JPH0312028A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0312028A JPH0312028A JP14478589A JP14478589A JPH0312028A JP H0312028 A JPH0312028 A JP H0312028A JP 14478589 A JP14478589 A JP 14478589A JP 14478589 A JP14478589 A JP 14478589A JP H0312028 A JPH0312028 A JP H0312028A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium
- magnetic
- thin film
- burnishing
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、磁気記録媒体の信頼生の向上、特に・イニ
ンング加工後に熱処理を行うものに関するものである。
ンング加工後に熱処理を行うものに関するものである。
［従来の技術］
磁気ディスク装置の高記録密度化と共に、磁気ヘッドと
媒体のスペーシング量は、その記録密度に多大な影響を
与えるが、記録密度の増大要求にともない、ヘッド浮上
高は極小化している。このため、媒体表面は、高精度の
加工が必要となり、い（つかの表面平滑化加工が行われ
ている。
媒体のスペーシング量は、その記録密度に多大な影響を
与えるが、記録密度の増大要求にともない、ヘッド浮上
高は極小化している。このため、媒体表面は、高精度の
加工が必要となり、い（つかの表面平滑化加工が行われ
ている。
例えば第２図は特開昭５９−１１６３号公報に示された
、従来の媒体表面を平滑化するためのバニシングヘッド
と、媒体の関係を示す概要図、第３図はバニンングヘッ
ドの斜視図、第４図はバニシングヘッドの溝の断面形状
を示す拡大断面図である。
、従来の媒体表面を平滑化するためのバニシングヘッド
と、媒体の関係を示す概要図、第３図はバニンングヘッ
ドの斜視図、第４図はバニシングヘッドの溝の断面形状
を示す拡大断面図である。
図において（１）は磁気記録媒体、＜２）はバニシング
ヘッド、（３）は微小突起、（４〉は溝である。バニン
ングヘッド（２〉のスライダ面は、第４図に示すように
凸部〈５〉と凹部〈６〉から形成され、このような凸部
及び凹部からなる溝（４）を形成したスライダー面を有
するバニンングヘッド（２〉を、回転する磁気記録媒体
〈１〉上に浮上させ、矢印方向に往復シークさせ、媒体
表面上の微小突起を除去し、媒体表面を平滑化する方法
が行われている。
ヘッド、（３）は微小突起、（４〉は溝である。バニン
ングヘッド（２〉のスライダ面は、第４図に示すように
凸部〈５〉と凹部〈６〉から形成され、このような凸部
及び凹部からなる溝（４）を形成したスライダー面を有
するバニンングヘッド（２〉を、回転する磁気記録媒体
〈１〉上に浮上させ、矢印方向に往復シークさせ、媒体
表面上の微小突起を除去し、媒体表面を平滑化する方法
が行われている。
［発明が解決しようとする課題］
従来の磁気記録媒体の製造方法であるバニシング加工は
、異常突起物の除去には有効であり、ヘッドの低浮上化
を可能とするが、基本的には切削加工であり、加工部に
残留応力を生じることにな固定ディスク装置は不揮発性
のビット当り単価の安価な記憶装置であるが、上記のよ
うに残留応力が存在する部分は、応力のため、局所的に
磁気特性が不良であったり、書き込み時には良好であっ
ても、媒体の熱膨張のために、応力分布が微小に変化す
ることで、例えば磁気特性の劣化を生じ、データの消失
という課題を生じる。
、異常突起物の除去には有効であり、ヘッドの低浮上化
を可能とするが、基本的には切削加工であり、加工部に
残留応力を生じることにな固定ディスク装置は不揮発性
のビット当り単価の安価な記憶装置であるが、上記のよ
うに残留応力が存在する部分は、応力のため、局所的に
磁気特性が不良であったり、書き込み時には良好であっ
ても、媒体の熱膨張のために、応力分布が微小に変化す
ることで、例えば磁気特性の劣化を生じ、データの消失
という課題を生じる。
二の発明は、上記のような課題を解消するためになされ
たもので、バニシング加工による残留応力をなくし、信
頼性の高い磁気記録媒体を得ることを目的とする。
たもので、バニシング加工による残留応力をなくし、信
頼性の高い磁気記録媒体を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明に係わる磁気記録媒体の製造方法は、磁性薄膜
の膜表面をバニシング加工した後に、バニシング加工に
よる磁性薄膜の残雪応力を、熱処理で無（するようにし
たものである。
の膜表面をバニシング加工した後に、バニシング加工に
よる磁性薄膜の残雪応力を、熱処理で無（するようにし
たものである。
［作 用コ
この発明における磁気記録媒体の製造方法は、磁性薄膜
の膜表面をスライダー、或はテープ等でバニシング加工
した後に、真空中、または不活性雰囲気中等で、熱処理
を施すため、バニシング加工による磁性薄膜の残雪応力
をなくすることができる。
の膜表面をスライダー、或はテープ等でバニシング加工
した後に、真空中、または不活性雰囲気中等で、熱処理
を施すため、バニシング加工による磁性薄膜の残雪応力
をなくすることができる。
［実施例コ
以下この発明の一実施例について説明する。
第１図は媒体表面のバニンング加工後、下記の条件で熱
処理を施した媒体と、熱処理を施していない媒体につい
て、Ｃ５Ｓ （コンタクト・スタート・ストップ）試験
中のデータの消失、または著しい出力レベルの低下ビッ
ト個数を示す説明図である。
処理を施した媒体と、熱処理を施していない媒体につい
て、Ｃ５Ｓ （コンタクト・スタート・ストップ）試験
中のデータの消失、または著しい出力レベルの低下ビッ
ト個数を示す説明図である。
熱処理条件
真空中 ２５０°Ｃ１ｈｒ 後、自然放冷但し媒体は
Ｃ／Ｃｒ／Ｃｏ−Ｎｉ／Ｃｒ／Ｎ１−Ｐ／＾１熱処理を
施していない媒体の場合は、Ｃ８Ｓによるヘッド・円板
の接触に伴う応力集中により、バニンング加工で残雪応
力を生じていた部分で、応力場に大きな変化が生じ、磁
性膜に力が加わることで逆磁歪効果により磁化が消失す
る。
Ｃ／Ｃｒ／Ｃｏ−Ｎｉ／Ｃｒ／Ｎ１−Ｐ／＾１熱処理を
施していない媒体の場合は、Ｃ８Ｓによるヘッド・円板
の接触に伴う応力集中により、バニンング加工で残雪応
力を生じていた部分で、応力場に大きな変化が生じ、磁
性膜に力が加わることで逆磁歪効果により磁化が消失す
る。
これに対し、熱処理を施した媒体においては、このよう
な現象が認められず、データ消失等の問題を解消するこ
とができる。
な現象が認められず、データ消失等の問題を解消するこ
とができる。
なお、上記実施例では熱処理条件として、真空中とした
が、媒体と反応することのない不活性ガス中においても
同様の効果を奏することができる。
が、媒体と反応することのない不活性ガス中においても
