JPH03107454A - マグネトロンスパッタリングターゲットの固定方法 - Google Patents
マグネトロンスパッタリングターゲットの固定方法Info
- Publication number
- JPH03107454A JPH03107454A JP24619489A JP24619489A JPH03107454A JP H03107454 A JPH03107454 A JP H03107454A JP 24619489 A JP24619489 A JP 24619489A JP 24619489 A JP24619489 A JP 24619489A JP H03107454 A JPH03107454 A JP H03107454A
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- JP
- Japan
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- target
- taper
- magnetron sputtering
- fixed
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- Prior art date
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- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、各種薄膜形状に用いられるマグネトロンスパ
ッタリングターゲットの固定方法に関する。
ッタリングターゲットの固定方法に関する。
（従来技術とその課題）
従来、マグネトロンスパッタリングターゲットの形状と
して第４図に示す如く丸板又は角板状のターゲットｌＯ
をバッキングプレート１１にはんだ付けによりボンディ
ングして用いられていたが、磁力線の分布状態によりタ
ーゲット消耗部分が不均一となり、高価な貴金属の場合
等、材料が有効に生かされず、また、はんだ付けによる
取りつけ作業が煩わしいものであった。
して第４図に示す如く丸板又は角板状のターゲットｌＯ
をバッキングプレート１１にはんだ付けによりボンディ
ングして用いられていたが、磁力線の分布状態によりタ
ーゲット消耗部分が不均一となり、高価な貴金属の場合
等、材料が有効に生かされず、また、はんだ付けによる
取りつけ作業が煩わしいものであった。
この為、第５図に示す如くターゲットの消耗断面形状に
近似した断面形状を上下に有したターゲットが考えられ
ていた。しかし、この方法においても取りつけ作業が煩
わしいという問題があり、その改善が強く望まれていた
ものである。
近似した断面形状を上下に有したターゲットが考えられ
ていた。しかし、この方法においても取りつけ作業が煩
わしいという問題があり、その改善が強く望まれていた
ものである。
（発明の目的）
本発明は、上記課題を解決すべくなされたもので、ター
ゲットを無駄なく効率よく利用でき、その取りつけ交換
も容易なマグネトロンスパッタリングターゲット固定方
法を提供することにある。
ゲットを無駄なく効率よく利用でき、その取りつけ交換
も容易なマグネトロンスパッタリングターゲット固定方
法を提供することにある。
（発明の構成）
上記課題を解決する為の本発明の技術的手段は、ターゲ
ットの消耗断面形状に近似した略逆台形の断面形状で内
周の上周縁にテーパを有したリング状ターゲットをター
ゲットと対応した断面形状を有したヨークを配したバッ
キングプレート上に、凸部を有したリング状ターゲット
押えをねじ止めにて外周を固定し、かつターゲットと同
材質のリング状ターゲット内周の上周縁のテーパと対応
したテーパを有したターゲット押え板をネジ止めにて内
周を固定することを特徴とするものである。
ットの消耗断面形状に近似した略逆台形の断面形状で内
周の上周縁にテーパを有したリング状ターゲットをター
ゲットと対応した断面形状を有したヨークを配したバッ
キングプレート上に、凸部を有したリング状ターゲット
押えをねじ止めにて外周を固定し、かつターゲットと同
材質のリング状ターゲット内周の上周縁のテーパと対応
したテーパを有したターゲット押え板をネジ止めにて内
周を固定することを特徴とするものである。
（作用）
上記のように構成された本発明のマグネトロンスパッタ
リングターゲットの固定方法によれば、リング状ターゲ
ットとすることにより、ターゲットを無駄なく効率良く
使用でき、またリング状ターゲットの外周を凸部を有し
たターゲット押え板をネジ止めにて、更に内周をテーパ
を有したターゲット押え板をネジ止めにてそれぞれヨー
クを配したバッキングプレートに固定するので、はんだ
付は作業が不要で、取りつけも容易に行えるものである
。またテーパを有した押え板をターゲツト材と同材質と
するので、イオンボンバードからヨークを保護すると薄
膜への汚染も防止できるものである。
リングターゲットの固定方法によれば、リング状ターゲ
ットとすることにより、ターゲットを無駄なく効率良く
使用でき、またリング状ターゲットの外周を凸部を有し
たターゲット押え板をネジ止めにて、更に内周をテーパ
を有したターゲット押え板をネジ止めにてそれぞれヨー
クを配したバッキングプレートに固定するので、はんだ
付は作業が不要で、取りつけも容易に行えるものである
。またテーパを有した押え板をターゲツト材と同材質と
するので、イオンボンバードからヨークを保護すると薄
膜への汚染も防止できるものである。
（実施例）
以下実施例について説明する。材質Ｐｔ、外径１５２．
４ｍｍ、内径５０．４ｍｍの第２図ａ、ｂに示す如く断
面形状で内周の上周縁にテーパを有したリング状ターゲ
ット１を、ターゲット１と対応した断面形状を有したヨ
ーク２をネジ止めにて固定配置したバッキングプレート
３上に第３図に示す如くはめ込み、然る後第１図に示す
如く、リング状ターゲット１を５ｍｍの凸部４を有した
外径１８２．４ｍｍ。
４ｍｍ、内径５０．４ｍｍの第２図ａ、ｂに示す如く断
面形状で内周の上周縁にテーパを有したリング状ターゲ
ット１を、ターゲット１と対応した断面形状を有したヨ
ーク２をネジ止めにて固定配置したバッキングプレート
３上に第３図に示す如くはめ込み、然る後第１図に示す
如く、リング状ターゲット１を５ｍｍの凸部４を有した
外径１８２．４ｍｍ。
内径１４２．４ｍｍのリング状ターゲット押えリング５
のネジ止めにて外周を固定し、かつ材質Ｐｔ、厚さ５ｍ
ｍのリング状ターゲット内周の上周縁のテーパと対応し
たテーパ６を有した円板状ターゲット押え板７のネジ止
めにて内周を固定した。
のネジ止めにて外周を固定し、かつ材質Ｐｔ、厚さ５ｍ
