JPH03109331U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03109331U JPH03109331U JP1739790U JP1739790U JPH03109331U JP H03109331 U JPH03109331 U JP H03109331U JP 1739790 U JP1739790 U JP 1739790U JP 1739790 U JP1739790 U JP 1739790U JP H03109331 U JPH03109331 U JP H03109331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaning liquid
- semiconductor wafer
- circulation means
- cleaning tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 26
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
添付の図面は本考案の半導体ウエハー洗浄装置
の一実施例を示す説明図である。 １……洗浄槽、２……洗浄液供給管、３……第
１の洗浄液排出部、４……第２の洗浄液排出部、
５……バルブ、６，７……ポンプ、８，９……濾
過フイルタ、１０……スノコ、１１……半導体ウ
エハー、１２……キヤリア治具。
の一実施例を示す説明図である。 １……洗浄槽、２……洗浄液供給管、３……第
１の洗浄液排出部、４……第２の洗浄液排出部、
５……バルブ、６，７……ポンプ、８，９……濾
過フイルタ、１０……スノコ、１１……半導体ウ
エハー、１２……キヤリア治具。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ キヤリア治具に搭載された複数の半導体ウエ
ハーをキヤリア治具ごと洗浄槽内に設置し、洗浄
槽内の上面からオーバーフローする洗浄液を洗浄
槽に循環させる洗浄液循環手段を設けて、半導体
ウエハー表面に付着した異物粒子を除去する半導
体ウエハー洗浄装置において、 洗浄槽の上部から洗浄槽の内壁に沿つて下降す
る洗浄液流に含まれる異物粒子を除去するため、
洗浄槽の周囲に上記洗浄液循環手段とは別に第２
の洗浄液循環手段を設けたことを特徴とする半導
体ウエハー洗浄装置。 ２ 上記第２の洗浄液循環手段は、洗浄槽の周囲
に複数個設けられていることを特徴とする請求項
１記載の半導体ウエハー洗浄装置。 ３ 上記第２の洗浄液循環手段は、洗浄槽の中央
部分に複数個設けられた直径１mm程度の吸引管と
、洗浄槽内の洗浄液を上記複数の吸引管を介して
吸引するポンプとを含んで構成されることを特徴
とする請求項１記載の半導体ウエハー洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1739790U JPH03109331U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1739790U JPH03109331U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109331U true JPH03109331U (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=31520609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1739790U Pending JPH03109331U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03109331U (ja) |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP1739790U patent/JPH03109331U/ja active Pending
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