同様の効果を奏することができる。
また、二の熱処理工程を、媒体に残雪応力を生じせしめ
るような他の媒体製造工程の後に取り入れることにより
、−層、応力緩和が促進され、より一層の効果を奏する
ことができる。
るような他の媒体製造工程の後に取り入れることにより
、−層、応力緩和が促進され、より一層の効果を奏する
ことができる。
［発明の効果コ
以上のようにこの発明によれば、磁性薄膜の膜表面をバ
ニシング加工した麦に、バニシング加工による磁性薄膜
の残雪応力を、熱処理で無くするようにしたことにより
、局所的な磁気特性の劣化、及び経時変化をなくシ、デ
ーダの消失等の問題点を極めて少なくし、信頼性の高い
磁気記録媒体を辱うことができる。
ニシング加工した麦に、バニシング加工による磁性薄膜
の残雪応力を、熱処理で無くするようにしたことにより
、局所的な磁気特性の劣化、及び経時変化をなくシ、デ
ーダの消失等の問題点を極めて少なくし、信頼性の高い
磁気記録媒体を辱うことができる。
第１図は、二の発明の一実施例により得られた媒体と熱
処理を施していない媒体について、Ｃ３Ｓ試験中のデー
タの消失、または著しい出力レベルの低下ビット個数を
示す説明図、第２図は従来の磁気記録媒体表面を平滑化
するためのバニシングヘッドと媒体の関係を示す概要図
、第３図はバニシンクヘウドの斜視図、第４図はバニシ
ングへ・ノドの溝の断面形状を示す拡大断面図である。 図において（１）は磁気記録媒体、（２）はバニシング
ヘッド、（３）は微小突起、＜４）は溝、（５〉は溝の
凸部、（６）は溝の凹部である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
処理を施していない媒体について、Ｃ３Ｓ試験中のデー
タの消失、または著しい出力レベルの低下ビット個数を
示す説明図、第２図は従来の磁気記録媒体表面を平滑化
するためのバニシングヘッドと媒体の関係を示す概要図
、第３図はバニシンクヘウドの斜視図、第４図はバニシ
ングへ・ノドの溝の断面形状を示す拡大断面図である。 図において（１）は磁気記録媒体、（２）はバニシング
ヘッド、（３）は微小突起、＜４）は溝、（５〉は溝の
凸部、（６）は溝の凹部である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 非磁性基体上に、磁性薄膜を設けた磁気記録媒体の製造
方法において、上記磁性薄膜の膜表面をバニシング加工
した後に、バニシング加工による磁性薄膜の残留応力を
、熱処理で無くするようにしたことを特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14478589A JPH0312028A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14478589A JPH0312028A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312028A true JPH0312028A (ja) | 1991-01-21 |
Family
ID=15370388
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14478589A Pending JPH0312028A (ja) | 1989-06-06 | 1989-06-06 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312028A (ja) |
-
1989
- 1989-06-06 JP JP14478589A patent/JPH0312028A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR920001150B1 (ko) | 자기헤드의 제조방법 | |
| JP3329259B2 (ja) | マスター情報担体、および、磁気記録媒体の製造方法 | |
| US5554303A (en) | Magnetic recording medium preparation | |
| JPH0312028A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| KR950012366B1 (ko) | 자기메모리소자 및 그 제조방법 | |
| JPH0349134B2 (ja) | ||
| JP2859468B2 (ja) | 磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製造方法 | |
| SU1187204A1 (ru) | Способ магнитной записи-воспроизведени | |
| JPS5832222A (ja) | 磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPH076359A (ja) | 磁気記録媒体用基板及びその製造方法 | |
| JPH0256706A (ja) | 磁気ヘッドコアの製造方法 | |
| JP3013020B2 (ja) | 浮動型磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH08315356A (ja) | 凹凸の形成方法及び磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61117401A (ja) | 磁気スケ−ルの製造方法 | |
| JPH10334412A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置 | |
| JP2665949B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH06325342A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6284420A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS63113810A (ja) | 薄膜磁気ヘツドの製造方法 | |
| JPS58164018A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS63131309A (ja) | フエライトヘツドのギヤツプ形成方法 | |
| JPH0224821A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH07176015A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH07153068A (ja) | 磁気ディスク媒体用基板およびその製造方法 | |
| JPS6260126A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |