JPH0653087A - コンデンサ用電極材料の製造方法 - Google Patents

コンデンサ用電極材料の製造方法

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JPH0653087A
JPH0653087A JP19993092A JP19993092A JPH0653087A JP H0653087 A JPH0653087 A JP H0653087A JP 19993092 A JP19993092 A JP 19993092A JP 19993092 A JP19993092 A JP 19993092A JP H0653087 A JPH0653087 A JP H0653087A
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JP
Japan
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etching
intermetallic compound
surface area
electrode material
capacitor electrode
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JP19993092A
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Toyoji Ogura
豊史 小倉
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Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 Alと他の弁金属Ti,Zr,Ta,Nb,
Hf,V等のいずれか1種もしくは複数種を含み、Al
素地中にAlと金属間化合物の樹枝状組織を持つ合金
の、素地であるAlを溶解し、金属間化合物部分を残存
させることにより表面積を拡大してなるコンデンサ用電
極材料を提供する。 【構成】 これまでのようにエッチングを制御するので
はなく、Alと他の弁金属Ti,Zr,Ta,Nb,H
f,V等のいずれか1種もしくは複数種を含む合金中の
金属間化合物部分と素地部分の2つの組織が、溶解され
易い組織と溶解されにくい組織があることを積極的に利
用しコンデンサ用電極材料を得る。金属的に異なる2つ
の組織からなる材料を素地と同じ成分のAlを通常のエ
ッチング液より高濃度で含む溶液によって溶解しにくい
金属間化合物だけを残存し、表面積を拡大してなるコン
デンサ電極材料の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はAl合金をエッチング処
理したコンデンサ用電極材料の製造方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】電解コンデンサは静電容量を向上するた
め、原材料となるAl箔をエッチングすることで、利用
可能な表面積を拡大してきた。表面積拡大率の向上は、
様々なエッチングプロセスの改善とAl箔に添加した元
素による改善によってなされてきた。これまでのエッチ
ング箔において、表面積拡大をするためには細かく均一
な孔数と適切な孔径、さらには深さ方向に均一性が必要
であった。エッチングプロセスやAl箔の開発によって
より細かく均一な孔数と孔径が得られるように改善され
ているが、そのエッチングピットの発生世代や開始位置
を完全にコントロールするところまでにはいたらず、エ
ッチングの初期段階で大きな表面積を得られたとして
も、さらなる表面積拡大のためのエッチングの進行とと
もにエッチングピットが集中し、表面付近の脱落を起こ
し最終的に大きな表面積を得ることはできない。
【0003】従来、Al箔及びAl合金箔をエッチング
すると、浅いエッチングではほぼ均一なエッチング層を
維持できるが、高い静電容量を得るため深いエッチング
を施した場合、表面積には寄与せずむしろ著しく低下さ
せるエッチングピットが表面付近に集中して発生し、こ
れが進むと金属部分の脱落を生じていた。エッチングに
おいて、交流によるものか直流によるものかによりエッ
チングピットの成長は異なるが、いずれの方法によって
も現状より大きな表面積を得ることが難しく、これを解
決するにはエッチングピットを均一に分布させることが
必要である。
【0004】これまで高い誘電率を持つ元素を添加し、
