JPH031203B2 - - Google Patents
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- JPH031203B2 JPH031203B2 JP13548485A JP13548485A JPH031203B2 JP H031203 B2 JPH031203 B2 JP H031203B2 JP 13548485 A JP13548485 A JP 13548485A JP 13548485 A JP13548485 A JP 13548485A JP H031203 B2 JPH031203 B2 JP H031203B2
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- Japan
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- hoistway
- duct
- elevating
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- suction
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 30
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 9
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端に
きらう荷（物品）をクリーンルーム間で搬送した
り、作業者をクリーンルーム間で搬送するのに採
用されるクリーンルーム間の搬送装置に関するも
のである。
きらう荷（物品）をクリーンルーム間で搬送した
り、作業者をクリーンルーム間で搬送するのに採
用されるクリーンルーム間の搬送装置に関するも
のである。
従来の技術
横方向に並設形成されたクリーンルーム間での
荷の搬送は搬送自走台車などを利用して行なえ、
また作業者は徒歩で移れる。しかし、クリーンル
ームが上下方向において複数階に亘つて形成さ
れ、そしてこれらクリーンルーム間で荷の搬送や
作業者の移動を行なうときにはエレベータ形式の
搬送装置が使用される。従来、エレベータ形式の
搬送装置においては、昇降路内の上部にクリーン
ユニツトを設け、ダウンフローにより昇降路内の
全てをクリーン化していた。
荷の搬送は搬送自走台車などを利用して行なえ、
また作業者は徒歩で移れる。しかし、クリーンル
ームが上下方向において複数階に亘つて形成さ
れ、そしてこれらクリーンルーム間で荷の搬送や
作業者の移動を行なうときにはエレベータ形式の
搬送装置が使用される。従来、エレベータ形式の
搬送装置においては、昇降路内の上部にクリーン
ユニツトを設け、ダウンフローにより昇降路内の
全てをクリーン化していた。
発明が解決しようとする問題点
上記のような従来形式によると、クリーンエヤ
は床側に吸引することから、昇降路内の上部で発
生した塵埃はとどまり状になつて昇降体や被搬送
物（人・物品）に付着し易く、また連通路を通つ
てクリーンルーム内に漏出し易い。
は床側に吸引することから、昇降路内の上部で発
生した塵埃はとどまり状になつて昇降体や被搬送
物（人・物品）に付着し易く、また連通路を通つ
てクリーンルーム内に漏出し易い。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決すべく本発明におけるクリー
ンルーム間の搬送装置は、複数階のクリーンルー
ム間に亘つて密閉された昇降路を形成すると共
に、この昇降路の上部にクリーンユニツトを設
け、前記昇降路内に、昇降駆動装置と、この昇降
駆動装置に連結部材を介して連動する昇降体とを
設け、前記昇降駆動装置を囲むダクトを設けると
共に、このダクトの前面側に連結部材通過用のス
リツトを形成し、前記ダクトの後面側で且つ上下
方向複数箇所に連通する吸引管を設けると共に、
この吸引管の上端を前記クリーンユニツトの吸引
口に連通し、昇降経路形成体に、前記昇降体が対
向自在な連通路を形成している。
ンルーム間の搬送装置は、複数階のクリーンルー
ム間に亘つて密閉された昇降路を形成すると共
に、この昇降路の上部にクリーンユニツトを設
け、前記昇降路内に、昇降駆動装置と、この昇降
