JPH029253B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は全面層流型クリーンルームの天井吊設
フイルターシステムに於いて、フイルターフレー
ムを構成するフレーム枠材と、照明器具を取付け
る照明器具取付枠材の障害物を通してクリーンル
ームに清浄空気を流す装置に関するものである。

（従来の技術） 半導体の技術の進歩に伴いその製造に必要であ
るクリーンルームの清浄度も要求がかなり厳しく
なつてきており、フイルター自体の効率アツプも
さることながら、フイルター取付後のリーク防止
等かなり精密になつてきており、部屋全体のクリ
ーン度アツプの条件として一定面積の中でフイル
ターの占める割合（フイルター有効率）が如何に
多く取れるかが問題となり、現在ではそのフイル
ター有効率は80〜86％を占めるようになつた。

すなわち、従来の全面層流型クリーンルームの
天井吊設フイルターシステムは第５図及び第６図
に示すように、中空方形型材により形成されたフ
レーム枠材２１と照明器具取付枠材２２とを夫々
フイルター２３より稍小さい方形空隙部２４を設
けて接合固定して形成したフイルターフレーム２
５を、クリーンルームの周壁２６にほぼ接するよ
うにして天井に吊設し、照明器具取付枠材２２の
下面に照明器具２７を固設すると共に、フイルタ
ーフレーム２５の各方形空隙部２４上にフイルタ
ー２３が載置固定されている。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上記従来の天井吊設フイルター
システムには、フイルターフレーム２５を構成す
るフレーム枠材２１及び照明器具取付枠材２２が
機能上必要であり、そのため100％のフイルター
有効率はあり得ず、また照度の関係、照明器具の
形状等で制限があり、前記有効率以上にアツプす
ることができないという問題点があり、また第６
図のようにフイルターフレーム２５を構成するフ
レーム枠材２１及び照明器具取付枠材２２の直下
では空気が循環しないデツドスペース２８が生ず
るという問題点があつた。

（問題点を解決するための手段） 本発明は上記問題点に着目してなされたもの
で、フイルターフレームからも清浄空気が流れる
ようにしてフイルター有効率を高め、デツドスペ
ース部分を少なくして上記問題点を解決しようと
することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は中空のフレ
ーム枠材１と下面に開口部２を有する照明器具取
付枠材３とを全面層流型フイルター４を装置する
方形空隙部５を設けて接合固定してフイルターフ
レーム６を形成する一方、フレーム枠材１の上板
７に１個または複数個の長孔８を穿設し、且底板
９に多数の小孔１０を穿設すると共に、フレーム
枠材１の長孔８上に小型フイルター１１を装置
し、更に照明器具取付枠材３の上板１２に１個ま
たは複数個の長孔１３を穿設し、且多数の小孔１
４を穿設した取付板１５を前記開口部２に固定す
ると共に、取付板１５の上下面に夫々安定器１７
と照明器具１８を固着し、照明器具取付枠材３の
長孔１３上に小型フイルター１１を装置したこと
を特徴としている。

（作用） 上記のように構成された本発明の作用は次の通
りである。

方形空隙部５上に装置されたフイルター４より
清浄空気がクリーンルーム内に流れ、それと同時
にフイルターフレーム６上に装置された小型フイ
ルター１１により清浄空気がフイルターフレーム
６の小孔１０，１４を通してクリーンルーム内に
流れ、これによつてデツドスペース部分が少なく
なり、フイルター有効率が高められる。

（実施例） 本発明は実施の一例を図に就いて詳細に説明す
るに、中空方形型材により形成されたフレーム枠
材１と、下面側に開口部２を有する方形型材によ
り形成された照明器具取付枠材３とを夫々フイル
ター４より稍小さい方形空隙部５を設けて接合固
定してフイルターフレーム６を形成する。そし
て、フイルターフレーム６を構成するフレーム枠
材１の上板７にその長手方向に沿つて１個または
複数個の長孔８を穿設すると共に、フレーム枠材
１の底板９の全面に亘つて多数の小孔１０を穿設
して、前記各長孔８上にこれに被冠するように
夫々小型フイルター１１を装置して、該小型フイ
ルター１１、長孔８及び小孔１０を経て清浄空気
をクリーンルーム内に送気する。

また、照明器具取付枠材３の上板１２にその長
手方向に沿つて１個または複数個の長孔１３を穿
設し、且多数の小孔１４を全面に亘り穿設した取
付板１５を開口部２に対向して突設された鍔突条
１６に固定すると共に、取付板１５の上下面に
夫々安定器１７と照明器具１８を取付け、前記各
長孔１３上にこれに被冠するように小型フイルタ
ー１１を装置して、該小型フイルター１１、長孔
１３及び小孔１４経て清浄空気をクリーンルーム
内に送気する。

尚、図中１９はシール材で、フイルター４及び
小型フイルター１１とフイルターフレーム６の接
合面に於いて塗布する。

（発明の効果） 本発明は上述のようであるから、フイルターの
他の従来清浄空気送風機能を有しないフイルター
フレーム部分から小型フイルターを通して清浄空
気をクリーンルーム内に送気することができ、こ
れにより従来フイルターフレームの下方部分は空
気が循環しないデツドスペースと考えられていた
ものが、本発明により空気の循環可能となり、フ
イルター有効率が高くなるのである。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施の一例を示すものにして、第
１図は天井吊設フイルターシステムの平面図、第
２図はフイルターフレームの平面図、第３図は第
１図Ａ−Ａ線拡大断面図、第４図は第１図Ｂ−Ｂ
線拡大断面図、第５図は従来の天井吊設フイルタ
ーシステムの底面図、第６図は同縦断面図であ
る。 図中、１はフレーム枠材、２は開口部、３は照
明器具取付枠材、４はフイルター、５は方形空隙
部、６はフイルターフレーム、７は上板、８は長
孔、９は底板、１０は小孔、１１は小型フイルタ
ー、１２は上板、１３は長孔、１４は小孔、１５
は取付板、１７は安定器、１８は照明器具であ
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 中空のフレーム枠材と下面に開口部を有する
   照明器具取付枠材とを全面層流型フイルター装置
   用の方形空隙部を設けて接合固定してフイルター
   フレームを形成する一方、フレーム枠材の上板に
   １個または複数個の長孔を穿設し、且底板に多数
   の小孔を穿設すると共に、フレーム枠材の長孔上
   に小型フイルターを装置し、更に照明器具取付枠
   材の上板に１個または複数個の長孔を穿設し、且
   多数の小孔を穿設した取付板を前記開口部に固定
   すると共に、取付板の上下面に夫々安定器と照明
   器具を固着し、照明器具取付枠材の長孔上に小型
   フイルターを装置したことを特徴とする全面層流
   型クリーンルームの天井吊設フイルターシステム
   に於けるフイルターフレームから清浄空気を流す
   装置。