JPH03109743U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03109743U JPH03109743U JP1852790U JP1852790U JPH03109743U JP H03109743 U JPH03109743 U JP H03109743U JP 1852790 U JP1852790 U JP 1852790U JP 1852790 U JP1852790 U JP 1852790U JP H03109743 U JPH03109743 U JP H03109743U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- chip
- diamond
- adsorbing
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
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- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図Ａは、本考案を適用するコレツトチヤツ
クの一例を示す斜視図、第１図Ｂは、第１図Ａの
コレツトチヤツクに本考案を実施した場合の例を
示す断面図、第２図は、第１図Ａに示したコレツ
トチヤツクの使用状態を示す断面図、第３図は、
第１図Ａに示した一例でおこる不具合の様子を示
した断面図である。 １……ダイヤモンド膜、２，３……ＩＣホール
ド斜面、４……吸着用空気穴、５……ＩＣ（半導
体ＩＣチツプ）、６，７……摩耗部。
クの一例を示す斜視図、第１図Ｂは、第１図Ａの
コレツトチヤツクに本考案を実施した場合の例を
示す断面図、第２図は、第１図Ａに示したコレツ
トチヤツクの使用状態を示す断面図、第３図は、
第１図Ａに示した一例でおこる不具合の様子を示
した断面図である。 １……ダイヤモンド膜、２，３……ＩＣホール
ド斜面、４……吸着用空気穴、５……ＩＣ（半導
体ＩＣチツプ）、６，７……摩耗部。
Claims (1)
- 半導体ＩＣチツプを吸着して基板やリードフレ
ーム等にセツトするためのコレツトチヤツクにお
いて、半導体ＩＣチツプ吸着部の表面がダイヤモ
ンド薄膜形成技術を用いてダイヤモンドコーテイ
ングされている事を特徴とするコレツトチヤツク
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1852790U JPH03109743U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1852790U JPH03109743U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03109743U true JPH03109743U (ja) | 1991-11-11 |
Family
ID=31521682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1852790U Pending JPH03109743U (ja) | 1990-02-26 | 1990-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03109743U (ja) |
-
1990
- 1990-02-26 JP JP1852790U patent/JPH03109743U/ja active Pending