高い静電特性を示すと考えられる合金開発は進められて
きたが、従来のエッチング方法ではエッチングピットの
集中が発生し、表面より脱落を起こし表面積の拡大が容
易に進まず従来の高純度Alの静電容量に及ばなかっ
た。該Al合金においても同様であり、従来のコンデン
サ電極用高純度Alに用いられるエッチング処理では合
金添加の効果も無く、得られる静電容量は低いままであ
った。また、該Al合金は樹枝状組織を表面積拡大に利
用すべく開発されたものであるが、樹枝状組織を表面積
拡大に安定に寄与させ、本来持つ静電容量を得る十分な
エッチング方法も見出せていなかった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】該Al合金の特性を最
大限利用するためには、樹枝状組織と周囲のAl素地の
金属組織学的違いを利用したエッチング方法が無く、エ
ッチングの進行にともない表面付近よりの樹枝状組織の
脱落が激しく、より深いエッチングを施しても静電容量
は期待するほど高い値は示さなかった。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者は上記の問題点
を吟味し、高い静電容量を得られる様々なAl合金につ
いて各種のエッチングを施し実験ならびに検討を加え
た。この結果、Alと他の弁金属Ti,Zr,Ta,N
b,Hf,V等のいずれか1種もしくは複数種を含み、
Al素地中にAlと金属間化合物の樹枝状組織を持つ合
金の素地であるAlを溶解し、金属間化合物部分を残存
させ、これにより表面積を拡大してなるコンデンサ用電
極材料の製造を可能にした。
【0007】これまでのように、エッチングを制御する
のではなく金属中に存在する溶解され易い組織と溶解さ
れにくい組織があることを積極的に利用し、エッチング
によって残存させる部分(樹枝状組織)と溶解させる部
分(Al素地)を金属組織的に分けることで可能にして
いる。この時のエッチング条件は素地であるAl金属の
溶解性と金属間化合物の溶解性の差が大きく出るような
溶液を用いる。
【0008】これを実現するためには、エッチング液中
の硫酸、燐酸、ほう酸等のエッチング時の抑制因子とな
る成分を含むことと、Al濃度を高く維持する必要があ
る。
【0009】
【作用】以下に本発明を詳細に説明する。
【0010】Al素地中にAlと他の弁金属Ti,Z
r,Ta,Nb,Hf,V等との金属間化合物を細かい
組織として持つ合金を、エッチングによって金属間化合
物以外の部分であるAl素地を溶解し、表面積拡大を行
う。この時のエッチング条件は素地であるAl金属の溶
解性と金属間化合物の溶解性の差が大きく出るような溶
液を用いる。
【0011】これを実現するためには、エッチング液中
の硫酸、燐酸、ほう酸等のエッチング時の抑制因子とな
る成分を含むと、Al濃度を高く維持する必要がある。
従来のエッチング液は、1.0〜2.0wt%のAlを含
むが本発明で用いるエッチング液は2.5〜18wt%の
高濃度であり、この液でのエッチングは従来と異なるエ
ッチング挙動を示す。こうしたエッチング液では、エッ
チング電流が直流、交流、パルスにおいてもその機構は
若干異なるが得られる形状は同様のものとなる。エッチ
ングの進行している近傍のAl濃度が浴槽全体のAl濃
度と余り差がないため、溶解力が弱く金属組織的に溶解
し易い部分へエッチングが進むようになるためである。
さらに抑制因子である硫酸、燐酸、ほう酸の少くとも1
種を0.05〜70wt%を加えることで金属組織的に忠
実に樹枝状組織を残し、樹枝の接合部分を保護するため
高い静電容量を得られるようになる。
【0012】もともと純Alに比べ金属間化合物は化学
的に安定でエッチングされ難く、この差を最大限に利用
し両組織が共存した場合に、Alだけを選択的に溶解さ
れるようにエッチングすることで可能となる。これによ
り、Alのエッチングのようにエッチングの進行ととも
に必要以外の部分の溶解を起こすことはなく脱落も発生
しない。金属組織に忠実に表面積を拡大し、制御的に有
利な材料となるため、従来の方法のものより歩留まりが
大幅に改善される。
【0013】拡大される表面積は、エッチング後残存す
る金属間化合物の形状で決定される。金属間化合物の形
状はその金属の鋳造、塑性加工、熱処理で決定され、金
属材料としての組織が表面積のほとんどを決定する。
【0014】本発明は、金属間化合物と素地金属の異な
る2つ以上の金属組織を持つ材料からエッチングによっ
