JPH0310399Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は比較的高い真空度を得る場合に使用
される油拡散ポンプに関する。

従来の技術 従来、10^-4mmHg以下の高真空を得る場合に、
油回転ポンプを補助ポンプとして用いる油拡散ポ
ンプにおいて、油拡散ポンプ本体部の吸気通路側
に、液体窒素または液体酸素等の液化ガス収容ト
ラツプを設けて到達真空度を高める手段が知られ
ている。

即ち、第２図に示すように、油拡散ポンプのポ
ンプ本体部２０における吸気通路２１側に液化ガ
ス収容トラツプ２２が介装される。

上記トラツプ２２には、耐低温性鋼管（例えば
ステンレス鋼管）によつて形成された液化ガス供
給通路２３から液体窒素または液体酸素の液化ガ
スが注入される。

液化ガス収容トラツプ２２は液化ガスが注入さ
れる実用容量空間と、この実用容量空間の上部に
形成される余剰空間とからなり、液化ガスの最高
液面が実用容量空間のレベルを越えた場合、オー
バフロー通路２４より液化ガスを発泡スチロール
製の容器２５にオーバフローさせるように構成さ
れている。

発泡スチロール製の容器２５には、例えば熱電
対からなる温度センサ２６が装入され、この温度
センサ２６によつて容器２５にオーバフローれた
液化ガスを検出することで、トラツプ２２内の液
化ガスが最高液面に到達した状態を検知し、液化
ガスの注入を停止するように制御される。

従つて、温度センサ２６によつてトラツプ２５
内の最高液面が検出され注入を停止した時点か
ら、所定の時間（例えば30分）経過後に再び最高
液面まで注入する操作を間欠的に行うことで、液
化ガスを常時トラツプ２２内に収容するように制
御している。

考案が解決しようとする問題点 上記従来の油拡散ポンプでは、液化ガス収容ト
ラツプ２２から比較的遠く離れた位置に設定した
温度センサ２６、つまりオーバフロー通路２４の
外部に配置されている発泡スチロール製容器２５
内の温度センサ２６によつて、トラツプ２２内の
最高液面を検出するように構成されているから、
応答性が悪く液化ガスのオーバフロー量が多い。
つまり液化ガスの無駄が多く、かつ作業者への火
傷等の危険度が高い問題点がある。

この考案は上記従来の問題点を解決するために
なされたもので、トラツプ内の最高液面検出時の
応答性を良くして液化ガスのオーバフロー量を抑
制し、無駄な消費と作業者に対する火傷等の危険
とを回避できる油拡散ポンプを提供することを目
的とする。

問題点を解決するための手段 この考案に係る油拡散ポンプは油拡散ポンプの
ポンプ本体部の吸気通路側に介装された液化ガス
収容トラツプのオーバフロー通路内に、温度セン
サを取付けたものである。

作 用 液化ガスがオーバフロー通路に出てきたとき
に、温度センサが液化ガスの温度にまで低下する
ことにより、液化ガスがオーバフローしたことを
検知する。

実施例 第１図はこの考案の一実施例を模式的に示した
断面図であり、油拡散ポンプ１はポンプ本体部１
Ａと、図示されない真空容器に通じる吸気通路１
Ｂとを有し、ポンプ本体部１Ａの底部に拡散ポン
プ油２が収容されている。

ポンプ本体部１Ａには、上下両端を開口した内
筒３が装入立設され、内筒３の上端開口の上側に
整流蓋４を設け、下端部を拡散ポンプ油２に浸漬
している。

５は液化ガス収容トラツプで、到達真空度を高
めるためにポンプ本体部１Ａの吸気通路１Ｂ側に
介装されている。液化ガス収容トラツプ５にはス
テンレス鋼管のような耐低温性鋼管によつて形成
された液化ガス供給通路６と、この液化ガス供給
通路６に対して二重管式に挿入された同材質のオ
ーバフロー通路７がそれぞれ連通接続されてい
る。

液化ガス供給通路６から液化ガス収容トラツプ
５内に液体窒素または液体酸素等の液化ガスが供
給注入され、注入された液化ガスの最高液面がト
ラツプ５の実用容量空間のレベルを越えた場合
に、オーバフローした液化ガスがオーバフロー通
路７から発泡スチロール製の容器８に吐き出され
る。

９は例えば白金抵抗体によつて構成した熱電対
からなる温度センサで、上記オーバフロー通路７
の出口部に挿入して取付けられている。図中１０
は油拡散ポンプ油の加熱源、１１は図示しない油
回転ポンプへの連通路、１２はウオータジヤケツ
トを示す。

次に上記構成の作動について説明する。連通路
１１に連通している油回転ポンプを作動させて、
予め低真空状態を確保すると共に、加熱源１０に
よりポンプ本体部１Ａ内の拡散ポンプ油２を加熱
する。

これにより拡散ポンプ油２を蒸発させ、その蒸
気を内筒３の上端開口と整流蓋４との間隙からポ
ンプ本体部１Ａの内部に噴出拡散させて、吸気通
路１Ｂに残つている気体分子を連通路１１に導入
して排気させる。

一方、液化ガス収容トラツプ５には、液化ガス
供給通路６から液体窒素または液体酸素等の液化
ガスが注入され、液化ガスの最高液面が液化ガス
収容トラツプ５の実用容量空間のレベルを越えた
時点でオーバフロー通路７を通つて発泡スチロー
ル製の容器８に吐き出される。

このように、液化ガスやオーバフロー通路７か
ら吐き出される状態は、オーバフロー通路７の出
口に挿入されている温度センサ９によつて速やか
に検出され、液化ガス収容トラツプ５への液化ガ
スの供給を停止させる。従つて、液化ガスのオー
バフロー量を少なく抑制することができる。

考案の効果 以上説明したように、この考案によれば液化ガ
ス収容トラツプのオーバフロー通路内に温度セン
サを取付けて、温度センサと液化ガス収容トラツ
プとの距離を短くしているから応答性が良くな
り、オーバフロー時に速やかに液化ガスの供給を
停止できるので、液化ガスの無駄な消費と作業者
に対する火傷等の危険を防止できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を模式的に示した
断面図、第２図は従来例の断面図である。 １……油拡散ポンプ、５……液化ガス収容トラ
ツプ、７……オーバフロー通路、９……温度セン
サ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 油拡散ポンプのポンプ本体部の吸気通路側に介
   装された液化ガス収容トラツプのオーバフロー通
   路内に、温度センサが取付けられていることを特
   徴とする油拡散ポンプ。