JPS5943541A - ウエハ収納カセツトの搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は半導体、ガラス板、セラミック板、プリント
基板等薄板材（以後ウエハと称する。）の収納カセット
の搬送用保持具に関するものである。

ウエハに金属薄膜の蒸着、フォトレジストの塗布、ベー
キング、霞光、現像、エッチング、洗浄および剥膜など
の各処理が順次施されて、たとえば隼積回路の製作工程
が進められるのであるが、これらの処理を行う成脱装置
、フォトレジスト塗布装置などにウエハを送りこむに当
っては、第１図に示すようなウエハ収納カセットにウエ
ハを収納し、このウエハが収納されたカセットを人手で
搬送し、前記各処理装置のカセット載置台上に、セット
し、そのハンドリング機構によりウエハを１枚ずつ取り
出すようにされている。

ウエハ収納カセット０（）は、内面に多数個の溝（目）
が一定のピッチにて水平に刻設された側板（１２）を連
結部材（１つを介して対向結合して構成され、前記各溝
（１１）にウエハ０：拳がその周縁部を托して収納され
るのであるが、この収納のためには、たとえばカセット
０１を角形切欠部を有するテーブルリフターにセットし
、１対のリングベルトからなるコンベヤを矢印方向から
前記角形切欠部に挿入するように設け、このコンベヤを
その搬送面が最上段の溝（１０の中心面に一致するよう
、前記テーブルリフターによってカセットを降下させて
おいてから前記コンベヤによってウエハ（１３）を送り
こみ、最上段の溝（ＩＩ）に受け渡し、ついで溝（Ｉ１
）のピッチ分だけ前記テーブルリフターを上昇させ、前
記同様にコンベヤから送られてくるつぎのウエハ（１３
）を上から２段目の溝（１１）に受け渡すといった動作
を反復することによって全部の溝（１１）にウエハ（１
３）をそれに手を触れることなしに収納する方法がとら
れている。そしてウエハ（１３）がカセット（１０）の
各溝（１１）に受け渡しされる際にそのオーバランを防
止するとともに、ウエハ（１３）を垂直方向に対して前
後整列させるため、カセット（１０）を第１図の中間高
さ位置の溝（１１）にそって切断し上方からみた断面図
（第２図）に示されるように、各側板（１２）にストッ
パピン（１４）が各溝（１１）を貫通して押し込まれて
いる。

またウエハ（１３）をこのカセット（１０）から取り出
すには、前記した収納時における動作を逆方向に行えば
よい。いずれにしてもカセットを前記したウエハの各処
理装置のカセット載置台にセットすれば、ウエハの収納
ならびに取り出しは前記した動作またはこれと類似の動
作を行うハンドリング機構によって自動的に行われるよ
うにされているのであるが、ウエハ収納カセット（１０
）それ自体の前記処理装置間における搬送は従来主とし
て人手で行われている。そのために搬送時にウエハに被
服などからのゴミやホコリ等の異物が付着しやすく、と
きにはカセットからウエハを落下させることがあり、ウ
エハを落下させずとも、前記ストッパーピンより前方に
ウエハをすべり出させ、このカセットを前記カセット載
置台にセットした場合に、たとえばウエハ有無感知装置
の誤動作を招来するなどの欠点があった。また一部に行
われているウエハ収納カセットの自動搬送においても従
来の搬送装置では搬送間に伴なう振動などにより前記し
たウエハのすべり出し、さらには落下が生ずる欠点を有
していた。

この発明は、ウエハをウエハ収納カセットに収納し、各
処理装置間をし送する場合における前記不都合を解消す
るためになされたものであって、ウエハ収納カセットを
侠持し、搬送するに伴う振動などによるウエハの収納溝
からのすべり出しを抑止するようにしたウエハ収納カセ
ットの搬送装置を提供することを目的とし、前記したウ
エハ収納カセットを挾持搬送するようにしたウエハ収納
カセットの搬送装置において、前記カセットの側板に、
ウエハが収納された状態において各ウエハの前方縁端部
を拘束する位置にストッパピンの挿入用貫通孔を設け、
ウエハ収納カセットの搬送時にこの挿入用貫通孔にスト
ッパピンの挿入を行うストッパピン上下動機構を設けた
ことを特徴とするウエハ収納カセットの搬送装置にかか
るものである。

以下、この発明にかかる実施例装置について図面を参照
しながら詳細に説明する。

第３図はこの装置の要部を示す斜視図である。

ウエハ収納カセット（１０）を搬送するこの搬送装置の
一部をなす水平支持腕部（２１）には、一対の支持兼案
内軸（２２）がその中央部にて固定されており、支持兼
案内軸（２２）のそれぞれ端部にカセット挾持腕（２３
）が摺動自在なるように係合されている。

そしてカセット挾持腕（２３）には、２本の支持兼案内
軸（２２）の丁度中間位置に作動板（２４）がそれぞれ
固定され、この作動板（２４）に、支持腕部（２１）の
下面にそれぞれ背中合せに装着された直動形駆動機（こ
の例ではソレノイド）（２５）の作動ロツド（２６）が
それぞれ連結されている。支持兼案内軸（２２）には、
それぞれ端部に抜け止めプッシュ（２７）が固定されて
いるとともに、支持腕部（２１）とカセット挾持腕（２
３）間に圧縮コイルばね９がそれぞれ係合されている。

したがってソレノイド（２５）に通電がなされていない
ときは、カセット挾持腕（２３）は、圧縮コイルばね０
９からの弾発力によって支持兼案内軸（２２）にそって
それぞれ外側方向へ摺動させられ、それぞれの外側面が
抜け止めブッシュ（２７）に当接し、図示の位位に保た
れるようにされている。

カセット扶持腕ａは、その内側面にそれぞれゴムなどか
らなる一対の挾持片ｌが接着剤により固定されている。

そしてカセット挾持腕（２３）が図示の位置に保たれて
いる場合には、挾持片四の挾持面間の間隔は、カセット
四の幅寸法Ｂより十分に大きくなるようにされている。

水平支持腕部（２１）には、ウエハ収納カセット（１０
）のストツパピン（１４）とともにウエハ（２３）の緑
端面に接触し、そのすべり出しを抑止する前記とは別な
ストッパピン（３０）をカセット（１０）の側板（１２
）に、第２図に２点鎖線にて示した位置に設けた挿入貫
通孔（３１）に対して挿脱するためにストッパピン上下
動機構（３２）が装着されている。このストッパピン上
下動機構（３２）は、水平支持腕部（２１）に垂直に植
えこまれた一対の案内ロツドいや、この案内ロッド（３
３）のそれぞれに摺動自在に係合した摺動ブロック（３
４）に取付けられ、かつ先端部にストッパーピン（３０
）を垂直に保持するＬ字形腕（３５）およびこの腕（３
５）にフランジを介して取付けられ、作動ロッドが前記
案内ロッド（３３）の中間に位置するよう水平支持腕部
（２１）に連結されるエアシリンダ（３５）とから構成
されている。したがってエアシリンダ（３６）がその作
動ロッドを押し出すときは、エアシリンダ（３６）が取
付けられ、かつ摺動ブロック■を介して案内ロッド（３
３）に摺動自在に係合されているＬ字形腕（３５）は案
内ロッド（３３）にそって押し上げられ、ストッパピン
（３０）を同時に上昇させるようにされている。

つぎにこの装置における動作について説明する。

いまウエハ（１３）を収納したカセット（１０）が前記
した処理装置の１つのカセット載置台（図示せず）に拘
束されているものとし、このカセット（１０）を前記と
は別な処理装置へこの搬送装置によって搬送する場合を
例にあげて説明する。

エアシリンダ（３６）によりその作動ロッドを押し出さ
せ、ストツパピン上下動機構（３２）を第３図に示した
上昇位置に保っておいて、この搬送装置を左方向からカ
セット（１０）に図示のように高さをほぼ一致させて接
近させる。

この場合ソレノイド（２５）には通電がなされておらず
、前記したとおりカセット挾持腕（２３）はその間隔が
拡げられているので、カセット挾持腕（２３）の挾持片
（２９）をカセット（１０）に接触させることなく、図
示のように支持腕部（２１）の前端面に取付けられたマ
イクロスイッチ（３２）の接触片をカセット（１０）の
連結部材（１２）に接触させられる。

この接触によりマイクロスイッチ（３７）が作動し、こ
の装置の前記接近動作が停止されると同時にソレノイド
（２５）に通電がなされる。そして作動ロッド（２６）
がそれぞれ内側方向に引き込まれることによってカセッ
ト挾持腕（２３）が圧縮コイルばね（２８）の弾発力に
抗して、支持兼案内軸（２２）にそってそれぞれ内側方
向へ平行移動を行い、それぞれの挾持片（２９）がカセ
ット（１０）の外側面に押圧される。

このようにカセット挾持腕（２３）にカセット（１１を
確実に挾持させてから、カセット（１９）の前記したカ
セット載置台との拘束を解除する。この場合、Ｌ字形（
３５）に垂直に保持されているストッパピン（３０）は
、カセット（１６）のストッパピン挿入用貫通孔（３１
）の直上に位置するようにされている。したがってつぎ
にエアシリンダー（３６）を作動させ、その作動ロッド
を引き込ませると、エアシリンダ（２６）が固定されて
いるとともに案内ロッド（３３）に摺動ブロック（３４
）を介して摺動自在に係合されているＬ字形腕（３５）
がエアシリンダ（３６）とともに降下させられ、このＬ
字形（３５）の下降動作によってストツパピン（３６）
がその挿入用貫通孔（３１）に挿入される。

