JPH0310529U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0310529U JPH0310529U JP7209189U JP7209189U JPH0310529U JP H0310529 U JPH0310529 U JP H0310529U JP 7209189 U JP7209189 U JP 7209189U JP 7209189 U JP7209189 U JP 7209189U JP H0310529 U JPH0310529 U JP H0310529U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- manufacturing jig
- heat treatment
- core material
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- Prior art date
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- Pending
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Description
第１は本考案の一実施例に係る半導体製造治具
の分解斜視図、第２図は第１図の−線に沿つ
た拡大断面図、第３図は他の実施例に係る半導体
製造治具の要部拡大断面図である。第４図は従来
の熱処理装置の縦断面図、第５図は従来のマザー
ボートの斜視図、第６図は第５図Ｊ−Ｊ線に沿つ
た拡大断面図である。 １……半導体ウエハ、１０……熱処理用ボート
（マザーボート）、１３……芯材、１４……カバ
ー。
の分解斜視図、第２図は第１図の−線に沿つ
た拡大断面図、第３図は他の実施例に係る半導体
製造治具の要部拡大断面図である。第４図は従来
の熱処理装置の縦断面図、第５図は従来のマザー
ボートの斜視図、第６図は第５図Ｊ−Ｊ線に沿つ
た拡大断面図である。 １……半導体ウエハ、１０……熱処理用ボート
（マザーボート）、１３……芯材、１４……カバ
ー。
補正 平１．１０．１９
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書第８頁第１６〜１７行目に「第１は本考
案の実施例に係る半導体製造治具の分解斜視図、
」とあるのを「第１図は本考案の一実施例に係る
半導体製造治具の分解斜視図、」と補正します。
案の実施例に係る半導体製造治具の分解斜視図、
」とあるのを「第１図は本考案の一実施例に係る
半導体製造治具の分解斜視図、」と補正します。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 熱処理装置用の半導体製造治具であつて、 半導体ウエハが搭載される熱処理用ボートの芯
材をセラミツクで枠状に一体成形し、該芯材表面
に石英製のカバーを取着したことを特徴とする半
導体製造治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7209189U JPH0310529U (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7209189U JPH0310529U (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0310529U true JPH0310529U (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=31609715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7209189U Pending JPH0310529U (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0310529U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61202803U (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-19 | ||
| JPS62192502U (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | ||
| JPS6419203U (ja) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP7209189U patent/JPH0310529U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61202803U (ja) * | 1985-06-10 | 1986-12-19 | ||
| JPS62192502U (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | ||
| JPS6419203U (ja) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 |