JPH028756A - 表面電位分布の検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は表面電位分布の検出装置に関する。

（従来の技術） 近年になって高画質・高解像度の再生画像に対する要望
が高まるのに応じて、テレビジョン方式についても、い
わゆるＥＤＴＶ、ＨＤＴＶなどの新しい諸方式が提案さ
れて来ていることも周知のとおりであるが、高画質・高
解像度の再生画像が得られるようにするためには、高画
質・高解像度の再生画像を再生させつるような映像信号
を発生させることのできる撮像装置が必要とされるが、
撮像素子として撮像管が使用されている撮像装置におい
ては、撮像管における電子ビーム径の微小化に限界があ
るために、電子ビーム径の微小化による高解像度化が望
めないこと、及び、撮像管のターゲット容量はターゲッ
ト面積と対応して増大するものであるために、ターゲッ
ト面積の増大による高解像度化も実現することができな
いこと、また１例えば動画の撮像装置の場合には高解像
度化に伴って映像信号の周波数帯域が数十ＭＨｚ〜数百
ＭＨｚ以上にもなるためにＳ／Ｎの点で問題になる、等
の理由によって、撮像装置により高画質・高解像度の再
生画像を再生させつるような映像信号を発生させること
は困難である。

このように、従来の撮像装置はそれの構成のために不可
欠な撮像素子の存在によって、高画質・高解像度の再生
画像を再生させうるような映像信号を良好に発生させる
ことはできなかったが、前記の点を解決するために、本
出願人会社では先に、光−光変換素子を用いた撮像装置
によって高解像度の光学像を得るとともに、その光学像
を光−電荷変換素子を用いて電荷蓄積層を有する記録媒
体に高解像度を有する電荷像として記録させるようにし
た撮像方式ならびに記録方式についての提案を行った。

ところで、前記した光−光変換素子を用いた撮像装置に
よって高解像度の光学像を得るとともに、その光学像を
光−電荷変換素子を用いて電荷蓄積層を有する記録媒体
に高解像度を有する電荷像として記録させるようにした
本出願人会社による撮像方式ならびに記録方式の実施に
際しては、記録媒体に記録された電荷像を電気信号とし
て読出すことが必要とされるが、従来、記録媒体の電荷
像の読取りを光学的に行うようにする場合には、例えば
透明電極と光変調材層部材（印加された電圧によって光
の状態を変化させうるような特性を示す光変調材層部材
（例えば、電気光学効果を有するニオブ酸すチュウム単
結晶、あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層
のような光変調用の材料層などが用いられてよい））と
誘電体ミラーとを積層して構成した検出ヘッドが使用さ
れていた。

（発明が解決しようとする問題点） 前記した従来例装置では、検出ヘッドとして透明電極と
光変調材層部材（印加された電圧によって光の状態を変
化させうるような特性を示す光変調材層部材（例えば、
電気光学効果を有するニオブ酸すチュウム単結晶、ある
いは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層のような光
変調用の材料層などが用いられてよい））と誘電体ミラ
ーとを積層して構成したものが使用されていたが、前記
の誘電体ミラーは多層膜構造のものとして構成されるた
めに製作が簡単でなく、また、誘電体ミラーはそれに入
射した光の一部が透過するために反射率が１００％には
ならないために、感度の高い検出ヘッドを構成すること
が困難であり、それらの改善策が求められた。

（問題点を解決するための手段） 本発明は印加された電界の強度分布に応じて光の状態を
変化させる光学部材における相対する２つの面の一方の
面にレーザ光束を入射させる透明電極を設けるとともに
前記した２つの面における他方の面に導電物質製の反射
鏡を設けてなる検出ヘッドを、前記した導電物質製の反
射両側が検出の対象にされている表面電位分布を有する
被検出体に近接している態様で配置する手段と、前記し
た検出ヘッドにおける透明電極側からレーザ光束を入射
させる手段と、前記した検出ヘッドにおける導電物質製
の反射鏡で反射し、透明電極から出射した光を検光子を
介して光電変換器に与えて。

