JPH03110823U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03110823U JPH03110823U JP1991090U JP1991090U JPH03110823U JP H03110823 U JPH03110823 U JP H03110823U JP 1991090 U JP1991090 U JP 1991090U JP 1991090 U JP1991090 U JP 1991090U JP H03110823 U JPH03110823 U JP H03110823U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- harmonic
- magneto
- divided
- direct current
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- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
第１図ａ，ｂは本考案の一実施例を示す断面図
、第２図ａ，ｂは本考案の他の実施例を示す断面
図、第３図は従来例を示す断面図である。 １……ターゲツト、２……エロージヨン。
、第２図ａ，ｂは本考案の他の実施例を示す断面
図、第３図は従来例を示す断面図である。 １……ターゲツト、２……エロージヨン。
Claims (1)
- 直流または高調波マグネトロンスパツタ用ター
ゲツトにおいて、該ターゲツトをエロージヨンの
発生する部分と他の部分とで分割していることを
特徴とする光磁気材料ターゲツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991090U JPH03110823U (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991090U JPH03110823U (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03110823U true JPH03110823U (ja) | 1991-11-13 |
Family
ID=31523012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991090U Pending JPH03110823U (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03110823U (ja) |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP1991090U patent/JPH03110823U/ja active Pending