JPS635230Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、ペレツトピツクアツプ装置におい
て、XYテーブルの過移動を防止するように制御
するためのスイツチに関する。

ICやLSIあるいはLEDなどの半導体装置は、一
枚のウエハーに多数個の半導体素子を一括形成
し、これを各単位半導体素子に分割したもの（ペ
レツト）を一個一個ピツクアツプし、リードフレ
ーム等の取付け基体に対してボンデイングすると
いう製造過程を経る。まず、本考案の前提となる
ペレツトのピツクアツプについて説明する。

多数個の半導体素子を一括して作り込んだウエ
ハーは、伸縮性を有するシートに仮接着されたの
ち、クラツキングにより個々の単位半導体素子
（ペレツト）に分割され、さらにこのシートを加
熱しつつほぼ1.5倍に伸張させるなどして、クラ
ツキング時においては互いに密接していた各ペレ
ツト間の間隔を、各ペレツトが整然と配列された
状態を維持したまま一定量開けられる。これは、
個々のペレツトをコレツトが誤動作なくピツクア
ツプするようにするためである。このようにして
伸張された前記シートをエキスパンドテープと称
している。このエキスパンドテープは、たとえば
円形のフレームにぴんと張られ、そしてこのフレ
ームは、ピツクアツプ装置におけるXYテーブル
の支持部に取付けられる。

第２図にピツクアツプ装置の概要が示されてい
る。前記XYテーブル１の支持部６に取付けられ
た前記のフレーム９の下方には、エキスパンドテ
ープ８上のペレツト７…を剥離するためのテープ
ガイド１１が水平面方向には移動不可能に設けら
れている。このテープガイド１１は、第３図に詳
示されているように、筒状の外観を呈し、その頂
面１０の中央部には、バキユームホール１２を有
している。また、その内部には、上下方向に運動
して上端部が前記バキユームホールからテープガ
イド頂面上に出没しうるピツクアツプニードル１
４が配されている。このテープガイド１１の真上
には、ピツクアツプすべきペレツトが正しく前記
テープガイドの中央に位置しているかどうかを検
出するための光学系認識装置１８が配されてい
る。

所定のペレツトが前記テープガイドの中央に位
置していることが確認されると、テープガイド内
に負圧を作用させてエキスパンドテープ８をテー
プガイドの頂面に引き寄せるとともに前記ピツク
アツプニードル１４を上動させてペレツトを上に
突き、このペレツトをエキスパンドテープから剥
離させる。ついでペレツト吸着用コレツト１９が
そのペレツトの直上に降りてきてそのペレツトを
バキユーム圧によりピツクアツプする。前記コレ
ツトは、そのままペレツトをリードフレーム等の
ボンデイング位置に運び、ボンデイングする。

ところで、エキスパンドテープ上に配列された
多数個のペレツト７…は、たとえば、第１図に矢
印で示す順番でピツクアツプされる。この場合、
XYテーブルを無駄なく動作させてピツクアツプ
を効率よくおこなうためには、第１図Ｘ方向の移
動量をペレツトのＸ方向の各列の長さに対応する
ように規制してやらなければならない。すなわ
ち、XYテーブルが動作することにより、ピツク
アツプ部すなわち前記テープガイドの頂面中央
は、エキスパンドテープに対して相対的にペレツ
トの配列にしたがつて、つづれおり状にステツプ
移動することになるが、その動作軌跡は、エキス
パンドテープ上のペレツト群の周縁の形状すなわ
ち円形の内部を移動するようにしてやらなければ
ならない。

従来において、上記のように、XYテーブルの
動作を規制するための方法としては、たとえば、
第６図に示すように、エキスパンドテープを張つ
たフレームａの側方に、このフレームとほぼ同様
の形状のゲージフレームｂを連結するとともに、
このゲージフレームｂを挟むように発光体ｃおよ
び受光素子ｄを配設し、前記ゲージフレームｂが
前記発光体ｃの発する光を遮つた時点を以つて
XYテーブルないし前記フレームａのＸ方向また
はＹ方向の移動端としていた。このように、フレ
ームの側方にさらにゲージフレームを延長するこ
とは、かなりの空間がこのゲージフレームに占拠
されることになるため、装置が大掛りかつ複雑に
なるとともに、種々の大きさあるいは形状のフレ
ームに合わせて一々ゲージフレームを付け替えな
ければならないという不便さがあつた。

