JPH03101848U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03101848U JPH03101848U JP1129790U JP1129790U JPH03101848U JP H03101848 U JPH03101848 U JP H03101848U JP 1129790 U JP1129790 U JP 1129790U JP 1129790 U JP1129790 U JP 1129790U JP H03101848 U JPH03101848 U JP H03101848U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aperture
- arc chamber
- filament
- ion source
- gas supply
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のイオン源の模式断
面図、第２図は従来のイオン源の模式断面図であ
る。 １……ガス供給配管、２……第１アークチヤン
バ、３……第２のアークチヤンバ、３Ａ……アー
クチヤンバ、４……第１のフイラメント、４Ａ…
…フイラメント、５……第２のフイラメント、６
……インシユレータ、７，７Ａ，７Ｂ……フイラ
メント電源、８，８Ａ，８Ｂ……プラズマ発生用
電源、９……引出し電極、１０……引出し電源、
１１……内部プラズマイオン引出し電源、１２，
１２Ａ，１２Ｂ……アパーチヤー。
面図、第２図は従来のイオン源の模式断面図であ
る。 １……ガス供給配管、２……第１アークチヤン
バ、３……第２のアークチヤンバ、３Ａ……アー
クチヤンバ、４……第１のフイラメント、４Ａ…
…フイラメント、５……第２のフイラメント、６
……インシユレータ、７，７Ａ，７Ｂ……フイラ
メント電源、８，８Ａ，８Ｂ……プラズマ発生用
電源、９……引出し電極、１０……引出し電源、
１１……内部プラズマイオン引出し電源、１２，
１２Ａ，１２Ｂ……アパーチヤー。
Claims (1)
- ガス供給配管に接続され前面に第１のアパーチ
ヤーを有する第１のアークチヤンバと、この第１
のアークチヤンバ内に設けられた第１のフイラメ
ントと、前記第１のアークチヤンバの外周部に設
けられ前面に第２のアパーチヤーを有する第２の
アークチヤンバと、前記第１のアパーチヤーと第
２のアパーチヤー間に設けられた第２のフイラメ
ントと、前記第２のアパーチヤーに対向して設け
られた引出し電極とを備えたイオン源を含むこと
を特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1129790U JPH03101848U (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1129790U JPH03101848U (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03101848U true JPH03101848U (ja) | 1991-10-23 |
Family
ID=31514830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1129790U Pending JPH03101848U (ja) | 1990-02-06 | 1990-02-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03101848U (ja) |
-
1990
- 1990-02-06 JP JP1129790U patent/JPH03101848U/ja active Pending