JPH0284711A - 電解コンデンサ用アルミニウム急冷合金のエッチング方法 - Google Patents
電解コンデンサ用アルミニウム急冷合金のエッチング方法Info
- Publication number
- JPH0284711A JPH0284711A JP23715188A JP23715188A JPH0284711A JP H0284711 A JPH0284711 A JP H0284711A JP 23715188 A JP23715188 A JP 23715188A JP 23715188 A JP23715188 A JP 23715188A JP H0284711 A JPH0284711 A JP H0284711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- aluminum
- alloy
- electrolytic etching
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title abstract description 12
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title abstract description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title abstract 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 8
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 229910001093 Zr alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- ZGUQGPFMMTZGBQ-UHFFFAOYSA-N [Al].[Al].[Zr] Chemical compound [Al].[Al].[Zr] ZGUQGPFMMTZGBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N alumane;titanium Chemical compound [AlH3].[Ti] UQZIWOQVLUASCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000010791 quenching Methods 0.000 claims description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 abstract description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N ammonium dihydrogen phosphate Chemical compound [NH4+].OP(O)([O-])=O LFVGISIMTYGQHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 abstract 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 4
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000007739 conversion coating Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高静電容量を有する電解コンデンサ用アルミ
ニウム急冷合金のエツチング方法に関するものである。
ニウム急冷合金のエツチング方法に関するものである。
従来の技術
従来、電解コンデンサの電極として、アルミニウムおよ
びタンタルが広く用いられている。これらの電極の静電
容量を高める手法としてアルミニウムは該金属箔のエツ
チング処理を、タンタルは該金属粉体の成形、焼結を行
い、表面積を増大させている。特にアルミニウム電解コ
ンデンサは材料コストが安くエツチング処理を行うこと
により大容量、低コストのコンデンサを提供している。
びタンタルが広く用いられている。これらの電極の静電
容量を高める手法としてアルミニウムは該金属箔のエツ
チング処理を、タンタルは該金属粉体の成形、焼結を行
い、表面積を増大させている。特にアルミニウム電解コ
ンデンサは材料コストが安くエツチング処理を行うこと
により大容量、低コストのコンデンサを提供している。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、アルミニウムの電解エツチング技術も近
年急速に進歩したが、表面積を増加させるためにはエツ
チング形状をより微細化するか、深くまでエツチングを
行うかであり、それによる問題点も生じてきている。即
ち、前者においては化成による目詰まり現象を誘発し、
かえって静電容量の低下が起き、どうしてもより低い化
成電圧に限定されてしまう。一方後者においてはエツチ
ング孔が深くなることにより、ｔａｎδの増大、高周波
インピーダンスの特性劣化が避けられない。
年急速に進歩したが、表面積を増加させるためにはエツ
チング形状をより微細化するか、深くまでエツチングを
行うかであり、それによる問題点も生じてきている。即
ち、前者においては化成による目詰まり現象を誘発し、
かえって静電容量の低下が起き、どうしてもより低い化
成電圧に限定されてしまう。一方後者においてはエツチ
ング孔が深くなることにより、ｔａｎδの増大、高周波
インピーダンスの特性劣化が避けられない。
これらの問題点を解決すべく、アルミニウム酸化皮膜の
比誘電率より大きい金属とアルミニウムとの合金からな
る酸化皮膜を得るため、即ちアルミニラム−チタン合金
、アルミニウム−ジルコニウム合金箔が発明された。（
特開昭６０−６６８０６号 公報） これはアルミニウム−チタン合金、アルミニウム−ジル
コニウム合金の化成皮膜のもつ誘電率の増大を図ったも
のでエツチングを行う点、即ち表面積の増大の点より不
充分なものであった。
比誘電率より大きい金属とアルミニウムとの合金からな
る酸化皮膜を得るため、即ちアルミニラム−チタン合金
、アルミニウム−ジルコニウム合金箔が発明された。（
特開昭６０−６６８０６号 公報） これはアルミニウム−チタン合金、アルミニウム−ジル
コニウム合金の化成皮膜のもつ誘電率の増大を図ったも
のでエツチングを行う点、即ち表面積の増大の点より不
充分なものであった。
問題点を解決するための手段
本発明は、上述の表面積の拡大を図るため、超急冷法で
作製したアルミニウム−ジルコニウム合金、アルミニウ
ム−チタン合金の電解エツチングにおいて、交流または
直流にて電解エツチングを行った後、４５０℃〜６００
℃の範囲内で加熱処理を行い、再び交流または直流で電
解エツチングを行うことを特徴とする電解コンデンサ用
アルミニウム急冷合金のエツチング方法である。
作製したアルミニウム−ジルコニウム合金、アルミニウ
ム−チタン合金の電解エツチングにおいて、交流または
直流にて電解エツチングを行った後、４５０℃〜６００
℃の範囲内で加熱処理を行い、再び交流または直流で電
解エツチングを行うことを特徴とする電解コンデンサ用
アルミニウム急冷合金のエツチング方法である。
作用
アルミニウム中にチタン、もしくはジルコニウムを多量
に溶かし、合金を作製するためにはどうしても超急冷法
が必要となる。
に溶かし、合金を作製するためにはどうしても超急冷法
が必要となる。
この場合、アルミニウム中にはある程度のチタン、ジル
コニウムは固溶するが、その他のものはＡｌ５Ｔ Ｌ
Ａｊ！、Ｚ ｒなどの金属間化合物が析出し、それが微
細分散されている。この状態で電解エツチングを行うと
、上記の金属間化合物を残した形でエツチングされ、い
わゆるスケルトン型となる。従って、この金属間化合物
の粒径と析出密度がエツチング倍率を決める決定的因子
である。
コニウムは固溶するが、その他のものはＡｌ５Ｔ Ｌ
Ａｊ！、Ｚ ｒなどの金属間化合物が析出し、それが微
細分散されている。この状態で電解エツチングを行うと
、上記の金属間化合物を残した形でエツチングされ、い
わゆるスケルトン型となる。従って、この金属間化合物
の粒径と析出密度がエツチング倍率を決める決定的因子
である。
一般に超急冷法で作製した場合、上記の金属間化合物の
析出状況は微細かつ高密度となり、そのままエツチング
を施しても非常に微細なエツチング形態となり、その後
の化成を行っても化成皮膜が目詰まり現象を起こし、静
電容量の低下が起こる。
析出状況は微細かつ高密度となり、そのままエツチング
を施しても非常に微細なエツチング形態となり、その後
の化成を行っても化成皮膜が目詰まり現象を起こし、静
電容量の低下が起こる。
従って、析出粒径および分布をある程度コントロールし
てやる必要があるが、急冷合金作製時にその操作を行う
と、厚みなどの変化を伴うため、限度がある。一方急冷
合金作製後時効処理を行っても析出粒径の成長は図るこ
とができるが、エツチングの孔食開始点を減少させてし
まい、この点でコントロールが難しい。そこで、最、初
に前エツチングを少し行い孔食開始点で多数分布させた
後、４５０℃〜６００℃の範囲内で加熱処理を行い、そ
の時点で金属間化合物の析出を増大させた後、再びエツ
チングを行うと目詰まりが起こらないエツチングが実現
できた。
てやる必要があるが、急冷合金作製時にその操作を行う
と、厚みなどの変化を伴うため、限度がある。一方急冷
合金作製後時効処理を行っても析出粒径の成長は図るこ
とができるが、エツチングの孔食開始点を減少させてし
まい、この点でコントロールが難しい。そこで、最、初
に前エツチングを少し行い孔食開始点で多数分布させた
後、４５０℃〜６００℃の範囲内で加熱処理を行い、そ