本考案は、以上に鑑がみ考え出されたもので、
その目的は、ペレツトピツクアツプ装置における
XYテーブルの移動端の規制を簡単に行なうよう
にすることである。

このような目的を達成するため、本考案では、
次の技術的手段を講じている。

すなわち、ペレツトを担持するエキスパンドテ
ープを張設したフレームをXYテーブルの支持部
に支持させるとともに、上記XYテーブルによつ
て上記フレームをXY方向に移動させつつ、前記
エキスパンドテープの下面に上面が摺接するよう
に固定配置された略筒状テープガイド上に前記ペ
レツトを順次案内し、かつこれをピツクアツプす
るペレツトピツクアツプ装置において、前記テー
プガイドの外面に、流体を封入した弾性変形可能
なチユーブを巻付けるとともに、このチユーブに
圧力センサを取付け、前記フレームまたはこれを
支持する前記支持部の内面が前記チユーブに当接
したとき前記圧力センサが前記チユーブ内の流体
の圧力変化を検知し、このときに発生する電気的
信号により前記XYテーブルを停止させるように
したこと、である。

本考案は、上記のようにすることにより次の効
果がある。

平面方向に関して固定状態にあるペレツト剥離
用テープガイドの外面に巻き付けたチユーブにフ
レームそのものの内面が当接することにより、
XYテーブルの移動端を規制するので、従来のよ
うにフレームの形状とほぼ同一のゲージフレーム
を用意するなどという必要はなく、XYテーブル
は、前記フレームの内面の形状に応じて自動的に
その移動範囲が規制される。したがつて本考案に
よれば、ペレツトピツクアツプ装置をコンパクト
に構成することができ、しかもチユーブと圧力セ
ンサを用意するだけでコスト的にも安く構成する
ことができる。また、弾性変形可能なチユーブを
用いているので、動作がソフトで不快音を発生す
ることがなく、しかも確実性がある。

以下、本考案の実施例を図面を参照しつつ具体
的に説明する。

第２図にペレツトピツクアツプ装置の概要およ
び本考案の構成の概要を示す。

図中符号１は、XYテーブルを示し、これは、
モータ、あるいは流体圧シリンダー等の、Ｘ方向
およびＹ方向の駆動装置２，３を有しており、か
つ、これらの駆動装置は、それぞれ制御装置４に
連繋されている。このXYテーブル１の上面に
は、上方に延びる支杆５と、これの上端部にリン
グ状のフレーム支持部６が設けられている。多数
個のペレツト７…を整然と配列した状態で仮接着
してあるエキスパンドテープ８がぴんと張られた
リング状のフレーム９は、前記支持部６にはめこ
み状に取付けられる。したがつて、前記フレーム
９は、平面方向に移動することができる。XYテ
ーブル１は、前記制御装置４によつてその動作を
制御される。

前記フレーム９の下方には、頂面１０が前記エ
キスパンドテープ８の下面に摺接するように位置
する略筒状のテープガイド１１が配設されてい
る。このテープガイド１１は、XY方向には移動
不可能となつているが若干上下動しうるようにな
つているものもある。前にも説明したが、このテ
ープガイド１１は、第３図に示されているよう
に、その頂面１０の中央に、バキユームホール１
２が穿設されており、かつ内部中心軸上に配さ
れ、かつ、尖端１３を有するピツクアツプニード
ル１４が、前記頂面１０上に出没可能に上下動す
るようになつている。図示例においては、前記中
央のバキユームホール１２に加えて、その外側に
補助バキユームホール１５が環状に穿設されてい
る。テープガイドは、図示しない真空源につなげ
られており、テープガイド１１内に適宜真空圧を
付与するための駆動装置１６および前記ピツクア
ツプニードルを上下動させるための駆動装置１７
は、第２図に示されているように、前記制御装置
４に連繋されている。

テープガイド１１の上方における同一軸心上に
は、エキスパンドテープ８上の所定のペレツトが
前記テープガイド１１の頂面１０の中央に正確に
位置しているかどうかを認識するための光学系認
識装置１８が設けられている。また、この光学系
認識装置１８と前記エキスパンドテープ８との間
には、真空圧によりエキスパンドテープ８上にお
いて剥離された所定のペレツトをピツクアツプす
るペレツト吸着コレツト１９が配されており、こ
れは、第２図に矢印で示すように、前記テープガ
イド１１の真上位置とペレツトボンデイング位置
２０との間を往復する。なお、前記光学系認識装
置１８および前記ペレツト吸着コレツト１９は、
前記制御装置４に連繋されている。

一方、筒状のテープガイド１１の外周には、弾
性変形可能なチユーブ２１の一端が巻付けられて
いる。このチユーブ２１の内部には空気等の流体
が封入されており、かつ、チユーブ２１の他端に
取付けられた圧力センサ２２が、チユーブ内の流
体の圧力変化を検知し、これを電気的信号に変換
して前記制御装置に送るようになつている。な
お、このチユーブ２１は、第２図に表れているよ
うに、前記フレーム９が平面方向に移動したと
き、このフレーム９の内面９ａが当接しうるよう
な位置に巻付けておくべきである。

次に、第２図に示すペレツトピツクアツプ装置
の動作を説明する。

光学系認識装置１８、制御装置４およびXYテ
ーブル１の連携動作により、所定のペレツト７が
テープガイド１１上のピツクアツプ位置に正確に
誘導されると、テープガイド１１内に負圧が作用
し、エキスパンドテープをテープガイドの頂面に
引き寄せるとともにピツクアツプニードル１４が
上動して前記ペレツトの下面を突き、これをエキ
スパンドテープ８から剥離させる。ついでペレツ
ト吸着コレツト１９が前記ペレツトの直上に降り
てきてこれをピツクアツプし、かつ所定のペレツ
トボンデイング位置２０に運んでリードフレーム
等の取付け基体上にボンデイングする。その間、
前記テープガイド１１内の負圧は解除され、か
つ、ピツクアツプニードル１４は前記頂面１０か
ら没入させられており、XYテーブル１上の前記
フレーム９は、ワンピツチＸ方向に移動させら
れ、以後このピツクアツプ装置は、上記の動作を
繰り返す。

さて、上記のようにフレーム９がＸ方向に順次
送られると、やがて、第４図に詳示するように、
フレーム９の内面９ａが、テープガイド１１の外
面に巻付けられた前記チユーブ２１に当接する。
このとき、チユーブ２１内の流体に圧縮力が作用
するため、このチユーブ２１の一端に取付けられ
た圧力センサ２２が流体の圧力変化を感知し、こ
れを電気的信号に変換して前記制御装置４におく
る。制御装置４が前記信号を受けると、この制御
装置は、XYテーブル１のＸ方向の駆動装置２を
制御し、前記フレーム９のＸ方向の動きを止め、
エキスパンドテープ８上の次の列のペレツトをピ
ツクアツプするように、Ｙ方向の駆動装置３を制
御して前記フレーム９を所定ピツチＹ方向におく
る。

次いで、装置は、上記の同様の動作を繰り返
し、順次Ｘ方向に並ぶペレツトをピツクアツプし
てゆく。

以上のように、本考案のペレツトピツクアツプ
装置におけるXYテーブル制御用スイツチは、エ
キスパンドテープを張つたフレーム自体がテープ
ガイドの外面に巻付けられた流体封入チユーブに
当接することにより、その移動端が規制されるの
で、たとえこのフレームの大きさあるいは形状が
変化しても、なんら特別な手を加えなくとも、自
動的にそのフレーム形状に応じた制御がおこなわ
れる。また、従来のように、別途、ゲージフレー
ムを用意する必要がないことから、コスト的に非
常に有利となるほか、フレームの形状に応じたゲ
ージフレームにその都度取り替えるという取扱い
上の不便さも一挙に解消される。さらに、弾力の
ある流体封入チユーブを用いているので、動作が
ソフトであり、不快音を発生することもない。

なお、上記の説明においては、エキスパンドテ
ープを張つたフレームがチユーブに当接するよう
に構成しているが、第５図に示すように、XYテ
ーブルに取付けたフレーム支持部の内面に前記チ
ユーブが当接するように構成してもよい。

また、本考案の範囲は、図面に示した実施例に
限定されないことは勿論である。

すなわち、テープガイドそのもの、ないしは、
ピツクアツプ装置の形式そのものについては、図
面に示した例が本考案の範囲を規定するものでは
なく、本考案のペレツトピツクアツプ装置におけ
るXYテーブル制御用スイツチは、現在存在する
あるいは、将来出現するであろうあらゆる形式の
ピツクアツプに適用しうる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、エキスパンドテープ上に互いの間隔
をあけて配列接着された多数個のペレツトおよび
そのピツクアツプ順序の例を摸式的に示す平面
図、第２図は、ペレツトピツクアツプ装置の一例
および本考案の一例の概略を示す概略図、第３図
は、本考案の要部を示す拡大断面図、第４図は、
本考案の作用を説明するための断面図、第５図
は、本考案の他の実施例を示す要部断面図、第６
図は、従来例の略示説明図である。 １……XYテーブル、８……エキスパンドテー
プ、９……フレーム、１１……テープガイド、２
１……チユーブ、２２……圧力センサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ペレツトを担持するエキスパンドテープを張設
   したフレームをXYテーブルの支持部に支持させ
   るとともに、上記XYテーブルによつて上記フレ
   ームをXY方向に移動させつつ、前記エキスパン
   ドテープの下面に上面が摺接するように固定配置
   された略筒状テープガイド上に前記ペレツトを順
   次案内し、かつこれをピツクアツプするペレツト
   ピツクアツプ装置において、 前記テープガイドの外面に、流体を封入した弾
   性変形可能なチユーブを巻付けるとともに、この
   チユーブに圧力センサを取付け、前記フレームま
   たはこれを支持する前記支持部の内面が前記チユ
   ーブに当接したとき前記圧力センサが前記チユー
   ブ内の流体の圧力変化を検知し、このときに発生
   する電気的信号により前記XYテーブルを停止さ
   せるようにしたことを特徴とする、ペレツトピツ
   クアツプ装置におけるXYテーブル制御用スイツ
   チ。