JPH03109334U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03109334U JPH03109334U JP1990017550U JP1755090U JPH03109334U JP H03109334 U JPH03109334 U JP H03109334U JP 1990017550 U JP1990017550 U JP 1990017550U JP 1755090 U JP1755090 U JP 1755090U JP H03109334 U JPH03109334 U JP H03109334U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- suction
- detection point
- error detection
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案の一具体例を示すスイングアー
ムおよび真空吸着コレツトの拡大縦断面図である
。また、第２図は従来の半導体ペレツトマウント
装置の平面図、第３図は従来装置要部の拡大縦断
面図である。 １……半導体ペレツト、７……真空吸着コレツ
ト、１０……光源ランプ、１２……フアイバーセ
ンサー、１２ａ……吸着ミスの検出点。
ムおよび真空吸着コレツトの拡大縦断面図である
。また、第２図は従来の半導体ペレツトマウント
装置の平面図、第３図は従来装置要部の拡大縦断
面図である。 １……半導体ペレツト、７……真空吸着コレツ
ト、１０……光源ランプ、１２……フアイバーセ
ンサー、１２ａ……吸着ミスの検出点。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 リードフレームを定ピツチ送りする搬送部と、
この搬送部の上方に上下動自在に、かつ、首振り
運動可能に配設されたペレツト吸着手段と、多数
個のペレツトが貼着された接着シートを張設した
ウエハリングを保持するホルダー部を備えた半導
体ペレツトのマウント装置において、 前記ペレツト吸着手段を構成する真空吸着コレ
ツト本体の内部に、吸着ミスの検出点を上記真空
吸着コレツトの下端開口部に近接させてフアイバ
ーセンサーを配設し、この吸着ミスの検出点の位
置に合わせてペレツト吸着手段の回動経路の下方
に光源ランプを配設したことを特徴とする半導体
ペレツトの吸着ミス検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990017550U JPH03109334U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990017550U JPH03109334U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109334U true JPH03109334U (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=31520741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990017550U Pending JPH03109334U (ja) | 1990-02-22 | 1990-02-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03109334U (ja) |
-
1990
- 1990-02-22 JP JP1990017550U patent/JPH03109334U/ja active Pending
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