JPH0310251A - 板状ワーク搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば基板露光装置等においてガラス基板等
の板状ワークをローダ部から露光部へ或いは露光部から
アンローダ部へ搬送する板状ワーク搬送装置に関し、特
に搬送の信頼性を向上できると共に搬送時間を短縮する
ことができる板状ワーク搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、基板露光装置等においてガラス基板等の板状ワー
クを例えばローダ部から露光部へ搬送するには、ローダ
部から露光部に向けて張設された搬送ベルトを用い、こ
の搬送ベルトの上面に板状ワークを載置して該ベルトを
回転することにより、搬送していた。あるいは、真空吸
着用の吸着パッドを用い、板状ワークの隅部に上記吸着
パッドを当てて真空吸着し、その位置で板状ワークを持
ち上げ、露光部まで送り、下降して真空吸着を解除する
ことにより、搬送していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記従来の搬送ベルトを用いた板状ワークの搬
送では、目標位置における停止精度のバラツキがあり、
正しく所望の位置に停止して（般送することができない
ことがあった。従って、搬送後に正しい位置に位置決め
する必要があり、搬送の信頼性が低下すると共に、余計
な時間がかかるものであった。また、搬送ベルトの上面
に板状ワークを載置するため、」二記搬送ベルトに付着
していたゴミが板状ワークに付着することがあった。

さらに、搬送ベルトの旺動により板状ワークとの間でス
リップを起こしてゴミが発生することがあり、異物が混
入することがあった。

一方、吸着パッドを用いた吸着搬送においては、板状ワ
ークの隅部を確実に吸着したかどうかを確認する必要が
あ°す、搬送の所要時間が多くなるものであった。また
、例えばガラス基板のレジス１−面を吸着パッドで直に
真空吸着するので、そのレジスト面に傷を付けることが
あり、搬送の信頼性が低下するものであった。

そこで、本発明は、このような問題点を解決し、搬送の
信頼性を向」二できると共に搬送時間を短縮することが
できる板状ワーク搬送装置を提供することを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明による板状ワーク搬
送装置は、板状ワークの保持搬送手段により板状ワーク
を保持し、その保持搬送手段を一の作業ステージと他の
作業ステージとの間で上昇、送り、下降、戻り動作をさ
せて」二記板状ワークを一の作業ステージから他の作業
ステージへ搬送する板状ワーク搬送装置において、上記
保持搬送手段は、駆動機構により板状ワークの外方から
所定のストロークで内方に接近してその四隅のコーナー
部を対向して挟み込むと共に該コーナー部を下面側から
支える四個の搬送爪を備えて成るものである。

また、上記搬送爪は、その先端部にて板状ワークを保持
する部分を緩衝性材料で形成すると効果的である。

〔作　用〕

このように構成された板状ワーク搬送装置は、味動機構
により板状ワークの外方から所定のスト０−クで内方に
接近してその四隅のコーナー部を対向して挟み込むと共
に該コーナー部を下面側から支える四個の搬送爪を備え
て成る保持搬送手段により板状ワークを保持し、その保
持搬送手段を一の作業ステージと他の作業ステージとの
間で上昇、送り、下降、戻り動作をさせ、上記板状ワー
クを一の作業ステージから他の作業ステージへ搬送する
ように動作する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明による板状ワーク搬送装置の実施例を示
す平面図であり、第２図はその正面図である。この板状
ワーク搬送装置は、基板露光装置等においてガラス基板
等の板状ワークを一の作業ステージから他の作業ステー
ジへ搬送するもので、板状ワーク１の保持搬送手段２と
、この保持搬送手段２のリフト機構３と、上記保持搬送
手段２の送り機構４とを有して成る。

