JPH03100674U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03100674U JPH03100674U JP955490U JP955490U JPH03100674U JP H03100674 U JPH03100674 U JP H03100674U JP 955490 U JP955490 U JP 955490U JP 955490 U JP955490 U JP 955490U JP H03100674 U JPH03100674 U JP H03100674U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuating body
- pneumatic cylinder
- stopper mechanism
- backward
- movable part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示し、
第１図は真空用バタフライバルブの全体断面図、
第２図はそのバタフライバルブを適用した薄膜製
造装置のシステム図である。また、第３図及び第
４図は従来例を示し、第３図は第２図相当のシス
テム図、第４図は第１図相当の断面図である。 １……第１の圧空シリンダ、２ｂ……バルブプ
レート、３……伝達機構、４……ストツパ機構、
４ｃ……可動部（ピストン）、５……第２の圧空
シリンダ、７……作動体。
第１図は真空用バタフライバルブの全体断面図、
第２図はそのバタフライバルブを適用した薄膜製
造装置のシステム図である。また、第３図及び第
４図は従来例を示し、第３図は第２図相当のシス
テム図、第４図は第１図相当の断面図である。 １……第１の圧空シリンダ、２ｂ……バルブプ
レート、３……伝達機構、４……ストツパ機構、
４ｃ……可動部（ピストン）、５……第２の圧空
シリンダ、７……作動体。
Claims (1)
- 第１の圧空シリンダによつて進退付勢される作
動体と、この作動体の進退動作にバルブプレート
の開閉動作を連動させる伝達機構と、前記作動体
の後退位置を規制するストツパ機構と、このスト
ツパ機構の可動部を作動体の進退方向に沿つて突
没させる第２の圧空シリンダとを具備してなるこ
とを特徴とする真空用バタフライバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP955490U JPH03100674U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP955490U JPH03100674U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03100674U true JPH03100674U (ja) | 1991-10-21 |
Family
ID=31513151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP955490U Pending JPH03100674U (ja) | 1990-01-31 | 1990-01-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03100674U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144079B2 (ja) * | 1978-08-08 | 1986-10-01 | Copal Co Ltd | |
| JPS63190987A (ja) * | 1987-02-03 | 1988-08-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 流量切替弁及び装置 |
| JPH0379881A (ja) * | 1989-08-21 | 1991-04-04 | Aoki Kk | バルブアクチュエータ |
-
1990
- 1990-01-31 JP JP955490U patent/JPH03100674U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6144079B2 (ja) * | 1978-08-08 | 1986-10-01 | Copal Co Ltd | |
| JPS63190987A (ja) * | 1987-02-03 | 1988-08-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 流量切替弁及び装置 |
| JPH0379881A (ja) * | 1989-08-21 | 1991-04-04 | Aoki Kk | バルブアクチュエータ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03100674U (ja) | ||
| JPS58196402U (ja) | アクチユエ−タ作動用回路 | |
| JPS6318369U (ja) | ||
| JPS62152045U (ja) | ||
| JPH02110702U (ja) | ||
| JPH0164036U (ja) | ||
| JPS62112361U (ja) | ||
| JPH0281971U (ja) | ||
| JPH02110766U (ja) | ||
| JPS6075611U (ja) | 動弁機構 | |
| JPS6072358U (ja) | ブレ−キ用空圧作動器 | |
| JPH0448481U (ja) | ||
| JPH0267183U (ja) | ||
| JPH02124900U (ja) | ||
| JPH0428286U (ja) | ||
| JPS62144185U (ja) | ||
| JPS6450024U (ja) | ||
| JPS5946691U (ja) | ロボツト用ハンド | |
| JPS6215663U (ja) | ||
| JPH01160139U (ja) | ||
| JPS6169443U (ja) | ||
| JPH02113076U (ja) | ||
| JPH0294008U (ja) | ||
| JPS6125267U (ja) | 気圧式倍力装置 | |
| JPS58164965U (ja) | ブレ−キ倍力装置 |