前記の光電変換器で光電変換する手段とを備えてなる表
面電位分布の検出装置、及び印加された電界の強度分布
に応じて光の状態を変化させる光学部材における相対す
る２つの面の一方の面にレーザ光束を入射させる透明電
極を設けるとともに前記した２つの面における他方の面
に導電物質製の反射鏡を設け、また、前記した導電物質
製の反射鏡に導電物質製の針状電極を突設させ、さらに
前記した導電物質製の針状電極が挿通されるべき透孔が
設けられている静電遮蔽体を設けてなる検出ヘッドを、
前記した静電遮蔽体が検出の対象にされている表面電位
分布を有する被検出体に近接している態様で配置する手
段と、前記した検出ヘッドにおける透明電極側からレー
ザ光束を入射させる手段と、前記した検出ヘッドにおけ
る導電物質製の反射鏡で反射し、透明電極から出射した
光を検光子を介して光電変換器に与えて、前記の光電変
換器で光電変換する手段とを備えてなる表面電位分布の
検出装置を提供するものである。

（実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の表面電位分布の検出
装置の具体的な内容について詳細に説明する。第１図及
び第２図は本発明の表面電位分布の検出装置のそれぞれ
異なる実施態様のブロック図である。

第１図に示されている本発明の表面電位分布の検出装置
のブロック図において、１はレーザ光源、２はレンズ、
３は必要に応じて設けられる偏光子。

４はビームスプリッタ、５は必要に応じて設けられる波
長板、６は検光子、７は光電変換器、ＲＡは検出ヘッド
であり、Ｏは表面電位の検出が行われるべき被検出体（
記録媒体）である。

第１図に示されている表面電位分布の検出装置において
使用されている検出ヘッドＲＡは、透明電極Ｅｔと光変
調材層部材ＰＭＬ（印加された電圧によって光の状態を
変化させつるような特性を示す光変調材層部材ＰＭＬ（
例えば、電気光学効果を有するニオブ酸すチュウム単結
晶、あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層の
ような光変調用の材料層などが用いられてよい））と導
電物質製の反射鏡ＭＭとを積層して構成されているもの
であって、前記した導電物質製の反射鏡ＭＭは、例えば
真空成膜法を適用して構成したアルミニウムの薄膜が使
用されてもよい。

第１図に示されている本発明の表面電位分布の検出装置
において、レーザ光源１から放射されたレーザ光束は、
必要に応じて設けられているレンズ２で平行光にされ、
次いで必要に応じて設けられている偏光子３によって所
定の偏光面を有する直線偏光とされた後に、ビームスプ
リッタ４に入射される。

ビームスプリッタ４を透過したレーザ光束は検出ヘッド
ＲＡに入射され、光変調材層部材ＰＭＬ（印加された電
圧によって光の状態を変化させうるような特性を示す光
変調材層部材ＰＭＬ（例えば、電気光学効果を有するニ
オブ酸すチュウム単結晶、あるいは電界散乱効果を示す
ネマチック液晶の層のような光変調用の材料層などが用
いられてよい））を通過して検出ヘッドＲＡにおける導
電物質製の反射ｆｆ１ＭＭに達し、その反射面で反射さ
れる。

前記もしたように検出ヘッドＲＡは透明ｉｔ極Ｅｔと光
変調材層部材ＰＭＬ（印加された電圧によって光の状態
を変化させうるような特性を示す光変調材層部材ＰＭＬ
（例えば、電気光学効果を有するニオブ酸すチュウム単
結晶、あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層
のような光変調用の材料層などが用いられてよい））と
導電物質製の反射ｆｉＭＭとを積層して構成されており
、それの導電物質製の反射！ＩＭＭ側が被検出体Ｏの表
面に接近して対面しているように配置されていて、検出
ヘッドＲＡにおける光変調材層部材ＰＭＬには前記した
導電物質製の反射ＭＭＭを介して被検出体Ｏによる電界
が与えられているから、前記のように検出ヘッドＲＡに
おける複屈折材料よりなる光ｇ調材層部材ＰＭＬに入射
したレーザ光束は、前記した検出ヘッドＲＡにおける導
電物質製の反射ｆｉＭＭに与えられた電荷パターンで生
じている電界に応じて複屈折材料よりなる光変調材層部
材ＰＭＬに生じた正常光と異常光の状態（この例の場合
には偏光面の角度）が変化する。

それで前記のように検出ヘッドＲＡの透明電極Ｅｔ側か
ら入射したレーザ光束が、光変調材層部材ＰＭＬを通過
して導電物質製の反射鏡ＭＭで反射した後に再び光変調
材層部材ＰＭＬを通過して透明電極Ｅｔの面から出射し
た光は、前記した被検出体○における電荷像の電位分布
と対応して変化しているものになっている。

前記のように検出ヘッドＲＡがらの出射光はビームスプ
リッタ４で反射されてから、必要に応じて設けられてい
る光量調節用の波長板５を透過した後に検光子６に入射
され、そして、前記のように検光子６を透過した光は光
電変換器７によって電気信号に変換される。

前記した第１図示の本発明の表面電位分布の検出装置は
、透明電極Ｅｔと光変調材層部材ＰＭＬと導電物質製の
反射鏡ＭＭとを積層して構成させた検出ヘッドＲＡを使
用しているので、この検出ヘッドＲＡに入射したレーザ
光束は、それの導電物質製の反射鏡ＭＭで１００％反射
され、したが。

て被検出体の表面電位を高い感度で検出することができ
る。また、前記した導電物質製の反射鏡ＭＭは、例えば
、真空成膜法の適用により極めて容易に製作することが
できる。

前記した第１図示の本発明の表面電位分布の検出装置で
は、透明電極Ｅｔと光変調材層部材ＰＭＬとＲ′Ｉｆｌ
物ｇ製の反射鏡ＭＭとを積層して構成させた検出ヘッド
ＲＡを使用しているので、この検出ヘッドＲＡによって
検出される被検出体の表面電位分布検出の分解能は、検
出ヘッドにおける導電物質製の反射鏡ＭＭの形状寸法と
、被検出体Ｏの表面と検出ヘッドにおける導電物質製の
反射鏡ＭＭとの間隔とによって定まるから、検出ヘッド
ＲＡによって検出される被検出体の表面電位分布検出の
分解能を向上させるためには、被検出体０の表面と検出
ヘッドにおける導電物質製の反射鏡ＭＭとの間隔を小に
し、また、検出ヘッドにおける導電物質製の反射鏡ＭＭ
の形状寸法を微小なものにすることが必要とされるが、
検出ヘッドの形状寸法を微小なものにしたり、被検出体
Ｏの表面と検出ヘッドにおける導電物質製の反射鏡ＭＭ
との間隔を一定の微小な間隔に保持して検出動作を行う
ことには困難さを伴うことがある。

第２図に示されている表面電位分布の検出装置において
使用されている検出ヘッドＲＡは、前記の問題点が解決
できるように構成された検出ヘッドＲＡを示しており、
この第２図に示されている検出ヘッドＲＡは、透明電極
Ｅｔと光変調材層部材ＰＭＬ（印加された電圧によって
光の状態を変化させつるような特性を示す光変調材層部
材ＰＭＬ（例えば、電気光学効果を有するニオブ酸すチ
ュウム単結晶、あるいは電界散乱効果を示すネマチック
液晶の層のような光変調用の材料層などが用いられてよ
い））と導電物質製の反射ｆｉＭＭ（例えば真空成膜法
を適用して構成したアルミニウムの薄膜）を積層し、前
記の導電物質製の反射ｆｆ１ＭＭに導電物質製の針状電
極ＥＤを突設させ、さらに前記した導電物質製の針状電
極ＦＤが挿通されるべき透孔８が設けられている静電遮
蔽体Ｓを設けて構成されている。

この第２図中に示されている検出ヘッドＲＡでは、ｅ屯
遮蔽体Ｓに設けられた孔８に挿通されている針状電極Ｅ
Ｄによって、被検出体０における表面電位分布を高い分
解能で検出することが可能である。第２図におけるビー
ムスプリッタ４の入射光側、ビームスプリッタ４の出射
光側の構成態様は、第１図示の表面電位分布の検出装置
と同様であってもよい。

第２図に示されている本発明の表面電位分布の検出装置
において、レーザ光源から放射されたレーザ光束は、必
要に応じて設けられているレンズで平行光にされ、次い
で必要に応じて設けられている偏光子によって所定の偏
光面を有する直線偏光とされた後に、ビームスプリッタ
４に入射される。

ビームスプリッタ４を透過したレーザ光束は検出ヘッド
ＲＡに入射され、光変調材層部材ＰＭＬ（印加された電
圧によって光の状態を変化させつるような特性を示す光
変調材層部材ＰＭＬ（例えば、電気光学効果を有するニ
オブ酸すチュウム単結晶、あるいは電界散乱効果を示す
ネマチック液晶の層のような光変調用の材料層などが用
いられてよい））を通過して検出ヘッドＲＡにおける導
電物質製の反射ｆｌｔＭＭに達し、その反射面で反射さ
れる。

前記もしたように検出ヘッドＲＡは透明電極Ｅｔと光変
調材層部材ＰＭＬ（印加された電圧によって光の状態を
変化させうるような特性を示す光変調材層部材ＰＭＬ（
例えば、電気光学効果を有するニオブ酸すチュウム単結
晶、あるいは電界散乱効果を示すネマチック液晶の層の
ような光変調用の材料層などが用いられてよい））と導
電物質製の反射鏡ＭＭとが積層されており、また、前記
の導電物質製の反射鏡ＭＭに導電物質製の針状電極ＥＤ
が突設されていて、さらに前記した導電物質製の針状電
極ＥＤが挿通されるべき透孔８が設けられている静電遮
蔽体Ｓを設けて構成されており、前記した導電物質製の
針状電極ＥＤが被検出体Ｏの表面に接近して対面してい
るように配置されていて、検出ヘッドＲＡにおける光変
調材層部材ＰＭＬには前記した導電物質製の針状電極Ｅ
Ｄ及び導電物質製の反射ｆｉＭＭを介して被検出体Ｏに
よる電界が与えられているから、前記のように検出ヘッ
ドＲＡにおける複屈折材料よりなる光変調材層部材ＰＭ
Ｌに入射したレーザ光束は、前記した検出ヘッドＲＡに
おける導電物質製の針状電極ＥＤでピックアップされて
導電物質製の反射鏡ＭＭに与えられた電荷パターンで生
じている電界に応じて複屈折材料よりなる光変調材層部
材ＰＭＬに生じた正常光と異常光の状態（この例の場合
には偏光面の角度）が変化する。

それで前記のように検出ヘッドＲＡの透明電極Ｅｔ側か
ら入射したレーザ光束が、光変調材層部材ＰＭＬを通過
して導電物質製の反射鏡ＭＭで反射した後に再び光変調
材層部材ＰＭＬを通過して透明電極Ｅｔの面から出射し
た光は、前記した被検出体Ｏにおける電荷像の電位分布
と対応して変化しているものになっている。

前記のように検出ヘッドＲＡからの出射光はビームスプ
リッタ４で反射されてから、必要に応じて設けられてい
る光量調節用の波長板を透過した後に検光子に入射され
、そして、前記のように検光子を透過した光は光電変換
器によって電気信号に変換される。

前記した第２図示の本発明の表面電位分布の検出装置は
、透明電極Ｅｔと光変調材層部材ＰＭＬと導電物質製の
反射！！ＭＭとを積層して構成させた検出ヘッドＲＡを
使用しているので、この検出ヘッドＲＡに入射したレー
ザ光束は、それの導電物質製の反射鏡ＭＭで１００％反
射され、したがって被検出体の表面電位を高い感度で検
出することができるし、また、静電遮蔽体Ｓに設けられ
た孔８中に挿通されていて、他の部分に対して静電遮蔽
されている状態の針状電極ＥＤとして極めて微細なもの
を使用することにより、被検出体の表面電位分布を高い
分解能で検出することができる。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したところから明らかなように１本発
明の表面電位分布の検出装置は、印加された電界の強度
分布に応じて光の状態を変化させる光学部材における相
対する２つの面の一方の面にレーザ光束を入射させる透
明電極を設けるとともに前記した２つの面における他方
の面に導電物質製の反射鏡を設けてなる検出ヘッドを、
前記した導電物質製の反射鏡側が検出の対象にされてい
る表面電位分布を有する被検出体に近接している態様で
配置する手段と、前記した検出ヘッドにおける透明電極
側からレーザ光束を入射させる手段と、前記した検出ヘ
ッドにおける導電物質製の反射鏡で反射し、透明電極か
ら出射した光を検光子を介して光電変換器に与えて、前
記の光電変換器で光電変換する手段とを備えてなる表面
電位分布の検出装置、及び印加された電界の強度分布に
応じて光の状態を変化させる光学部材における相対する
２つの面の一方の面にレーザ光束を入射させる透明電極
を設けるとともに前記した２つの面における他方の面に
導電物質製の反射鏡を設け、また、前記した導電物質製
の反射鏡に導電物質製の針状電極を突設させ、さらに前
記した導電物質製の針状電極が挿通されるべき透孔が設
けられている静電遮蔽体を設けてなる検出ヘッドを、前
記した静電遮蔽体が検出の対象にされている表面電位分
布を有する被検出体に近接している態様で配置する手段
と、前記した検出ヘッドにおける透明電極側からレーザ
光束を入射させる手段と、前記した検出ヘッドにおける
導電物質製の反射鏡で反射し、透明電極から出射した光
を検光子を介して光電変換器に与えて、前記の光電変換
器で光電変換する手段とを備えてなる表面電位分布の検
出装置であって、検出ヘッドとして透明電極Ｅｔと光変
調材層部材ＰＭＬと導電物質製の反射鏡ＭＭとを積層し
て構成させた検出ヘッドＲＡを使用しているので、この
検出ヘッドＲＡに入射したレーザ光束は°、それの導電
物質製の反射鏡ＭＭで１００％反射され、したがって被
検出体の表面電位を高い感度で検出することができるし
、また、静電遮蔽体Ｓに設けられた孔８中に挿通されて
いて、他の部分に対して静電遮蔽されている状態の針状
電極ＥＤとして極めて微細なものを使用することにより
、被検出体の表面電位分布を高い分解能で検出すること
ができる、本発明によれば既述した従来の問題点は良好
に解決できる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の表面電位分布の検出装置の
それぞれ異なる実施態様のブロック図である。 １・・・レーザ光源、２・・・レンズ、３・・・偏光子
、４・・・ビームスプリッタ、５・・・波長板、６・・
・検光子。 ７・・・光電変換器、ＲＡ・・・検出ヘッドであり、０
・・・表面電位の検出が行われるべき被検出体、Ｅｔ・
・・透明電極、ＰＭＬ・・・光変調材層部材、ＭＭ・・
・導電物質製の反射鏡、ＥＤ・・・導電物質製の針状電
極、特許出願人　　日本ビクター株式会社 手続補正書 （自発） 手続補正書（自発） 平成元年３月ノ９日 １、事件の表示 昭和６３年特許願第４３８６８号 ２、発明の名称 表面電位分布の検出装置 ３゜ 補正をする者 事件との関係　　　　特　許　出願人 任　所　神奈川県横浜市神奈用区守屋町３丁目１２番地
名称（４３２）　　日本ビクター株式会社４、代理人 昭和６３年特許願第４３８６８号 ２、発明の名称 表面電位分布の検出装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　特　許　出願人 任　所　神奈川県横浜市神奈用区守屋町３丁目１２番地
名称（４３２）　　日本ビクター株式会社４、代理人 ５、補正命令の日付 （自発） 明細書第２０頁第５行ｒ検出ヘッドであり、０・・・」
を次のように補正する。 ファクシミリ０３（４７２）２２５７番５、補正命令の
日付（自発） ６、補正により増加する請求項の数　１７、補正の対象 ［検出ヘッド、０・・・」 ｉ、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙のように補正する。 （２）明細書第６頁第５行「本発明は印加さ・・・　・
・・に応じて光」を次のように補正する。 ｒ本発明は印加された電界の強度分布に応じて光の状態
を変化させる光学部材における相対する２つの面の一方
の面に電磁放射線束を入射させる透明電極を設けるとと
もに前記した２つの面における他方の面に導電物！ｆ製
の反射鏡を設けてなる検出ヘッドを、前記した導電物質
製の反射鏡側が検出の対象にされている表面電位分布を
有する被検出体に近接している態様で配置する手段と、
前記した検出ヘッドにおける透明電極側から電磁放射線
束を入射させる手段と、前記した検出ヘッドにおける導
電物質製の反射鏡で反射した電磁放射線束を透明電極か
ら出射させる手段とを備えてなる表面電位分布の検出装
置と、印加された電界の強度分布に応じて光」 （３）明細書第８頁第２行［１はレーザ光源、Ｊを次の
ように補正する。 ［１は電磁放射線束の発生源、Ｊ （４）明細書第８頁第９行［第１図に示されている表面
電位分布の検出装置」を次のように補正する。 １第１図に示されている表面電位分布の検出装置におい
て、前記した電磁放射線束の発生源１としてはレーザ光
源が使用されているものとされており、以下の説明にお
いてはレーザ光［１のように記載されている。なお、電
磁放射線は広義の光。 すなわち電磁波とよばれる放射線の全スペクトル領域（
γ線、Ｘ線等の領域からラジオ波の長波までを含む領域
）の放射線を意味することは周知のとおりである５ また、第１図に示されている表面電位分布の検出装置」 （５）明細書第１７頁第５行「に１本発明の表面・・・
・・・は、印加さ」を次のように補正する。 ［に１本発明の表面電位分布の検出装置は印加された電
界の強度分布に応じて光の状態を変化させる光学部材に
おける相対する２つの面の一方の面に電磁放射線束を入
射させる透明電極を設けるとともに前記した２つの面に
おける他方の面に導電物質製の反射鏡を設けてなる検出
ヘッドを、前記した導電物質製の反射鏡側が検出の対象
にされている表面電位分布を有する被検出体に近接して
いる態様で配置する手段と、前記した検出ヘッドにおけ
る透明電極側から電磁放射線束を入射させる手段と、前
記した検出ヘッドにおける導電物質製の反射鏡で反射し
た電磁放射線束を透明電極から出射させる手段とを備え
てなる表面電位分布の検出装置と、印加さ」 （６）明細書第２０頁第３行「１・・・レーザ光源、」
・・・は、印加さ」を次のように補正する。 「１・・・電磁放射線束の発生源（レーザ光源）、」［
特許請求の範囲 １、印加された電界の強度分布に応じて光の状態を変化
させる光学部材における相対する２つの面の一方の面に
重」ｌｌｌｌｍ−を入射させる透明電極を設けるととも
に前記した２つの面における他方の面に導電物質製の反
射鏡を設けてなる検出ヘッドを、前記じた導電物質製の
反射鏡側が検出の対象にされている表面電位分布を有す
る被検出体に近接している態様で配置する手段と、前記
した検出ヘッドにおける透明電極側からｉ貫盈Ｍ皇来を
入射させる手段と、前記した検出ヘッドにおける導電物
質製の反射鏡で反射した電　　　　　をｍ　　から　　
さする手段とを備えてなる表面電位分布の検出装置 ２、印加された電界の強度分布に応じて光の状態を変化
させる光学部材における相対する２つの面の一方の面に
レーザ光束を入射させる透明電極を設けるとともに前記
した２つの面における他方の面に導電物質製の反射鏡を
設−は−工なる検出ヘッドを、前記した７電　　　の　
　　Ｊ−が検出の対象にされている表面電位分布を有す
る被検出体に近接している態様で配置する手段と、前記
した検出ヘッドにおける透明電極側からレーザ光束を入
射させる手段と、前記した検出ヘッドにおける導電物質
製の反射鏡で反射し、透明電極から出射した光を検光子
を介して光電変換器に与えて、前記の光電変換器で光電
変換する手段とを備えてなる表面電位分布の検出装置 ザ を入　させる と、 した ヘ　　ド えてなる 電 の 」 した ヘ　ドにおける 電 からレー 手続補正書 平成元年７月１３日 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 １、事件の表示 昭和６３年特許願第４３８６８号 ２、発明の名称 表面電位分布の検出装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　特　許　出願人 任、所　神奈川県横浜市神奈用区守屋町３丁目１２番地
名称（４３２）　　日本ビクター株式会社４、代理人 ファクシミリ０３（４７２）　２２５７番５、補正命令
の日付 平成元年５月１７日（発送日平成元年７月１１日）６、
補正の対象 平成元年３月１４日付提出の手続補正書の補正の内容の
欄７、補正の内容 （１）平成元年３月１４日付提出の手続補正書の補正の
内容の欄の（３）項の記載を次のように補正する。 「（３）明細書第８頁第３行「１はレーザ光源、」を次
のように補正する。 ［１は電磁放射線束の発生源、」　Ｊ （２，）平成元年３月１４日付提出の手続補正書の補正
の内容の欄の（５）項の記載を次のように補正する。 ＋＋’　（ｓ）明細書第１７頁第１５行「に、本発明の
表面・・・　・・・は、印加さ」を次のように補正する
。 ［に、本発明の表面電位分布の検出装置は印加された電
界の強度分布に応じて光の状態を変化させる光学部材に
おける相対する２つの面の一方の面に電磁放射線束を入
射させる透明電極を設けるとともに前記した２つの面に
おける他方の面に導電物質製の反射鏡を設けてなる検出
ヘッドを、前記した導電物質製の反射鏡側が検出の対象
にされている表面電位分布を有する被検出体に近接して
いる態様で配置する手段と、前記した検出ヘッドにおけ
る透明電極側から電磁放射線束を入射させる手段と、前
記した検出ヘッドにおける導電物質製の反射鏡で反射し
た電磁放射線束を透明電極から出射させる手段とを備え
てなる表面電位分布の検出装置と、印加さ」　　」

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、印加された電界の強度分布に応じて光の状態を変化
   させる光学部材における相対する２つの面の一方の面に
   レーザ光束を入射させる透明電極を設けるとともに前記
   した２つの面における他方の面に導電物質製の反射鏡を
   設けてなる検出ヘッドを、前記した導電物質製の反射鏡
   側が検出の対象にされている表面電位分布を有する被検
   出体に近接している態様で配置する手段と、前記した検
   出ヘッドにおける透明電極側からレーザ光束を入射させ
   る手段と、前記した検出ヘッドにおける導電物質製の反
   射鏡で反射し、透明電極から出射した光を検光子を介し
   て光電変換器に与えて、前記の光電変換器で光電変換す
   る手段とを備えてなる表面電位分布の検出装置。 ２、印加された電界の強度分布に応じて光の状態を変化
   させる光学部材における相対する２つの面の一方の面に
   レーザ光束を入射させる透明電極を設けるとともに前記
   した２つの面における他方の面に導電物質製の反射鏡を
   設け、また、前記した導電物質製の反射鏡に導電物質製
   の針状電極を突設させ、さらに前記した導電物質製の針
   状電極が挿通されるべき透孔が設けられている静電遮蔽
   体を設けてなる検出ヘッドを、前記した静電遮蔽体が検
   出の対象にされている表面電位分布を有する被検出体に
   近接している態様で配置する手段と、前記した検出ヘッ
   ドにおける透明電極側からレーザ光束を入射させる手段
   と、前記した検出ヘッドにおける導電物質製の反射鏡で
   反射し、透明電極から出射した光を検光子を介して光電
   変換器に与えて、前記の光電変換器で光電変換する手段
   とを備えてなる表面電位分布の検出装置。