駆動装置に連結部材を介して連動する昇降体とを
設け、前記昇降駆動装置を囲むダクトを設けると
共に、このダクトの前面側に連結部材通過用のス
リツトを形成し、前記ダクトの後面側で且つ上下
方向複数箇所に連通する吸引管を設けると共に、
この吸引管の上端を前記クリーンユニツトの吸引
口に連通し、昇降経路形成体に、前記昇降体が対
向自在な連通路を形成している。
作 用
かかる本発明構成によると、クリーンユニツト
の吸引力が吸引管に作用していることから、クリ
ーンユニツトからダウンフローにより昇降路内に
供給されたクリーンエヤは、昇降路内の全長にお
いてスリツトからダクト内に流入し、そしてダク
ト内から吸引管へと流れることになる。
の吸引力が吸引管に作用していることから、クリ
ーンユニツトからダウンフローにより昇降路内に
供給されたクリーンエヤは、昇降路内の全長にお
いてスリツトからダクト内に流入し、そしてダク
ト内から吸引管へと流れることになる。
実施例
以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
１はクリーンルームで、天井側からフイルター
２を通してクリーンエヤ３を下吹きするように構
成してある。このクリーンルーム１は複数階（実
施例では３階を示す。）に亘つて夫々形成される。
両クリーンルーム１の適所には、壁体５と仕切り
部材６とにより密閉された昇降路７がクリーンル
ーム１間に亘つて形成され、この昇降路７の上部
にクリーンユニツト８を設けている。このクリー
ンユニツト８は、箱状本体９と、この箱状本体９
内に配設され且つ箱状本体９の底板に相当するメ
ツシユ板１０に対向するフイルタ１１と、このフ
イルタ１１の上方にエアを供給するフアン１１
と、このフアン１２の吸引口１３に連通する吸引
室１４とにより形成される。前記仕切り部材６に
は、四角筒状のダクト１５が一体化され、そして
ダクト１５の前面側中央には上下方向のスリツト
１６が形成されている。前記ダクト１５内には昇
降駆動装置１７が配設され、さらに昇降路７内に
は、この昇降駆動装置１７に連結部材１８を介し
て連動する昇降体１９が設けられる。すなわち前
記ダクト１５内には支柱２０が立設され、この支
柱２０の両側に上下方向のガイドレール２１を取
付けると共に、これらガイドレール２１に摺動体
２２などを介して支持案内される昇降部材２３が
設けられる。そして昇降部材２３の前面から前記
連結部材１８が前方に一体連設され、この連結部
材１８はスリツト１６を通つて昇降路７内に突出
し、その突出端に前記昇降体１９を一体化してい
る。前記昇降駆動装置１７は、ダクト１５内の上
部に配設した従動輪体２４と、下部に配設した駆
動輪体２５と、この駆動輪体２５に連動すべく下
部に配設したモータなどからなる駆動ユニツト２
６と、両輪体２４，２５に巻回した無端回動体２
７とからなり、この無端回動体２７の一箇所が前
記昇降部材２３に連結されている。前記昇降体１
９上には横方向に出退自在なフオーク部材２９が
設けられる。ここでフオーク部材２９は荷収納ケ
ース３０に対して下方から係合自在に構成され
る。前記ダクト１５の後方には四角ダクト状の吸
引管３２が平行して配設され、この吸引管３２の
上端を前記吸引室１４に連通すると共に、下端は
駆動ユニツト２６を囲むカバー枠３３内に連通し
ている。そしてダクト１５の上下方向所定間隔置
きの複数箇所と吸引管３２とは夫々連通管３４を
介して連通され、また各連通管３４内には流動調
整用の弁３５が配設される。この弁３５は手動ま
たは遠隔による自動などで操作される。なお吸引
管３２の下端でカバー枠３３との連通部にも弁３
６が設けられる。前記昇降体１９が対向自在の璧
体５の部分に、この璧体５を貫通する連通路３８
が形成される。この連通路３８内には荷受台３９
が配設され、また昇降路７側の端部外方には開閉
扉４０が配設される。なお２階と１階との連通路
３８の向きは任意に決定し得る。
２を通してクリーンエヤ３を下吹きするように構
成してある。このクリーンルーム１は複数階（実
施例では３階を示す。）に亘つて夫々形成される。
両クリーンルーム１の適所には、壁体５と仕切り
部材６とにより密閉された昇降路７がクリーンル
ーム１間に亘つて形成され、この昇降路７の上部
にクリーンユニツト８を設けている。このクリー
ンユニツト８は、箱状本体９と、この箱状本体９