ｍのリング状ターゲット内周の上周縁のテーパと対応し
たテーパ６を有した円板状ターゲット押え板７のネジ止
めにて内周を固定した。
尚、上記実施例では、円形のリング状ターゲットについ
て述べたが、これに限るものではなく、角形のリング状
ターゲットでもよいものである。
て述べたが、これに限るものではなく、角形のリング状
ターゲットでもよいものである。
（発明の効果）
以上詳記したように、本発明のマグネトロンスパッタリ
ングターゲットの固定方法によれば、ターゲットの消耗
断面形状に近似した略逆台形の断面形状のリング状ター
ゲットをリング状ターゲット押え及びターゲットと同材
質のターゲット押え板にて固定するので、ターゲットを
無駄なく効率良く使用でき、その取りつけ交換も容易で
あるという優れた効果を有するものである。
ングターゲットの固定方法によれば、ターゲットの消耗
断面形状に近似した略逆台形の断面形状のリング状ター
ゲットをリング状ターゲット押え及びターゲットと同材
質のターゲット押え板にて固定するので、ターゲットを
無駄なく効率良く使用でき、その取りつけ交換も容易で
あるという優れた効果を有するものである。
第１図乃至第３図は本発明の一実施例を示す図で、第１
図はターゲットを取りつけ後のマグネトロンスパッタリ
ング装置を示す断面図、第２図ａ、ｂはターゲットを示
す夫々断面及び平面図、第３図はヨークを配したバッキ
ングプレートにターゲットをはめ込んだ状態を示す断面
図、第４図は、従来の円板状ターゲットの消耗状態を示
す断面図、第５図は従来のターゲットの消耗断面形状に
近似した断面形状を上下に有したターゲットの消耗状態
を示す断面図である。 ■・・・リング状ターゲット、２・・・ヨーク、３・・
・バッキングプレート、４・・・凸部、５・・・凸部を
有したリング状ターゲット押えリング、６・・・テーパ
１．７・・・円板状ターゲット押え板。
図はターゲットを取りつけ後のマグネトロンスパッタリ
ング装置を示す断面図、第２図ａ、ｂはターゲットを示
す夫々断面及び平面図、第３図はヨークを配したバッキ
ングプレートにターゲットをはめ込んだ状態を示す断面
図、第４図は、従来の円板状ターゲットの消耗状態を示
す断面図、第５図は従来のターゲットの消耗断面形状に
近似した断面形状を上下に有したターゲットの消耗状態
を示す断面図である。 ■・・・リング状ターゲット、２・・・ヨーク、３・・
・バッキングプレート、４・・・凸部、５・・・凸部を
有したリング状ターゲット押えリング、６・・・テーパ
１．７・・・円板状ターゲット押え板。
Claims (1)
- １）ターゲットの消耗断面形状に近似した略逆台形の断
面形状で内周の上周縁にテーパを有したリング状ターゲ
ットを、ターゲットと対応した断面形状を有したヨーク
を配したバッキングプレート上に、凸部を有したリング
状ターゲット押えをネジ止めにて外周を固定し、かつタ
ーゲットと同材質のリング状ターゲット内周の上周縁の
テーパと対応したテーパを有したターゲット押え板をネ
ジ止めにて内周を固定することを特徴とするマグネトロ
ンスパッタリングターゲットの固定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24619489A JPH03107454A (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 | マグネトロンスパッタリングターゲットの固定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24619489A JPH03107454A (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 | マグネトロンスパッタリングターゲットの固定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03107454A true JPH03107454A (ja) | 1991-05-07 |
Family
ID=17144912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24619489A Pending JPH03107454A (ja) | 1989-09-21 | 1989-09-21 | マグネトロンスパッタリングターゲットの固定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03107454A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5655765A (en) * | 1994-07-27 | 1997-08-12 | Ricoh Company, Ltd. | Paper path switching mechanism usable with a page inverter |
| KR100429832B1 (ko) * | 2000-05-12 | 2004-05-10 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 지엽류 반송방향 절환장치 |
| JP2008214035A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Ricoh Co Ltd | 用紙搬送装置、用紙処理装置、及び画像形成装置 |
-
1989
- 1989-09-21 JP JP24619489A patent/JPH03107454A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5655765A (en) * | 1994-07-27 | 1997-08-12 | Ricoh Company, Ltd. | Paper path switching mechanism usable with a page inverter |
| KR100429832B1 (ko) * | 2000-05-12 | 2004-05-10 | 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 | 지엽류 반송방향 절환장치 |
| JP2008214035A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Ricoh Co Ltd | 用紙搬送装置、用紙処理装置、及び画像形成装置 |
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