JPH0457854U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0457854U JPH0457854U JP9972690U JP9972690U JPH0457854U JP H0457854 U JPH0457854 U JP H0457854U JP 9972690 U JP9972690 U JP 9972690U JP 9972690 U JP9972690 U JP 9972690U JP H0457854 U JPH0457854 U JP H0457854U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist layer
- light source
- substrate
- photomask
- illuminating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Description
第１図〜第３図は本考案の実施例を示しており
、第１図は実施例に係る露光装置の斜視図、第２
図はその断面図を示し、第３図Ａ〜Ｄはこの露光
装置を使用したフオトリソグラフイー法の工程を
示し、第３図Ａ〜Ｄのａは工程途上の平面図、第
３図Ａ〜Ｄのｂはその断面図を夫々示しており、
また、第４図は従来における露光装置の断面図、
第５図Ａ〜Ｄはこの露光装置を使用したフオトリ
ソグラフイー法の工程を示し、第５図Ａ〜Ｄのａ
は工程途上の平面図、第５図Ａ〜Ｄのｂはその断
面図を夫々示している。 符号説明、１……微動台、２……主光源、３…
…副光源、５……基板、６……マスク、５０……
フオトレジスト層、５１……金属層。
、第１図は実施例に係る露光装置の斜視図、第２
図はその断面図を示し、第３図Ａ〜Ｄはこの露光
装置を使用したフオトリソグラフイー法の工程を
示し、第３図Ａ〜Ｄのａは工程途上の平面図、第
３図Ａ〜Ｄのｂはその断面図を夫々示しており、
また、第４図は従来における露光装置の断面図、
第５図Ａ〜Ｄはこの露光装置を使用したフオトリ
ソグラフイー法の工程を示し、第５図Ａ〜Ｄのａ
は工程途上の平面図、第５図Ａ〜Ｄのｂはその断
面図を夫々示している。 符号説明、１……微動台、２……主光源、３…
…副光源、５……基板、６……マスク、５０……
フオトレジスト層、５１……金属層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 フオトレジスト層が全面に設けられた基板の上
記フオトレジスト層に光透過性パターンを有する
フオトマスクを密着し、この状態でもつてフオト
マスク側に設けられた光源を照射させて上記フオ
トレジスト層をパターン状に照明する露光装置に
おいて、 上記光源に加えて基板周縁部のフオトレジスト
層を均一に照明する副光源を設けたことを特徴と
する露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9972690U JPH0457854U (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9972690U JPH0457854U (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0457854U true JPH0457854U (ja) | 1992-05-18 |
Family
ID=31841849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9972690U Pending JPH0457854U (ja) | 1990-09-26 | 1990-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0457854U (ja) |
-
1990
- 1990-09-26 JP JP9972690U patent/JPH0457854U/ja active Pending