内に配設され且つ箱状本体９の底板に相当するメ
ツシユ板１０に対向するフイルタ１１と、このフ
イルタ１１の上方にエアを供給するフアン１１
と、このフアン１２の吸引口１３に連通する吸引
室１４とにより形成される。前記仕切り部材６に
は、四角筒状のダクト１５が一体化され、そして
ダクト１５の前面側中央には上下方向のスリツト
１６が形成されている。前記ダクト１５内には昇
降駆動装置１７が配設され、さらに昇降路７内に
は、この昇降駆動装置１７に連結部材１８を介し
て連動する昇降体１９が設けられる。すなわち前
記ダクト１５内には支柱２０が立設され、この支
柱２０の両側に上下方向のガイドレール２１を取
付けると共に、これらガイドレール２１に摺動体
２２などを介して支持案内される昇降部材２３が
設けられる。そして昇降部材２３の前面から前記
連結部材１８が前方に一体連設され、この連結部
材１８はスリツト１６を通つて昇降路７内に突出
し、その突出端に前記昇降体１９を一体化してい
る。前記昇降駆動装置１７は、ダクト１５内の上
部に配設した従動輪体２４と、下部に配設した駆
動輪体２５と、この駆動輪体２５に連動すべく下
部に配設したモータなどからなる駆動ユニツト２
６と、両輪体２４，２５に巻回した無端回動体２
７とからなり、この無端回動体２７の一箇所が前
記昇降部材２３に連結されている。前記昇降体１
９上には横方向に出退自在なフオーク部材２９が
設けられる。ここでフオーク部材２９は荷収納ケ
ース３０に対して下方から係合自在に構成され
る。前記ダクト１５の後方には四角ダクト状の吸
引管３２が平行して配設され、この吸引管３２の
上端を前記吸引室１４に連通すると共に、下端は
駆動ユニツト２６を囲むカバー枠３３内に連通し
ている。そしてダクト１５の上下方向所定間隔置
きの複数箇所と吸引管３２とは夫々連通管３４を
介して連通され、また各連通管３４内には流動調
整用の弁３５が配設される。この弁３５は手動ま
たは遠隔による自動などで操作される。なお吸引
管３２の下端でカバー枠３３との連通部にも弁３
６が設けられる。前記昇降体１９が対向自在の璧
体５の部分に、この璧体５を貫通する連通路３８
が形成される。この連通路３８内には荷受台３９
が配設され、また昇降路７側の端部外方には開閉
扉４０が配設される。なお２階と１階との連通路
３８の向きは任意に決定し得る。
次に上記実施例の作用を説明する。
以下においては１階の荷収納ケース３０を２階
に搬送する作業を述べる。人為的または機械的作
業によつて１階の連通路３８内に荷収納ケース３
０が運ばれ、そして荷受台３９上に載置されてい
る。このとき各開閉扉４０は閉動され、また昇降
体１９を下降させると共にフオーク部材２９を連
通路３８に対向させている。この状態で連通路３
８に対応する開閉扉４０を開動させる。次いでフ
オーク部材２９を連通路３８内に突出動させて荷
収納ケース３０の下方に位置させる。そして昇降
体１９を少し上昇させ、フオーク部材２９を係合
させて荷受台３９から荷収納ケース３０を持上げ
る。次いでフオーク部材２９を退入動させ、荷収
納ケース３０を昇降体１９の上方に引き込んだの
ち、開閉扉４０を閉動させる。そして昇降駆動装
置１７の駆動ユニツト２６を作動させ、無端回動
体２７を移動させると、この無端回動体２７と一
体の昇降部材２３が、その摺動体２２がガイドレ
ール２１に摺動案内されることから一定経路上を
上昇する。その際に連結部材１８を介して昇降部
材２３と一体の昇降体１９も同時に上昇し、そし
て２階の連通路３８に対応する上限位置で停止さ
れる。次いで、前述とは逆作用により荷収納ケー
ス３０を荷受台３９上に渡し得る。このような荷
搬送の作業中において前記昇降路７内には、クリ
ーンユニツト８からダウンフローによりクリーン
エア４１が供給される。その際に、クリーンユニ
ツト８の作動により、吸引口１３、吸引室１４を
介して吸引管３２内に吸引力が作用しており、さ
らに吸引力は各連通管３４を介してダクト１５内
に作用すると共にスリツト１６に作用することに
なる。これにより昇降路７内には上下方向全長に
亘つて吸引作用が働き、したがつて昇降体１９側
で発生した塵埃は該昇降体１９がどのレベルであ
つたとしても、その位置でスリツト１６を通して
ダクト１５内に流入させ得る。この流入させた塵
