JPH03117323A - 電源投入装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電源投入装置に関し、特に複数の負荷（ここで
は半導体製造装置）が接続される電源系統に電源を投入
する電源投入装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の電源投入装置は、同一電源系統に接続さ
れた装置、例えば、半導体製造装置の個々に取付けられ
、電源の大切の機能と、各負荷に過電流が流れると、自
動的に電源を遮断する機能とをもつ構造をもっていた。

そして、この電源投入装置は、通常、ブレーカと呼ばれ
ている。

第２図は従来の配線系統を一例に示す回路図である。従
来、配電系統として、例えば、第２図に示すように、上
位電源投入装置１より導出された電源線には、半導体製
造装置４ａ、４ｂ及び４ｃの負荷３ａ、３ｂ及び３Ｃが
それぞれのブレーカ２ａ、２ｂ及び２ｃを介して接続さ
れている６通常、これら半導体製造装置４ａ、４ｂ及び
４ｃに電源投入する際は、まず、上位電源投入装置１を
オンし、次に各負荷３ａ、３ｂ及び３ｃに接続されてい
るブレーカ２ａ、２ｂ及び２ｃをオンし、各装置の負荷
に電源を投入する。また、逆に電源を遮断するときには
、まず、各ブレーカ２ａ。

２ｂ及び２ｃをオフし、引き続き上位電源投入装置をオ
フすることで、電源を遮断していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の同一電源系統での電源投入装置では、各
装置に接続されているブレーカにより個々に電源投入出
来るので、例えば、複数のブレーカを同時又は短時間に
投入した場合、あるいは、ある台数の装置が運転中にあ
る別の装置に電源投入した場合に、電源線に安定時の２
〜１０倍という大きな電流が流れることになり、上位電
源投入装置もこの過電流を検知し、過電流遮断機構が動
作し、オフとなり、全ての装置の電源供給が停止される
ことになる。このため、半導体製造装置が、運転中に突
然停止することによって、仕掛品に多大なる障害を与え
るという欠点がある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消する電源投入装置を
提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の電源投入装置は、同一電源系統の複数の負荷の
それぞれに接続される第１の電磁開閉リレーと、この電
磁開閉リレーと並列に接続される第２の電磁開閉リレー
と、これら電磁開閉リレーと前記負荷との間に接続され
るとともに前記第２の電磁開閉リレーを作動させる第１
のコイルと、予め設定された電流値と前記電源系統に流
れる総電流値とを比較する電流比較回路と、前記設定さ
れた電流値と前記総電流値との大小により前記第１の電
磁開閉用リレーを動作させる第２のコイルとを有してい
る。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の電源投入装置の一実施例を説明するた
めの電源系統を示す回路図である。この電源投入装置は
、同図に示すように、同一電源系統の負荷３ａ、３ｂ及
び３Ｃのそれぞれに接続されている第１の電磁開閉リレ
ーである電磁開閉リレー７ａ、７ｂ及び７ｃと、これら
第１の電磁開閉リレーと並列に接続される第２の電磁開
閉リレーである電磁開閉リレー８ａ、８ｂ及び８ｃと、
これら第１及び第２の電磁開閉リレーと各負荷との間に
接続されるとともに電磁開閉リレー８ａ。

８ｂ及び８ｃの接点を動作させる第１のコイルであるコ
イル６ａ、６ｂ及び６ｃと、予め設定された電流値とこ
の電源線に流れる総電流値とを比較する電流比較回路５
と、この比較によりどちらが大きいかにより電磁開閉リ
レー７ａ、７ｂ及び７ｃの接点を動作させる第２のコイ
ルであるコイル９とで構成されている。

次に、こので電源投入装置の動作を説明する。

まず、上位電源投入装置１を投入する。次に、半導体製
造装置４ａのブレーカ２ａを投入する。このことはより
電源線に電流が流れ、この電流を電流計１１で測定する
０次に、この電流値と予め設定された電流値とを電流比
較回路５で比較し、前記電流値以内であれば、コイル９
に電源１ｏより電流を流す、このことにより、コイル９
が励磁され、電磁開閉リレー７ａの接点が閉じる。この
ことにより、コイル６ａが励磁され、電磁開閉リレー　
８　ａの接点が閉じ、自己保持する。次に、同様に半導
体製造装置４ｂのブレーカ２ｂを投入する。同様に流れ
る電流値が規定の電流値以内であれば、電磁リレー７ｂ
、８ｂの接点が閉じ、電源が半導体製造装置４ｂにも投
入されたことになる０次に、同様にして、半導体製造装
置４ｃに電源を投入する。ここで、もし、例えば、半導
体製造装置の投入の際に、電源線に流れている電流値が
規定される電流値より大きくなった場合は、第１の電磁
開閉リレー７ａ、７ｂ及び７ｃの接点を閉にするコイル
９に電流が流れないので、半導体製造装置に電源を投入
することは出来ない。

このように、順次に複数の半導体製造装置に電源を投入
しながら、常に電源の系統線に流れる電流を監視し、新
に電源を投入する際のインターロックの約割を任うこと
になる。また、この電源投入装置によれば、個々の装置
の異常（装置の機械的故障による負荷増大）をも容易に
発見出来る利点もある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の電源投入装置は、系統の総
合電流を測定し、その電流を設定電流内に押えるインタ
ーロック手段を設けることによって、以下の効果を得る
ことが出来る。

１、系統の過電流による上位投入電源装置の突然の遮断
により発生する各製造装置の仕掛品の損害を防止する。

２、装置の最大電流を正確に把握できるため、上位電源
投入装置の機能をより適切なものにできる。

３、系統内の各装置の電源投入する場合に、投入順序、
投入待機時間遵守等による作業者の負担が軽減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の電源投入装置の一例を説明するための
電源系統を示す回路図、第２図は従来の配線系統を示す
回路図である。 １・・・上位電源投入装置、２ａ、２ｂ、２ｃ・・・ブ
レーカ、３ａ、３ｂ、３ｃｍ　負荷、４ａ、４ｂ。 ４Ｃ・・・半導体製造装置、５・・・電流比較回路、６
ａ、６ｂ、６ｃ、９−コイル、７ａ、７ｂ、７ｃ、８ａ
、８ｂ、８ｃｍ−−電磁開閉リレー、１０−・・電源、
１１・・・電流計。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 同一電源系統の複数の負荷のそれぞれに接続される第１
   の電磁開閉リレーと、この電磁開閉リレーと並列に接続
   される第２の電磁開閉リレーと、これら電磁開閉リレー
   と前記負荷との間に接続されるとともに前記第２の電磁
   開閉リレーを作動させる第１のコイルと、予め設定され
   た電流値と前記電源系統に流れる総電流値とを比較する
   電流比較回路と、前記設定された電流値と前記総電流値
   との大小により前記第１の電磁開閉用リレーを動作させ
   る第２のコイルとを備えることを特徴とする電源投入装
   置。