JPH0297268A - 磁気浮上式搬送アーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空技術を応用した装置、例えばプラズマエツ
チング装置、プラズマＣＶＤ装置等に用いられる真空容
器内に半導体ウェーハ等の被搬送物を搬入したり、真空
容器外に搬出したり、あるいは真空容器間で、被搬送物
を搬送する搬送アームに係り、特に磁石の吸引力を利用
して被搬送物を設けたアームを磁気浮上させて移動する
ことにより被搬送物を搬送する磁気浮上式搬送アームに
関する。

〔従来の技術とその課題〕

第３図は従来の搬送アームの一例を示す平面図で、この
第１従来例は真空容器（図示せず）内に、伸縮自在の関
節アーム１２とこれを伸縮させる駆動装置１３と関節ア
ーム１２に連結されウェーハ７を載置する載置部１４と
を設け、関節アーム１２を駆動装置１３により伸縮させ
ることによりウェーハ７を真空容器内に搬入したり、搬
出したりする構成になっている。

しかしこのような第１従来例にあっては、真空容器中に
設けられる部品点数が多く、また摺動部分がアームの関
節部等に存在するため潤滑、塵埃の発生等の課題がある
。

第４図はこのような課題を解決するために考案された第
２従来例の構成を示す縦断面図で、この第２従来例は真
空容器１内に断面コ字状のケース体１５を設け、このケ
ース体１５の環状部内に、電磁石５による移動体とこの
移動体を軸方向に移動するベルト４ｆとこのヘルド４ｆ
を懸架したプーリ４ｄと、このプーリ４ｄを介してヘル
ド４ｆを駆動するモータ４ａとを収設し、ケース体１５
の中心部内に、軟鉄３を配置し、この軟鉄３にウェーハ
７を載置したアーム８を取付けてなる。１１は真空容器
１に設けたアーム８の出入口で、ウェーハ７を搬入した
後ドア（図示せず）で密閉される。

このような第２従来例ではモータ４ａを駆動しプーリ４
ｄを介してベル）４ｆを移動させて電磁石５による移動
体を移動させることによりこの電磁石５により吸引され
る軟鉄３が移動し、これに取付けられたアーム８の移動
でウェーハ７を真空容器１の出入口１１より搬入したり
搬出したりするものである。

この第２従来例にあっては、電磁石５による移動体を真
空容器１と仕切られた断面コ字状のケス体５内に設け、
かつ真空容器１内で動（部分、即ち軟鉄３とこれに取付
けられウェーハ７を載置したアーム８を電磁石５により
浮上させて真空容器１内に摺動部分をなくしたものであ
るが、しかしケース体１５が複雑な形状になること、こ
の複雑な形状のケース体１５内に電磁石５による移動体
プーリ４ｄ、ベルト４ｆ及びモータ４ａを組込まねばな
らないこと、アーム８が最もケース体１５の中心部内に
引込んだときもうニーハフを載置したアーム部分がケー
ス体１５より出張っていること等により構造が複雑で製
作が容易でなく高価になるばかりでなく、ウェーハ７を
載置したアーム部分がケス体１５より出張っている分、
真空容器１内での占有スペースが大きくなり真空容器１
が大形になる等の課題がある。

また、ケース体１５を真空容器１に０リング１０により
シールされた軸部９で回転自在に枢支し、軸部９を回転
することによりウェーハ７を任意の方向に向けて搬送す
るようにした場合は更に占有スペースが大きくなるとい
う課題もある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明搬送アームは上記の課題を解決するため、第１．
第２図示のように真空容器１内に、真空気密構造の筒体
２を設け、この筒体２内に磁性体３とこれを軸方向に移
動する駆動源４を収容し、筒体２の外周囲に磁石５によ
る移動体６を配設せしめ、この移動体６に被搬送物７を
載置したアーム８を取付けてなる構成としたものである
。

〔作　用〕

駆動源４により磁性体３を軸方向に移動させると、この
磁性体３の移動に伴って磁石５による移動体６及びこれ
に取付りたアーム８が浮上した状態で移動し、このアー
ム８の移動によりこれに載置した被搬送物７が搬送され
ることになる。

