JPH0310461U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0310461U JPH0310461U JP6983689U JP6983689U JPH0310461U JP H0310461 U JPH0310461 U JP H0310461U JP 6983689 U JP6983689 U JP 6983689U JP 6983689 U JP6983689 U JP 6983689U JP H0310461 U JPH0310461 U JP H0310461U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filaments
- detecting
- thermionic
- issuing
- disconnected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第１図は本案の実施例としてのイオン打込装置
の打込室の概念図、第２図は本案の実施例のエレ
シヤワ電源の構成図である。 １……打込室、２……円板、３……ウエーハ、
４……フイラメント、５……フイラメント電源、
６……電子加速電源、７……シヤツタ、８……円
板電流検出器、９……イオンビーム電流計、２０
……差動帰還増幅器、２１……エレクトロンシヤ
ワ電源、２２……制御装置、２３……フイラメン
ト。
の打込室の概念図、第２図は本案の実施例のエレ
シヤワ電源の構成図である。 １……打込室、２……円板、３……ウエーハ、
４……フイラメント、５……フイラメント電源、
６……電子加速電源、７……シヤツタ、８……円
板電流検出器、９……イオンビーム電流計、２０
……差動帰還増幅器、２１……エレクトロンシヤ
ワ電源、２２……制御装置、２３……フイラメン
ト。
Claims (1)
- 熱電子源として２本以上のフイラメントが同時
に使用される熱電子発生装置において、フイラメ
ントに流れる電流を検出する手段と、あらかじめ
設定されたフイラメント電流比較値を発生する手
段とを有し、前２手段の２つの信号を比較して、
２本以上のフイラメントの一部が断線したことを
検出し、表示し、警告を発生する手段を有する熱
電子発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6983689U JPH0310461U (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6983689U JPH0310461U (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310461U true JPH0310461U (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=31605482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6983689U Pending JPH0310461U (ja) | 1989-06-16 | 1989-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0310461U (ja) |
-
1989
- 1989-06-16 JP JP6983689U patent/JPH0310461U/ja active Pending
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