て金属間化合物を掘り起こしてなるコンデンサ用電極材
料であり、このためエッチング液中に含まれる溶解すべ
き素地金属の濃度を高くすることで、金属間化合物部分
を残存させる方法は本発明と同様の考え方によるものと
する。例えば密接に存在する球状のAlとTiの金属間
化合物と、素地Alが存在する組織で、エッチング抑制
成分を添加しAl濃度を高い液でエッチングすることで
数珠のように接合した構造をもつ材料を得ることができ
る。また、エッチングの制御のためにPb,Cu,S
i,Fe,Bi,Mn,Ni,Cr等を含んだ金属間化
合物と金属素地とで構成される材料のエッチングに関し
ても本発明の効果は十分期待できる。
【0015】
【実施例】以下に該Al合金においてエッチングしてな
るコンデンサ用電極材料の実施例を示す。エッチング前
に表1に示す各電極材料を、10wt%水酸化ナトリウム
組成液中30℃で10分間処理し、10%硝酸組成液で
10分間処理した。比較例No.1,2,3の一般的なエ
ッチングは、10wt%塩酸と0.9wt%Alの液組成で
70℃、0.02A/cm2 の電流密度で、5分間通電し
た。実施例No.4,5は本発明によるエッチングで20
wt%硫酸と10wt%塩酸、8wt%Alの組成液で行っ
た。
【0016】陽極酸化処理条件は、液としてほう酸アン
モニウム80g/lの水溶液を用い、液温60℃、電圧
は20Vで行った。陽極酸化処理で20Vに到達後30
分間保持し、次に電気炉400℃に10分間入れ、陽極
酸化20V5分間保持した。これらの処理をした各材料
の特性を測定した結果を表1に示した。表から明らかの
ように、従来のAl用のエッチングでは高純度Al以外
の該Al合金では、静電容量が小さくなり、同一組成の
該Al合金を本発明のエッチングをすることでAlと同
等以上の特性を示した。該Al合金を電極材料として用
いるためには、本発明のエッチングが最適である。
【0017】
【表1】
【0018】
【発明の効果】以上のようにAlと他の弁金属Ti,Z
r,Ta,Nb,Hf,V等のいずれか1種もしくは複
数種を含む合金に適合する本発明のコンデンサ材料は、
従来の高純度Alのエッチングに比べ大きな静電容量を
安定して得ることが可能であり、コンデンサの歩留まり
に大きく貢献し工業的ならびに実用利用価値の大なるも
のである。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Alと他の弁金属Ti,Zr,Ta,N
    b,Hf,V等のいずれか1種もしくは複数種を含み、
    Al素地中にAlと金属間化合物の樹枝状組を持つ合金
    において、素地であるAlを溶解し、金属間化合物部分
    である樹枝状組織を残存させ、これによって表面積を拡
    大することを特徴とするコンデンサ電極用材料の製造方
    法。
  2. 【請求項2】 請求項1記載における該Al合金のエッ
    チングで、0.05〜70wt%硫酸、0.05〜30wt
    %塩酸、2.5〜18wt%Alを含む液でエッチング処
    理することを特徴とするコンデンサ電極用材料の製造方
    法。
  3. 【請求項3】 請求項1記載における該Al合金のエッ
    チングで、0.05〜70wt%燐酸、0.05〜30wt
    %塩酸、2.5〜18wt%Alを含む液で処理すること
    を特徴とするコンデンサ電極用材料の製造方法。
  4. 【請求項4】 請求項1記載における該Al合金のエッ
    チングで、0.05〜70wt%ほう酸、0.05〜30
    wt%塩酸、2.5〜18wt%Alを含む液で処理するこ
    とを特徴とするコンデンサ電極用材料の製造方法。
JP19993092A 1992-07-27 1992-07-27 コンデンサ用電極材料の製造方法 Withdrawn JPH0653087A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004045794A1 (ja) * 2002-11-18 2004-06-03 Cbmm Asia Co.,Ltd. 電解コンデンサ用Nb−Al合金粉末及びその製造方法、並びに電解コンデンサ
CN104903983A (zh) * 2013-02-26 2015-09-09 宁夏东方钽业股份有限公司 一种电容器级钽铌合金丝及其制造方法

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