイドで光学材料を保持するようにしたこと、光学材
料の両面はＯリングにより気密に保持するようにしたこ
と、光学材料表面に気体を噴出するための気体供給口と
１個以上の気体噴出口を有する通気路を設けた通気フラ
ンジを、取りつけフランジに固定したこと、通気フラン
ジと取りつけフランジ間に０リングを設けると共に、通
気フランジの固定は、取りつけフランジの固定ネジによ
り行うようにしたことを特徴とする。
（作用〕
本発明は光学材料をガイドで保持し、光学材料の上下面
にそれぞれ接するＯリングを介して環状の取付フランジ
を真空フランジ継手の袋ねじ穴にボルトで取り付けるこ
とにより、光学材料を真空フランジ継手に固定するよう
にして光学材料の取り付は時における破壊の危険性を低
減し、さらに、取付フランジの外側面に開口するガス供
給口と内側面で中心方向に開口する複数のガス噴出口と
を有する環状の通気路を設け、ガス供給口から噴出口へ
と光学材料に適した雰囲気ガスを供給することにより、
光学材料を塵挨から保護して局部的な発熱を防止し、或
いはそれぞれの光学材料に適した雰囲気ガス中に光学材
料を置くことができる。
にそれぞれ接するＯリングを介して環状の取付フランジ
を真空フランジ継手の袋ねじ穴にボルトで取り付けるこ
とにより、光学材料を真空フランジ継手に固定するよう
にして光学材料の取り付は時における破壊の危険性を低
減し、さらに、取付フランジの外側面に開口するガス供
給口と内側面で中心方向に開口する複数のガス噴出口と
を有する環状の通気路を設け、ガス供給口から噴出口へ
と光学材料に適した雰囲気ガスを供給することにより、
光学材料を塵挨から保護して局部的な発熱を防止し、或
いはそれぞれの光学材料に適した雰囲気ガス中に光学材
料を置くことができる。
以下、実施例を図面に基づき説明する。
第１図及び第２図は本発明の光学実験用特殊真空フラン
ジ継手の一実施例を示す図で、第１図は断面図、第２図
は下方からみた平面図で、図中、第３図と同一番号は同
一内容を示している。なお、１１はフランジ、１２は袋
ねし穴、１３は取付ボルト、１４は通気フランジ、１５
は取付フランジ、１６は光学材料ガイド、１７はＯリン
グ、１８はガス供給ノズル、１９はガス噴出口、２０は
ガス供給環状溝、２１．２２は０リングである。
ジ継手の一実施例を示す図で、第１図は断面図、第２図
は下方からみた平面図で、図中、第３図と同一番号は同
一内容を示している。なお、１１はフランジ、１２は袋
ねし穴、１３は取付ボルト、１４は通気フランジ、１５
は取付フランジ、１６は光学材料ガイド、１７はＯリン
グ、１８はガス供給ノズル、１９はガス噴出口、２０は
ガス供給環状溝、２１．２２は０リングである。
図において、本真空フランジ継手はフランジ１１を管３
の一端に取り付け、フランジ１１には、複数の袋ねじ穴
１２が設けてあり、取付ボルト１３を通気フランジ１４
から取付フランジ１５へとそれぞれのボルト穴を通して
、袋ねし穴１２にねじ込み、光学材料ガイド１６に！！
置した光学材料１、取付フランジ１５及び通気フランジ
１４をフランジ１１に固定する構造としており、このよ
うに袋ネジ穴とすることにより一定以上の締めつけが行
われないようにして取付ボルト１３で締め付けたとき、
特定位置だけ締めつけ過ぎたりすることを防止し、フラ
ンジ１１の全体に均等に締め付けが行われるようにして
いる。この場合、取付ボルト１３の先端部のねじ切り長
さをフランジ１１例のねじ切りの長さより短くするなど
の方策を講ずれば一層効果的である。
の一端に取り付け、フランジ１１には、複数の袋ねじ穴
１２が設けてあり、取付ボルト１３を通気フランジ１４
から取付フランジ１５へとそれぞれのボルト穴を通して
、袋ねし穴１２にねじ込み、光学材料ガイド１６に！！
置した光学材料１、取付フランジ１５及び通気フランジ
１４をフランジ１１に固定する構造としており、このよ
うに袋ネジ穴とすることにより一定以上の締めつけが行
われないようにして取付ボルト１３で締め付けたとき、
特定位置だけ締めつけ過ぎたりすることを防止し、フラ
ンジ１１の全体に均等に締め付けが行われるようにして
いる。この場合、取付ボルト１３の先端部のねじ切り長
さをフランジ１１例のねじ切りの長さより短くするなど
の方策を講ずれば一層効果的である。
フランジ１１の光学材料１の対抗面にはＯリング５が設
けてあり、光学材料１がフランジ１１に取り付けられた
とき、管３内の気密を維持することができる。
けてあり、光学材料１がフランジ１１に取り付けられた
とき、管３内の気密を維持することができる。
光線を通過させる穴を有する環状の取付フランジ１５は
上面中央に光学材料１を保持する環状凹部が設けてあり
、フランジ１１に取付フランジ１５を取り付けたとき０
リング５と１７で内外の気密を保持することができる。
上面中央に光学材料１を保持する環状凹部が設けてあり
、フランジ１１に取付フランジ１５を取り付けたとき０
リング５と１７で内外の気密を保持することができる。
また、光学材料ガイド１６は光学材料１をフランジに取
り付けるとき破損防止に役立てるもので、光学材料を保
持する段部を有し、Ｌ形断面の環状をしており、０リン
グ１７の気密効果に支障を与えない肉厚と高さを有し、
また取付フランジ１５の環状凹部に嵌合する外径を有し
ている。このガイドで光学材料を保持することにより、
例えば装置を横にして取りつけ作業を行ったとしても光
学材料が直接取りつけフランジ１５に当たって破損する
ようなことを防止することができる。このガイドは金属
性、或いは弾性を有する材料等適宜必要に応して選択す
ればよい。
り付けるとき破損防止に役立てるもので、光学材料を保
持する段部を有し、Ｌ形断面の環状をしており、０リン
グ１７の気密効果に支障を与えない肉厚と高さを有し、
また取付フランジ１５の環状凹部に嵌合する外径を有し
ている。このガイドで光学材料を保持することにより、
例えば装置を横にして取りつけ作業を行ったとしても光
学材料が直接取りつけフランジ１５に当たって破損する
ようなことを防止することができる。このガイドは金属
性、或いは弾性を有する材料等適宜必要に応して選択す
ればよい。
通気フランジ１４は取りつけフランジ１５と略々同一の
内径の穴を有する環状をしていて外側に設けたガス供給
ノズル１８と中央の穴に開口する複数個のガス噴出口１
９を有するガス供給環状溝２０を上面に設けている。取
付フランジ１５の下面に０リング２１及び２２を設けて
取付フランジＩ５と通気フランジ１４がフランジ１１に
取り付けられたときガス供給環状溝２０の気密を維持し
ている。通気フランジの固定は取りつけポルト１３で兼
用しているが、別途固定手段を設けるようにしてもよい
。
内径の穴を有する環状をしていて外側に設けたガス供給
ノズル１８と中央の穴に開口する複数個のガス噴出口１
９を有するガス供給環状溝２０を上面に設けている。取
付フランジ１５の下面に０リング２１及び２２を設けて
取付フランジＩ５と通気フランジ１４がフランジ１１に
取り付けられたときガス供給環状溝２０の気密を維持し
ている。通気フランジの固定は取りつけポルト１３で兼
用しているが、別途固定手段を設けるようにしてもよい
。
ガス供給ノズル１８から不活性ガス、乾燥ガス又は冷却
ガスを必要に応じて供給し、ガス噴出口１９から噴出さ
せ、光学材料の表面を任意の雰囲気にすることができ、
部屋全体の温度管理、湿度管理に神経を使う必要を軽減
化することができる。
ガスを必要に応じて供給し、ガス噴出口１９から噴出さ
せ、光学材料の表面を任意の雰囲気にすることができ、
部屋全体の温度管理、湿度管理に神経を使う必要を軽減
化することができる。
またガスの噴き出しにより光学材料表面に塵埃が付着す
るのを防止することができる。
るのを防止することができる。
以上のように本発明によれば、光学材料ガイドで光学材
料を保持し、またネジ固定のためのネジ穴を袋ネジ穴と
して一定以上の締めつけが行われるのを防止することに
より、フランジの締め付は方向の偏りやずれによる光学
材料の破損の危険性を減少して光学材料の脆弱性を保護
でき、また光学材料の両面に０リングを設けることによ
り真空フランジ継手の管内のシール効果を向上させるこ
とができる。
料を保持し、またネジ固定のためのネジ穴を袋ネジ穴と
して一定以上の締めつけが行われるのを防止することに
より、フランジの締め付は方向の偏りやずれによる光学
材料の破損の危険性を減少して光学材料の脆弱性を保護
でき、また光学材料の両面に０リングを設けることによ
り真空フランジ継手の管内のシール効果を向上させるこ
とができる。
さらに、通気フランジにガス供給通路を設け、光学材料
表面を冷却ガス、不活性ガス、或いは乾燥ガス等の任意
の雰囲気におくことができるとともにガスの噴き出しに
よる防塵効果をもたらすことにより光学材料の寿命を著
しく延ばすことが可能であり、実験室全体の温度、及び
湿度管理の軽減化を図ることができる。
表面を冷却ガス、不活性ガス、或いは乾燥ガス等の任意
の雰囲気におくことができるとともにガスの噴き出しに
よる防塵効果をもたらすことにより光学材料の寿命を著
しく延ばすことが可能であり、実験室全体の温度、及び
湿度管理の軽減化を図ることができる。
第１図及び第２図は本発明の光学実験用特殊真空フラン
ジ継手の一実施例を示す図で、第１図は断面図、第２図
は下方からみた平面図、第３図は従来の光学実験用特殊
真空フランジ継手を示す断面図である。 １・・・光学材料、２・・・取付フランジ、３・・・管
、４・・・フランジ、５・・・Ｏリング、６・・・ボル
ト、７・・・ナツト、１１・・・フランジ、１２・・・
袋ねし穴、１３・・・取付ボルト、１４・・・通気フラ
ンジ、１５・・・取付フランジ、１６・・・光学材料ガ
イド、１７・・・０リング、１８・・・ガス供給ノズル
、１９・・・ガス噴出口、２０・・・ガス供給環状溝、
２１．２２・・・０リング。 出 願 人 動力炉・核燃料開発事業団代理人弁理
士 蛭 川 昌 信（外４名）第１Ｉ！ ＺＬＩ 第２図
ジ継手の一実施例を示す図で、第１図は断面図、第２図
は下方からみた平面図、第３図は従来の光学実験用特殊
真空フランジ継手を示す断面図である。 １・・・光学材料、２・・・取付フランジ、３・・・管
、４・・・フランジ、５・・・Ｏリング、６・・・ボル
ト、７・・・ナツト、１１・・・フランジ、１２・・・
袋ねし穴、１３・・・取付ボルト、１４・・・通気フラ
ンジ、１５・・・取付フランジ、１６・・・光学材料ガ
イド、１７・・・０リング、１８・・・ガス供給ノズル
、１９・・・ガス噴出口、２０・・・ガス供給環状溝、
２１．２２・・・０リング。 出 願 人 動力炉・核燃料開発事業団代理人弁理
士 蛭 川 昌 信（外４名）第１Ｉ！ ＺＬＩ 第２図
Claims (4)
- （１）レーザ光が照射される被照射体端部に取りつけた
フランジと、環状段部が形成され、レーザ光の照射窓を
形成する光学材料を保持する取りつけフランジとの間を
ネジ固定するようにした光学実験用特殊真空フランジ継
手において、被照射体端部に取りつけたフランジのネジ
穴を袋ネジ穴とすると共に、取りつけフランジの環状段
部に断面Ｌ型の円形ガイドを設け、該円形ガイドで光学
材料を保持するようにしたことを特徴とする光学実験用
特殊真空フランジ継手。 - （２）光学材料の両面はＯリングにより気密に保持する
ようにした請求項１記載の光学実験用特殊真空フランジ
継手。 - （３）光学材料表面に気体を噴出するための気体供給口
と１個以上の気体噴出口を有する通気路を設けた通気フ
ランジを、取りつけフランジに固定したことを特徴とす
る光学実験用特殊真空フランジ継手。 - （４）通気フランジと取りつけフランジ間にＯリングを
設けると共に、通気フランジの固定は、取りつけフラン
ジの固定ネジにより行うようにした請求項３記載の光学
実験用特殊真空フランジ継手。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63235645A JPH07119862B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 光学実験用特殊真空フランジ継手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63235645A JPH07119862B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 光学実験用特殊真空フランジ継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0283509A true JPH0283509A (ja) | 1990-03-23 |
| JPH07119862B2 JPH07119862B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=16989084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63235645A Expired - Fee Related JPH07119862B2 (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 | 光学実験用特殊真空フランジ継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07119862B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146006A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学部品保持具 |
| JPS60172016A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-05 | Ricoh Co Ltd | ホロスキヤナ− |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP63235645A patent/JPH07119862B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59146006A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学部品保持具 |
| JPS60172016A (ja) * | 1984-02-17 | 1985-09-05 | Ricoh Co Ltd | ホロスキヤナ− |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07119862B2 (ja) | 1995-12-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |