JPH0312105U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0312105U JPH0312105U JP7285589U JP7285589U JPH0312105U JP H0312105 U JPH0312105 U JP H0312105U JP 7285589 U JP7285589 U JP 7285589U JP 7285589 U JP7285589 U JP 7285589U JP H0312105 U JPH0312105 U JP H0312105U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- light source
- control device
- illuminates
- lenses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す断面図、第２
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図は本
考案のライトテーブルによる検査方法を示す分解
斜視図、第４図は従来のライトテーブルによる検
査方法を示す分解斜視図である。 １，１０…ライトテーブル、２…半透明なテー
ブル板、３…格子状の方形パターンの描かれた透
明な板、４…投影制御装置、５…光源部、６…位
置制御機構、７…フオトマスクパターン、７ａ，
７ｂ…位置合せ用ランドパターン、８…格子表示
装置、２０…格子状に目盛を付したガラス乾板。
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図は本
考案のライトテーブルによる検査方法を示す分解
斜視図、第４図は従来のライトテーブルによる検
査方法を示す分解斜視図である。 １，１０…ライトテーブル、２…半透明なテー
ブル板、３…格子状の方形パターンの描かれた透
明な板、４…投影制御装置、５…光源部、６…位
置制御機構、７…フオトマスクパターン、７ａ，
７ｂ…位置合せ用ランドパターン、８…格子表示
装置、２０…格子状に目盛を付したガラス乾板。
Claims (1)
- 半透明なテーブル板と、格子状の方形パターン
の描かれた透明な板と、複数個のレンズにより構
成される投影制御装置と、半透明なテーブル板を
照明する光源部と、前記格子状の方形パターンの
描かれた透明な板及び複数個のレンズにより構成
される投影制御装置並びに半透明なテーブル板を
照明する光源部の位置関係を制御する位置制御機
構とを有することを特徴とするライトテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7285589U JPH0312105U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7285589U JPH0312105U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312105U true JPH0312105U (ja) | 1991-02-07 |
Family
ID=31611163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7285589U Pending JPH0312105U (ja) | 1989-06-21 | 1989-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0312105U (ja) |
-
1989
- 1989-06-21 JP JP7285589U patent/JPH0312105U/ja active Pending