JPH03104948U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH03104948U JPH03104948U JP1488190U JP1488190U JPH03104948U JP H03104948 U JPH03104948 U JP H03104948U JP 1488190 U JP1488190 U JP 1488190U JP 1488190 U JP1488190 U JP 1488190U JP H03104948 U JPH03104948 U JP H03104948U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- disk
- reference voltage
- disk current
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例に係るイオン処
理装置の中性化制御回路の回路図である。第２図
は、第１図中の積分回路と等価な積分回路を示す
図である。第３図は、この考案の背景となるイオ
ン処理装置の一例を示す要部構成図である。第４
図は、第３図中の中性化制御回路の先行例の回路
図である。 ２……イオンビーム、４……デイスク、６……
ウエーハ、１０……ニユートラルカツプ、１４…
…フイラメント、１６……フイラメント電源、２
４……デイスク電流計測抵抗、３４……設定回路
、３６……演算回路、３７ａ……積分回路、３７
６……スイツチド・キヤパシタ、３８……制御回
路、４０……中性化制御回路、４２……基準電圧
発生回路、４４……絶対値増幅回路、４６……加
算回路、４８……Ｖ／Ｆ変換回路。
理装置の中性化制御回路の回路図である。第２図
は、第１図中の積分回路と等価な積分回路を示す
図である。第３図は、この考案の背景となるイオ
ン処理装置の一例を示す要部構成図である。第４
図は、第３図中の中性化制御回路の先行例の回路
図である。 ２……イオンビーム、４……デイスク、６……
ウエーハ、１０……ニユートラルカツプ、１４…
…フイラメント、１６……フイラメント電源、２
４……デイスク電流計測抵抗、３４……設定回路
、３６……演算回路、３７ａ……積分回路、３７
６……スイツチド・キヤパシタ、３８……制御回
路、４０……中性化制御回路、４２……基準電圧
発生回路、４４……絶対値増幅回路、４６……加
算回路、４８……Ｖ／Ｆ変換回路。
Claims (1)
- 真空容器内で回転および並進させられるデイス
クに装着されたウエーハにイオンビームを照射し
て当該ウエーハを処理する装置であつて、一次電
子を放出する一次電子放出源と、この一次電子を
受けて二次電子を放出する二次電子放出源とを備
え、この二次電子をイオンビーム照射領域におけ
るウエーハに供給するようにしたものにおいて、
前記デイスクに流れるデイスク電流を計測するデ
イスク電流計測回路と、所望のデイスク電流を設
定する設定回路と、デイスク電流計測回路によつ
て計測されたデイスク電流と設定回路によつて設
定されたデイスク電流との差を求めてそれに応じ
た差電圧を出力する演算回路と、この差電圧を積
分する積分回路であつて積分時定数決定用抵抗の
代りにコンデンサとスイツチとから成るスイツチ
ド・キヤパシタを用いたものと、この積分回路か
らの出力に応じて前記一次電子放出源を制御して
そこから放出する一次電子の量を制御する制御回
路と、基準電圧を発生する基準電圧発生回路と、
前記演算回路からの差電圧の絶対値増幅を行う絶
対値増幅回路と、この絶対値増幅回路からの電圧
と基準電圧発生回路からの基準電圧とを加算する
加算回路と、それで加算した電圧を周波数に変換
してその出力で前記スイツチド・キヤパシタのス
イツチを制御するＶ／Ｆ変換回路とを備えること
を特徴とするイオン処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1488190U JPH03104948U (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1488190U JPH03104948U (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03104948U true JPH03104948U (ja) | 1991-10-30 |
Family
ID=31518219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1488190U Pending JPH03104948U (ja) | 1990-02-16 | 1990-02-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03104948U (ja) |
-
1990
- 1990-02-16 JP JP1488190U patent/JPH03104948U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BR8206202A (pt) | Sistema gerador de feixe eletronico | |
| JPH0214358U (ja) | ||
| JPS58147B2 (ja) | Ｘ線発生装置 | |
| GB645184A (en) | Improvements in or relating to direct current amplifiers | |
| JPS5533669A (en) | Reference pressure generator | |
| JPS6227591B2 (ja) | ||
| WO2002084696A1 (fr) | Generateur de faisceau d'electron et aligneur de faisceau d'electrons | |
| JPS63109438U (ja) | ||
| JPH0455752U (ja) | ||
| JPH0424255U (ja) | ||
| JPS6194789U (ja) | ||
| JPH02131258U (ja) | ||
| JPH0424254U (ja) | ||
| JPH0310461U (ja) | ||
| JPH01154489U (ja) | ||
| JPH0193098A (ja) | パルスｘ線発生装置 | |
| JPS56158509A (en) | Audio power amplifier | |
| JPH025349A (ja) | ディスク電流の異常検知装置 | |
| JPH0515073Y2 (ja) | ||
| JPH0299557U (ja) | ||
| JPS6326120U (ja) | ||
| JPS59191250A (ja) | 放射線発生装置 | |
| JPS62103041U (ja) | ||
| JPS5671119A (en) | Control circuit | |
| JPH0424253U (ja) |