このようにストッパピン（３０）がカセット（１０）の
側板（１２）に挿入されると、カセット（１０）に収納
されているウエハ（１３）は、いずれもその周縁端面が
溝（１１）に露出する３本のストッパピン（１４）、（
３０）にそれぞれ囲まれ、搬送間に振動などが加えられ
ることがあってもウエハ（１３）の収納溝（１１）から
のすべり出しは完全に抑止されて搬送される。

次工程の処理装置のカセット載置台上にウエハ収納カセ
ット（１６）を載置するに当っては、このウエハ収納カ
セット（１０）を前記台上の所定位置に載置し、エアシ
リンダ（３６）を作動させ、その作動ロッドを押し出さ
せ、Ｌ字形腕（３５）を押し上げさせ、図示のようにス
トッパピン（３０）を上昇させて、挿入用貫通孔（３１
）から引き抜き、ウエハ（１３）の拘束をといておいて
から、ソレノイド（２５）への通電をしゃ断し、カセッ
ト挾持腕（２３）を圧縮コイルばね（２８）の弾発力に
よって外側方向へ押し出させ、ウエハ収納カセット四の
挾持を排除するようにするようにすればよい。

この実施例においては、ストッパピンの上下動機構（３
２）にエアシリンダ（３６）を用いているが、他の直動
形駆動機たとえばストロークの長いソレノイドを用いる
ようにしてもよい。

また、カセット挾持腕（２３）に挾持動作を行わせる直
動形駆動機にソレノイド（２５）を用いているが、この
代りにエアシリンダを背中合せに組合せて用いてももよ
い。この場合には、カセット挾持腕（２３）の挾持動作
ならびにその解除動作をいずれも前記エアシリンダに積
極的に行わせうるので、支持兼案内軸（２２）に係合し
た圧縮コイルばね（２８）は要しない。なお前記説明に
おいては丸形ウエハで述べたがこれに限定されるもので
はなく、たとえば四角でもよい。またストッパピンも両
側板（１２）にそれぞれ１本づつ計２本となっても良い
ことはいうまでもない。

以上の説明によって明らかなように、この発明にがかる
ウエハ収納カセットの搬送装置においては、従来のカセ
ットに設けられているストッパ部材とともにウエハをス
トッパピンにより確実に拘束することができ、ウエハ収
納カセットをそれににウエハを収納した状態で、ウエハ
の各処理装置間の搬送を行うに当って、搬送時に伴う振
動などによってウエハをカセットからすべり出させ、と
きには落下させるといったトラブルを皆無ならしめるこ
とができるとともに、ウエハの収納カセットの搬送の自
動化ができることにより従来主として行われているウエ
ハ収納カセットの人手による搬送における被服などから
の異物のウエハへの付着を防止でき、かつ生産性の向上
に効を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はウエハ収納カセットの斜視図、第２図はその中
間高さ位置の溝にそった断面を上方からみた断面図、第
３図はこの発明にかかる実施例装置の要部を示した斜視
図である。 （１０）・・ウエハ収納カセット （１１）・・溝（１２）・・・側板 （１２）・・連結部材（１３）・・・ウエハ（１４）・
・・ストッパ部材（ストッパピン）（２１）・・水平支
持腕部（２２）・・支持兼案内軸（イ）・・・カセット
挾持腕（２４）・・・作動板（２５）・・・ソレノイド
（直動形駆動機）（２６）・・・作動ロッド（２８）・
・・圧縮コイルばね（３０）・・・ストッパピン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、内面に多数個の溝が一定のピッチにて水平に刻設さ
   れた側板を連結部材を介して対向結合し、前記面にウエ
   ハをその周縁部を托してそれぞれ収納するようにされ、
   収納された各ウエハ俊方部を垂直方向に対して前後整列
   させ、かつ後方へのウエハの移動を防止するストツパ部
   材を備えてなるウエハ収納カセットを扶持搬送するよう
   にしたウエハ収納カセットの搬送装置において、前記側
   板に、ウエハが収納された状態において各ウエハの前方
   縁端部を拘束する位置にストツパピンの挿入用貫通孔を
   設け、ウエハ収納カセットの搬送時にこの挿入用貫通孔
   にストッパピンの挿入を行うようにしたことを特徴とす
   るウエハ収納カセットの搬送装置。 ２、ストッパピンを垂直に保持する腕部と、この腕部が
   摺動自在に係合される案内ロッドと、この腕部を上下動
   せしめる直動形駆動機とから構成し、ウエハ収納カセッ
   ト搬送時に、この直動形駆動機を動作せしめるようにし
   たストツパピンの上下動機構を設けた特許請求の範囲第
   １項記載のウエハ収納カセットの搬送装置。