」二記保持搬送手段２は、ガラス基板等の板状ワ一り１
を保持して搬送するもので、ベース部材５に取り付けら
れ叩動源としてのシリンダ６と、このシリンダ６の動作
により伸縮するロッド７の先端部に直交して取り付けら
れた作動レバー８と、この作動レバー８の両端部から両
側方の搬送爪１２．１２の取付板９，９まで伸びて張設
されたスプリング１０．１０と、」二記取付板９，９と
ベース部材５との間に設けられ該取付板９，９の前後動
作の方向を互いに内方に向けて約４５度の方向とするク
ロスローラガイド１１．１１と、上記取付板９，９の上
面に設けられ両側方にＬ字形に伸びその先端部で板状ワ
ーク１のコーナー部を保持する搬送爪１２．１２とを有
して成る。なお、上記シリンダ６から搬送爪１２までに
至る機構は、第１図に示すように、板状ワーク１を内方
に挟み込むように対向して設けられ、上記搬送爪１２は
合計四個設けられている。そして、」二記搬送爪１２は
、シリンダ６及び作動レバー８並びにスプリング１０、
取付板９、クロスローラガイド１１から成る駆動機構に
より、板状ワーク１の外方から所定のス１ヘロークで内
方に接近してその四隅のコーナー部を対向して挟み込む
ようになっている。さらに、上記搬送爪１２の先端部は
、第３図に示すように内側の角部１３が低い段状に形成
されており、第４図に示すようにこの低い段状の角部１
３で板状ワーク１のコーナー部を下面側から支えるよう
になっている。なお、第３図に示すように、上記搬送爪
１２の先端部にて板状ワーク１を保持する部分１４（」
二記の角部１３も含む）をゴム等の緩衝性材料で形成し
てもよい。この場合は、カラス基板等の板状ワーク］に
対して傷を付けるおそれを少なくすることができる。ま
た、第１図に示すように、上・記搬送爪１２の基端部の
内側辺がわには、それぞれストッパ１５が設けられてお
り、該搬送爪１２が板状ワーク１の方へ所定のス１−口
−りだけ進んだところでその動きを停止させるようにな
っている。

そして、上記保持搬送手段２は、第１図に示すように、
一の作業ステージ」６たとえばローダ部から板状ワーク
１を取り出した直後のステージと、他の作業ステージ１
７たとえばガラス基板にマスクの回路パターンを露光す
る露光部のステージとの間と同一の間隔で二組み並んで
設けられており、第２図に示すリフト機構３で上昇、下
降可能とされている。このリフト機構３は、第２図に示
すように、上記保持搬送手段２，２の下方側に設けられ
ており、取付台１８に回転可能に設けられたカム１９と
、このカム１９の回転により動作するリンク機構２ｏと
、このリンク機構２０の動作により回動するクランク機
構２１と、このクランク機構２１の動作を伝達する連結
バー２２と、この連結バー２２で連結された他のクラン
ク機構２１′とから成り、上記カム１９を所定の方向に
回転することにより、二組みの保持搬送手段２，２を矢
印Ａ、Ｂのように」二昇または下降させるようになって
いる。

さらに、上記保持搬送手段２は、第１図に示す送り機構
４で送り及び戻り動作が可能とされている。この送り機
構４は、第１図に示すように、」二記保持搬送手段２，
２の両側部の下方側に設けられており、駆動源としての
モータ２３と、このモータ２３により回転されるボール
ネジ２４と、このボールネジ２４の回転による水平方向
の移動を案内するリニアガイド２５と、上記ボールネジ
２４の回転を他側部がわのボールネジ２４に伝達するた
めのベル１〜２６とから成り、上記モータ２３を所定の
方向に回転することにより、二組みの保持搬送手段２，
２を矢印Ｃ，Ｄのように送り動作または戻り動作をさせ
るようになっている。

次に、このように構成された板状ワーク搬送装置の動作
について、第５図を参照して説明する。

まず、第１図において、一の作業ステージ１６上に載置
された板状ワーク１を保持して他の作業ステージ１７へ
搬送するとし、保持搬送手段２を」−記一の作業ステー
ジ１６上の板状ワーク１のところへ位置させる。このと
き、」二記保持搬送手段２の搬送爪１２は後退して板状
ワーク１の四隅のコーナー部より外方にある。この状態
で、第５図に示すように、シリンダ６を駆動してそのロ
ッド７を伸長させる。すると、上記ロット７の先端部に
取り付けられた作動レバー８が内方へ移動して、その両
端部に設けられたスプリング１０．１０を引っ張り、該
スプリング１ｏの他端部で両側方の搬送爪１２．１２の
取付板９，９を引っ張る。このとき、上記取付板９，９
は、その下面側に設けられたクロスローラガイド１１．
１１により案内されて、互いに内方に向けて約４５度の
方向で前進する。この結果、上記取付板９，９の上面に
設けられ両側方に伸びた搬送爪１２．１２は、第５図に
矢印Ｅ、Ｇで示すように、板状ワーク１の外方から内方
に接近して該板状ワーク１のコーナー部を挟み込む。な
お、この搬送爪１２．１２の矢印Ｅ、Ｇ方向の移動は、
上記搬送爪１２．１２の基端部の内側辺がわに設けられ
たストッパ１５，１５により、所定のストロークだけ進
んだところで停止される。これにより、上記搬送爪１２
．１２の先端は、板状ワーク１のコーナー部に直接接触
して押圧することがないようにされている。そして、第
３図に示すように、搬送爪１２の先端部の角部］−３で
−に記コーナー部を下面側から支えて保持する。このと
き、第１図に示す対向する四個の搬送爪１２が総て同期
して内方に接近し、板状ワーク１の四隅のコーナー部を
総て保持する。