〔実施例〕

以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明搬送アームの一実施例の構成を示す縦断
面図、第２図は本発明における移動体周りの簡略側面図
である。

第１．第２図において１は真空容器、２はこの真空容器
１内に設けた真空気密構造の円筒体である。この円筒体
２内には環状の軟鉄３とこれを軸方向に移動する駆動源
４が設けられている。駆動源４は軟鉄３の中心部に固定
されたナツト４ｂとこのナツト４ｂに螺合せしめたネジ
軸４Ｃと、このネジ軸４Ｃを回転するモータ４ａとで構
成されている。

円筒体２の外周囲には電磁石５による移動体６が配設さ
れ、この移動体６にはウェーハ７を載置したアーム８が
取付けられている。円筒体２は真空容器１に○リング１
０により真空シールされている部分を磁性流体シール等
を用いて回転可能に軸部９で枢支せしめられている。１
１は真空容器１に設けられたアーム８の出入口であり、
ウェーハ７が搬入されたときドア（図示せず）により密
閉される。

上記の構成においてモータ４ａによりネジ軸４Ｃを回転
させると、これに螺合したナツト４ｂと軟鉄３が軸方向
に移動し、この軟鉄３の移動に伴って電磁石５による移
動体６及びこれに取付けたアーム８が浮上した状態で移
動し、このアーム８の移動によりこれに載置したウェー
ハ７が搬送され、真空容器１の出入口１１より搬入され
たり、搬出されたりすることになる。

また、軸部９を回転すると、円筒体２．軟鉄３及びこれ
を移動する駆動源４が回転し、軟鉄３の回転により電磁
石５による移動体６及びアーム８が回転することにより
アーム８に載置したウェーハ７を任意の方向に向けるこ
とができ、ウェーハ７をあらゆる方向に搬送することが
できる。この場合、円筒体２の端面よりウェーハ７を載
置したアーム部分が殆ど出張ることなく回転できるので
真空容器１の小形化が図れる。

〔発明の効果〕

−１−述の説明より明らかなように本発明によれば、真
空気密構造の筒体２を簡単な形状にできること、この簡
単な形状の筒体２内に磁性体３及び駆動源４を容易に組
込むことができること、筒体２の端面より被搬送体７を
載置したアーム部分を殆ど引っ込めることができること
等により構造が簡単で製作が容易であり安価に実施でき
るばかりでなく、真空容器１内の占有スペースを第４図
の従来例に比し小さくでき真空容器１を小形にできる。

また、真空容器１を小形にできるので、高真空に迅速に
排気することができ、かつ真空気密構造の筒体２内の排
気も容易にできると共に、可動部分が少なく、摺動部分
が全くないため、発塵のおそれがない等の効果を奏する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明搬送アームの一実施例の構成を示す縦断
面図、第２図は本発明における移動体周りの簡略側面図
、第３図は従来の搬送アームの一例を示す平面図、第４
図は従来の搬送アームの他側の構成を示す縦断面図であ
る。 １・・・・・・真空容器、２・・・・・・真空気密構造
のく円）筒体、３・・・・・・磁性体（軟鉄）、４・・
・・・・駆動源、４ａ・・・・・・モーフ、４ｂ・・・
・・・ナツト、４ｃ・・・・・・ネジ軸、５・・・・・
・（電）磁石、６・・・・・・移動体、７・・・・・・
被搬送物（ウェーハ）、８・・・・・・アーム、９・・
・・・・軸部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空容器１内に、真空気密構造の筒体２を設け、
   この筒体２内に磁性体３とこれを軸方向に移動する駆動
   源４を収容し、筒体２の外周囲に磁石５による移動体６
   を配設せしめ、この移動体６に被搬送物７を載置したア
   ーム８を取付けてなる磁気浮上式搬送アーム。
2. （２）真空気密構造の筒体２を真空容器１にシールされ
   た軸部９で回転自在に枢支せしめてなる磁気浮上式搬送
   アーム。