埃、ならびに昇降の際にダクト１５内で発生した
塵埃は、各連通管３４を通つて吸引管３２内に流
入し、そして吸引室１４などを介してフイルタ１
１を通る際に塵埃はキヤツチされ、また気流はク
リーンエア４１として再供給される。前述したよ
うな流れ（吸引）において、各弁３５，３６を、
例えば上位ほど絞り且つ下位ほど開放すべく調整
することによつて、スリツト１６の上下方向各レ
ベルにおける吸引力の均一化をはかることができ
る。
に搬送する作業を述べる。人為的または機械的作
業によつて１階の連通路３８内に荷収納ケース３
０が運ばれ、そして荷受台３９上に載置されてい
る。このとき各開閉扉４０は閉動され、また昇降
体１９を下降させると共にフオーク部材２９を連
通路３８に対向させている。この状態で連通路３
８に対応する開閉扉４０を開動させる。次いでフ
オーク部材２９を連通路３８内に突出動させて荷
収納ケース３０の下方に位置させる。そして昇降
体１９を少し上昇させ、フオーク部材２９を係合
させて荷受台３９から荷収納ケース３０を持上げ
る。次いでフオーク部材２９を退入動させ、荷収
納ケース３０を昇降体１９の上方に引き込んだの
ち、開閉扉４０を閉動させる。そして昇降駆動装
置１７の駆動ユニツト２６を作動させ、無端回動
体２７を移動させると、この無端回動体２７と一
体の昇降部材２３が、その摺動体２２がガイドレ
ール２１に摺動案内されることから一定経路上を
上昇する。その際に連結部材１８を介して昇降部
材２３と一体の昇降体１９も同時に上昇し、そし
て２階の連通路３８に対応する上限位置で停止さ
れる。次いで、前述とは逆作用により荷収納ケー
ス３０を荷受台３９上に渡し得る。このような荷
搬送の作業中において前記昇降路７内には、クリ
ーンユニツト８からダウンフローによりクリーン
エア４１が供給される。その際に、クリーンユニ
ツト８の作動により、吸引口１３、吸引室１４を
介して吸引管３２内に吸引力が作用しており、さ
らに吸引力は各連通管３４を介してダクト１５内
に作用すると共にスリツト１６に作用することに
なる。これにより昇降路７内には上下方向全長に
亘つて吸引作用が働き、したがつて昇降体１９側
で発生した塵埃は該昇降体１９がどのレベルであ
つたとしても、その位置でスリツト１６を通して
ダクト１５内に流入させ得る。この流入させた塵
埃、ならびに昇降の際にダクト１５内で発生した
塵埃は、各連通管３４を通つて吸引管３２内に流
入し、そして吸引室１４などを介してフイルタ１
１を通る際に塵埃はキヤツチされ、また気流はク
リーンエア４１として再供給される。前述したよ
うな流れ（吸引）において、各弁３５，３６を、
例えば上位ほど絞り且つ下位ほど開放すべく調整
することによつて、スリツト１６の上下方向各レ
ベルにおける吸引力の均一化をはかることができ
る。
上記実施例では荷収納ケース３０の搬送形態を
示したが、これは昇降体１９上に作業者が入るボ
ツクスを設け、そして連通路３８を人が通行し得
るように形成することにより、階層間での作業者
の移動に利用し得る。
示したが、これは昇降体１９上に作業者が入るボ
ツクスを設け、そして連通路３８を人が通行し得
るように形成することにより、階層間での作業者
の移動に利用し得る。
発明の効果
上記構成の本発明によると、クリーンユニツト
の吸引力が吸引管に作用していることから、クリ
ーンユニツトからダウンフローにより昇降路内に
供給されたクリーンエヤを昇降路内の全長におい
てスリツトからダクト内に流入させることがで
き、そしてダクト内から吸入管へと流すことがで
きる。これにより昇降路内で発生した塵埃は、昇
降路内のどのレベルであつたとしても迅速に吸引
除去でき、昇降体や被搬送物（人、物品）に付着
したり連通路を通つてクリーンルーム内に漏出す
ることを極減でき、さらに昇降駆動装置で発生し
た塵埃も完全に除去できる。
の吸引力が吸引管に作用していることから、クリ
ーンユニツトからダウンフローにより昇降路内に
供給されたクリーンエヤを昇降路内の全長におい
てスリツトからダクト内に流入させることがで
き、そしてダクト内から吸入管へと流すことがで
きる。これにより昇降路内で発生した塵埃は、昇
降路内のどのレベルであつたとしても迅速に吸引
除去でき、昇降体や被搬送物（人、物品）に付着
したり連通路を通つてクリーンルーム内に漏出す
ることを極減でき、さらに昇降駆動装置で発生し