の時点で金属間化合物の析出を増大させた後、再びエツ
チングを行うと目詰まりが起こらないエツチングが実現
できた。
加熱処理温度は、金属間化合物の成長が始まる４５０℃
以上でないと、エツチング形態に変化を及ぼさない。な
ぜならば、４５０℃未満の温度では急冷合金作製時に析
出されたＡ１．、ＴｉやＡｊ！、Ｚｒの金属間化合物の
析出サイズは不変であり、析出状態に対応したエツチン
グ形状を伴う該急冷合金箔としては、上記本発明の要旨
にそぐわない。
以上でないと、エツチング形態に変化を及ぼさない。な
ぜならば、４５０℃未満の温度では急冷合金作製時に析
出されたＡ１．、ＴｉやＡｊ！、Ｚｒの金属間化合物の
析出サイズは不変であり、析出状態に対応したエツチン
グ形状を伴う該急冷合金箔としては、上記本発明の要旨
にそぐわない。
４５０℃以上になると、金属間化合物の析出物成長が始
まり、それに伴いエツチング形態も変化し始める。
まり、それに伴いエツチング形態も変化し始める。
当然温度が上昇するに従って、エツチング形態の変化も
大きくなってゆく。どの温度に設定するかは化成電圧と
製品特性の挙動より判断することになる。しかしながら
、加熱処理温度が６００℃を超えると、急冷合金そのも
のにひずみが出たり、弯曲したり大幅な変形が起こる。
大きくなってゆく。どの温度に設定するかは化成電圧と
製品特性の挙動より判断することになる。しかしながら
、加熱処理温度が６００℃を超えると、急冷合金そのも
のにひずみが出たり、弯曲したり大幅な変形が起こる。
これ鵜急冷合金作製時における金属間化合物の析出分布
に起因するもので、分布の多い部分とそうでない部分と
の差が顕著になるからである。
に起因するもので、分布の多い部分とそうでない部分と
の差が顕著になるからである。
この結果、静電容量などについは、６００℃を超えても
ある程度効果があるが、コンデンサ製品にすることが非
常に困難となる。
ある程度効果があるが、コンデンサ製品にすることが非
常に困難となる。
また６６０℃を超えると、析出金属間化合物以外のＡ１
マトリクスの融解が始まり、箔状前を保つことすら困難
である。
マトリクスの融解が始まり、箔状前を保つことすら困難
である。
以上のことより、本発明の加熱処理温度としては４５０
℃〜６００℃の範囲が適切である。
℃〜６００℃の範囲が適切である。
実施例
超急冷法（単ロール法）でＡ １９゜Ｚｒ、、合金箔お
よびＡ１．、Ｔｉ、合金箔を作製した。
よびＡ１．、Ｔｉ、合金箔を作製した。
上記箔を塩酸６重量％、硫酸１重量％溶液中で直流エツ
チングを行った。その時１０クーロン／ ｅｒａを通電
した後、充分水洗を行い、５００℃で１０分間の加熱処
理を行い、再び直流エツチングで７０クーロン／ｃ１ａ
で通電した。なお、比較用として上記の中間加熱処理を
行わない８０クーロン／Ｃシの直流エツチングを行った
。
チングを行った。その時１０クーロン／ ｅｒａを通電
した後、充分水洗を行い、５００℃で１０分間の加熱処
理を行い、再び直流エツチングで７０クーロン／ｃ１ａ
で通電した。なお、比較用として上記の中間加熱処理を
行わない８０クーロン／Ｃシの直流エツチングを行った
。
上記のエツチングを行った箔をリン酸アンモニア溶液で
２０Ｖ化成と６０Ｖ化成を行い、箔特性を調査した。調
査結果を表に示した。
２０Ｖ化成と６０Ｖ化成を行い、箔特性を調査した。調
査結果を表に示した。
表
発明の効果
これらの結果より本発明法によれば、高い化成電圧のみ
ならず、低い化成電圧においても効果があることが明ら
かになった。併せて製品化した場合においてもｔａｎδ
の大幅な改善、高周波特性の大幅な改善となり、実施も
比較的容易であり、工業的かつ実用的価値の大なるもの
である。
ならず、低い化成電圧においても効果があることが明ら
かになった。併せて製品化した場合においてもｔａｎδ
の大幅な改善、高周波特性の大幅な改善となり、実施も
比較的容易であり、工業的かつ実用的価値の大なるもの
である。
Claims (1)
- 超急冷法で作製したアルミニウム−ジルコニウム合金、
アルミニウム−チタン合金の電解エッチングにおいて、
交流または直流にて電解エッチングを行った後、４５０
℃〜６００℃の範囲内で加熱処理を行い、再び交流また
は直流で電解エッチングを行うことを特徴とする電解コ
ンデンサ用アルミニウム急冷合金のエッチング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23715188A JPH0284711A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 電解コンデンサ用アルミニウム急冷合金のエッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23715188A JPH0284711A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 電解コンデンサ用アルミニウム急冷合金のエッチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284711A true JPH0284711A (ja) | 1990-03-26 |
Family
ID=17011160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23715188A Pending JPH0284711A (ja) | 1988-09-21 | 1988-09-21 | 電解コンデンサ用アルミニウム急冷合金のエッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0284711A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012046811A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 多孔性微粒子およびその製造方法 |
-
1988
- 1988-09-21 JP JP23715188A patent/JPH0284711A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012046811A (ja) * | 2010-08-30 | 2012-03-08 | Kanagawa Acad Of Sci & Technol | 多孔性微粒子およびその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102017034B (zh) | 用于铝电解电容器的电极材料和制造该电极材料的方法 | |
| JPS6134187A (ja) | 高圧電解コンデンサ用のアルミニウム陽極箔のエッチング方法 | |
| EP2947671A1 (en) | Method for producing electrode material for aluminum electrolytic capacitors, and electrode material for aluminum electrolytic capacitors | |
| KR102625388B1 (ko) | 전극 구조체 및 이의 제조 방법 | |
| JP4576001B2 (ja) | 電解コンデンサ電極用アルミニウム箔 | |
| JPH0284711A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム急冷合金のエッチング方法 | |
| CN109868495A (zh) | 一种在α+β双相钛合金上获得均匀TiO2纳米管阵列的方法及其应用 | |
| CN104103428A (zh) | 一种铝电解电容器用高压高介电化成箔的制造方法 | |
| JPH1136054A (ja) | 電解コンデンサ電極用アルミニウム箔の製造方法 | |
| JP3959680B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ陽極箔のエッチング方法 | |
| JP3959106B2 (ja) | 電解コンデンサ電極用硬質アルミニウム箔 | |
| JPH04162707A (ja) | 電解コンデンサ用電極材料およびその製造方法 | |
| JPH01124213A (ja) | 電解コンデンサ用合金電極及びその製造方法 | |
| JP4874039B2 (ja) | 電解コンデンサ陰極用アルミニウム合金箔及びそれに用いる合金箔地 | |
| JP2000239773A (ja) | 電解コンデンサ陽極用アルミニウム箔及びその製造方法 | |
| JPH0320059B2 (ja) | ||
| JPH0653087A (ja) | コンデンサ用電極材料の製造方法 | |
| JPS6037185B2 (ja) | アルミニウム電解コンデンサ−陰極用アルミニウム箔の製造方法 | |
| JP3244131B2 (ja) | 電解コンデンサ電極用アルミニウム合金箔及びその製造方法 | |
| JP5212268B2 (ja) | 多孔質バルブ金属陽極体の製造方法 | |
| JPS6066806A (ja) | 電解コンデンサ用アルミニウム合金電極 | |
| JP5112630B2 (ja) | 電解コンデンサ電極用アルミニウム材、電解コンデンサ用電極材の製造方法、アルミニウム電解コンデンサ用陽極材及びアルミニウム電解コンデンサ | |
| JP2002151362A (ja) | 電解コンデンサ陽極低電圧用アルミニウム合金箔及びその製造方法 | |
| JPH07176454A (ja) | 電解コンデンサ電極材料用アルミニウム箔および電解コンデンサ陰極材料 | |
| JPH083760A (ja) | 電解コンデンサ陽極用アルミニウムシートの製造方法 |