このようにして板状ワーク１を保持したら、次に、第２
図に示すリフト機構３のカム１９を所定の方向へ回転し
、このカム１９の回転によりリンク機構２０及びクラン
ク機構２１を動作させ、」−配板状ワーク１を保持した
保持搬送手段２を矢印Ａのように上昇させる。これによ
り、第１図において、一の作業ステージ１６上に載置さ
れた板状ワーク１を保持搬送手段２で保持して上記作業
ステージ１６の上方に持ち上げることができる。

次に、この状態で、第］−図に示す送り機構４のモータ
２３を所定の方向へ回転し、このモータ２３の回転によ
りボールネジ２４を回転させ、このボールネジ２４の回
転動作によって、上記板状ワーク１を保持した保持搬送
手段２を矢印Ｃのように他の作業ステージ１７の方へ送
る。このとき、その送り動作は外側部に設けられたリニ
アガイド２５により水平方向に案内され、」二記保持さ
れた板状ワーク１が他の作業ステージ］−７の中心上方
に位置したところで停止する。

このようにして、上記保持搬送手段２に保持された板状
ワーク１が他の作業ステージ１７」二に搬送されたら、
次に、第２図に示すリフト機構３のカム１９を所定方向
へ回転し、このカム１９の回転によりリンク機構２０及
びクランク機構２１を動作させ、上記板状ワーク１を保
持した保持搬送手段２を矢印Ｂのように下降させる。こ
れにより、第１図において、一の作業ステージ１６から
矢印Ｃ方向に搬送されてきた板状ワーク１を下降して他
の作業ステージ１７上に載置すると共に、保持搬送手段
２は下降動作を停止する。

次に、この状態で、第５図に示すように、シリンダ６を
駆動してそのロッド７を収縮させる。すると、上記ロッ
ド７の先端部に取り付けられた作動レバー８が外方へ後
退して、その両端部に設けられたスプリング１０．１０
を押し戻し、該スプリング］−〇の他端部で両側方の取
付板９，９を押し戻す。このとき、」−記数イ］板９，
９は、クロス１ ０−ラガイド１１．１１により案内されて、互いに外方
に向けて約４５度の方向で後退する。この結果、上記取
付板９，９の上面に設けられた搬送爪１２．１２は、第
５図に矢印Ｆ、Ｈで示すように、板状ワーク１のコーナ
ー部から外方へ後退して該板状ワーク１のコーナー部に
対する保持を解除する。このとき、第１図に示す対向す
る四個の搬送爪１２が総て同期して外方に後退し、板状
ワーク１の四隅のコーナー部に対する保持を総て解除す
る。

このようにして板状ワーク１の保持を解除したら、次に
、第１図に示す送り機構４のモータ２３を所定の方向へ
回転し、このモータ２３の回転によりボールネジ２４を
回転させ、このボールネジ２４の回転動作によって、上
記保持搬送手段２を矢印りのように一の作業ステージ１
６の方へ戻す。

このとき、その戻り動作は外側部に設けられたリニアガ
イド２５により案内され、上記保持搬送手段２が一の作
業ステージ１６のところへ戻ったところで停止する。こ
れにより、板状ワーク１の搬２ 送動作の初期状態に戻る。以後、上記の動作を繰、り返
し、一の作業ステージ１６」二の板状ワーク１を順欣保
持して他の作業ステージ１７へ搬送すればよい・ なお、第１図及び第２図に示すように、二組みの保持搬
送手段２，２を並んで設け、ベース部材５及び連結バー
２２並びにリニアガイド２５で相互に連結したものにお
いては、第１図において左側の保持搬送手段２を一の作
業ステージ１６と他の作業ステージ１７との間で矢印Ｃ
，Ｄのように搬送動作するときは、これに連動して右側
の保持搬送手段２は他の作業ステージ１７とその次の作
業ステージたとえばアンローダ部へ板状ワーク１を収納
する直前のステージとの間で矢印Ｊ、にのように搬送動
作をすることとなる。この場合は、二つの作業ステージ
上の板状ワーク１を同時に搬送することができる。

また、上記保持搬送手段２は、第１図及び第２図に示す
ように二組み並んで設けるものに限られず、作業ステー
ジの数に応じて−組みだけでもよいし、三組み以」二設
けてもよい。

さらに、上記保持搬送手段２における搬送爪１２の駆動
機構は、第１図に示す構造のものに限らず、板状ワーク
１の外方から所定のス１−ロークで内方に接近してその
四隅のコーナー部を対向して挟み込むことができるもの
ならどのような構造であってもよい。また、リフＩ〜機
構３及び送り機構４も、第１図及び第２図に示すものに
限られず、同様の機能を発揮できるならばどのような構
造で、あってもよい。

〔発明の効果〕

本発明は以」二のように構成されたので、１ｌｉｌｆｌ
動機構により板状ワ、−り１の外方から所定のストロー
クで内方に接近してその四隅のコーナー部を対向して挟
み込むと共に該コーナー部を下面側から支える四個の搬
送爪１２を備えて成る保持搬送手段２により板状ワーク
１を保持し、その保持搬送手段２を一の作業ステージ１
６と他の作業ステージ１７との間で上昇、送り、下降、
戻り動作をさせ、上記板状ワーク１を一の作業ステージ
１６から他の作業ステージ１７へ搬送することができる
。従って、従来の搬送ベルトを用いた搬送や、吸着パッ
トを用いた搬送等のように、直接ガラス基板等の板状ワ
ーク１の表面に搬送手段が大きく接触することはなく、
」二記板状ワーク１にゴミ等の異物が付着するのを防止
することができる。また、特に搬送爪１２の先端部にお
いて板状ワーク１を保持する部分１４を緩衝性材料で形
成した場合は、板状ワーク１の表面に傷を付けるおそれ
を無くすことができる。このことから、製品としての品
質及び歩留まりを向上することができる。また、保持搬
送手段２の四個の搬送爪１２で板状ワーク１の四隅のコ
ーナー部を下面側から支えるだけで該板状ワーク１を確
実に保持できるので、従来の吸着パラ１（による搬送の
ように吸着保持をいちいち確認することなく、スムーズ
に搬送することができる。さらに、保持搬送手段２の送
り動作においては、目標位置における停止精度のバラツ
キがなく正しく所望の位置に停止して搬送できるので、
搬送の信頼性を向上することができる。これらの１５− ことから、本発明によれば、板状ワークエの搬送の信頼
性を向」二できると共に搬送時間を短縮することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による板状ワーク搬送装置の実施例を示
す平面図、第２図はその正面図、第３図は搬送爪の先端
部を示す要部拡大平面図、第４図は同じく搬送爪の先端
部を示す要部拡大側面図、第５図は保持搬送手段におけ
る板状ワークの保持動作を説明するための要部拡大平面
図である。 １・・・板状ワーク、　　２・・・保持搬送手段、　　
３リフト機構、　４・・・送り機構、　６・・シリンダ
、８・・・作動レバー、　９・・・取付板、　１０・・
スプリング、　　１１・・・クロスローラガイド、　　
１２・・搬送爪、　１４・・・板状ワークを保持する部
分、　　１５・・・ストッパ、　　１６・・・一の作業
ステージ、　　１７・・・他の作業ステージ。 ］６

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）板状ワークの保持搬送手段により板状ワークを保
   持し、その保持搬送手段を一の作業ステージと他の作業
   ステージとの間で上昇、送り、下降、戻り動作をさせて
   上記板状ワークを一の作業ステージから他の作業ステー
   ジへ搬送する板状ワーク搬送装置において、上記保持搬
   送手段は、駆動機構により板状ワークの外方から所定の
   ストロークで内方に接近してその四隅のコーナー部を対
   向して挟み込むと共に該コーナー部を下面側から支える
   四個の搬送爪を備えて成ることを特徴とする板状ワーク
   搬送装置。
2. （２）上記搬送爪は、その先端部にて板状ワークを保持
   する部分を緩衝性材料で形成したことを特徴とする請求
   項１記載の板状ワーク搬送装置。