た塵埃も完全に除去できる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は縦断
側面図、第２図は横断平面図である。 １……クリーンルーム、５……壁体、６……仕
切り部材、７……昇降路、８……クリーンユニツ
ト、１１……フイルタ、１２……フアン、１３…
…吸引口、１５……ダクト、１６……スリツト、
１７……昇降駆動装置、１８……連結部材、１９
……昇降体、２０……支柱、２３……昇降部材、
２６……駆動ユニツト、２７……無端回動体、２
９……フオーク部材、３２……吸引管、３４……
連通管、３５，３６……弁、３８……連通路、４
１……クリーンエヤ。
側面図、第２図は横断平面図である。 １……クリーンルーム、５……壁体、６……仕
切り部材、７……昇降路、８……クリーンユニツ
ト、１１……フイルタ、１２……フアン、１３…
…吸引口、１５……ダクト、１６……スリツト、
１７……昇降駆動装置、１８……連結部材、１９
……昇降体、２０……支柱、２３……昇降部材、
２６……駆動ユニツト、２７……無端回動体、２
９……フオーク部材、３２……吸引管、３４……
連通管、３５，３６……弁、３８……連通路、４
１……クリーンエヤ。
Claims (1)
- １ 複数階のクリーンルーム間に亘つて密閉され
た昇降路を形成すると共に、この昇降路の上部に
クリーンユニツトを設け、前記昇降路内に、昇降
駆動装置と、この昇降駆動装置に連結部材を介し
て連動する昇降体とを設け、前記昇降駆動装置を
囲むダクトを設けると共に、このダクトの前面側
に連結部材通過用のスリツトを形成し、前記ダク
トの後面側で且つ上下方向複数箇所に連通する吸
引管を設けると共に、この吸引管の上端を前記ク
リーンユニツトの吸引口に連通し、昇降経路形成
体に、前記昇降体が対向自在な連通路を形成した
ことを特徴とするクリーンルーム間の搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13548485A JPS61295903A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | クリ−ンル−ム間の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13548485A JPS61295903A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | クリ−ンル−ム間の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295903A JPS61295903A (ja) | 1986-12-26 |
| JPH031203B2 true JPH031203B2 (ja) | 1991-01-10 |
Family
ID=15152796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13548485A Granted JPS61295903A (ja) | 1985-06-20 | 1985-06-20 | クリ−ンル−ム間の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61295903A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008172089A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Hitachi Plant Technologies Ltd | リフタ装置 |
| CN108622618B (zh) * | 2018-04-28 | 2023-12-05 | 上海原能细胞生物低温设备有限公司 | 一种多功能样本传递装置 |
-
1985
- 1985-06-20 JP JP13548485A patent/JPS61295903A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61295903A (ja) | 1986-12-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |