JPH0294380A - 静電接合の電極取付方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は静電接合に関し、特に電極取付方法に関する。

〔従来の技術〕

第２図は従来の静電接合の電極取付方法の一例を示す縦
断面図である。

従来、この踵の静電接合における電極取付方法は、第２
図に示すごとく、ヒータープレート１５上に接合物１３
と接合物１４を重ね、その上に電極１２を電極押えばね
１１を利用して加圧セツティングしていた。この電極１
２は接合物１３と接合物１４の厚さのばらつきや変形等
を吸収するなめに、先端が尖鋭状の電極形状となってい
た。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の静電接合の電極取付方法は、電極押えば
ねを介して先端が尖鋭状となっている電極を接合物へ加
圧する構造となっているので、電極押えばねを介した先
端が尖鋭状となっている電極は、支点がずれて電極が傾
いて取付られる。この結果、接合物同志又は接合物とヒ
ータープレートに均一荷重が得られず、安定した静電接
合ができないという欠点がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の静電接合の電極取付方法は、ヒータープレート
上に載置した２つの異種接合物に対して尖鋭な先端形状
を有する電極をばねの付勢力により加圧して接合するも
ので、前記電極が前記異種接合物に対して常に均一且つ
垂直な荷重がかかるごとき荷重分散機構となっている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の縦断面図である。

本実施例は電極押えばね１、電極２、取付具２ａ、軸２
ｂ、接合物３，４、ヒータープレート５及びヒーター６
を有してなる。

電極押えばね１の付勢力により下方向に荷重を受ける電
極２が、ヒーターブーレート５上に載置された被接合物
である接合物３．４に対して加圧されるように取付けら
れる。ここで電極２は荷重分散式（イコライザー式）の
機構となっており、取付具２ａに支持された軸２ｂに回
動自在に軸支され、また尖鋭状の先端電極はコの字形に
２極となっている。

このような構成の本実施例において５電極２を電極押え
ばね１の付勢力により加圧すると、イコライザー式とな
っている電極２は接合物３に対して、接合物３及び接合
物４の厚さのばらつきや変形等を吸収して、常に均等且
つ垂直な加重がかけられるので、接合面同志及びヒータ
ープレート５とが安定的に保持できる。この状態におい
て、ヒーター６の熱源からヒータープレート５を介して
、接合物３と接合物４へ熱を加えて、電極２から電圧を
印加することにより、安定的に静電接合をすることがで
きる。

なお本実施例で示した電極２は一例であって、これに限
定されず、同様な機能を有するイコライザー式の他の機
構を用いてもよいことは勿論である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、イコライザー式の機構の
電極を設けることにより、２つの異種接合物を静電接合
する場合において、異種接合物の厚さのばらつきや変形
等を吸収して接合物へ電極を取付けることができ、接合
面に均一加重が得られ、かつ安定的に静電接合ができる
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断面図、第２図は従来の
静電接合の電極取付方法の一例を示す縦断面図である。 １．１１・・・電極押えばね、２，１２・・・電極、２
　ａ−−−取付具、２　ｂ　・・・軸、３．４．１３．
１４・・・接合物、５，１５・・・ヒータープレート、
６，１６・・・ヒーター 兜　１　凶 代理人　弁理士　　内　原　　音 躬　２　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ヒータープレート上に載置した２つの異種接合物に対し
   て尖鋭な先端形状を有する電極をばねの付勢力により加
   圧して接合する静電接合の電極取付方法において、前記
   電極が前記異種接合物に対して常に均一且つ垂直な荷重
   がかかるごとき荷重分散機構となつていることを特徴と
   する静電接合の電極取付方法。