JPH03122814A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、音響、映像、および情報・通信の分野で、テ
ープ、フロッピーディスク、ハードディスク等として広
く実用に供せられている磁気記録媒体に関するものであ
る。

従来の技術 近年、磁気記録媒体の分野では、記録密度の増大、信号
の高品質化、耐久性の向上等が技術的課題となっている
。その結果、従来から広く用いられている７−Ｆｅ、Ｏ
，に加えて、Ｃｏ−Ｎｉ等の合金薄膜が登場してきた。

Ｃｏ合金は大きな飽和磁束密度を示し、Ｃｒ膜を下地膜
とする事により、比較的大きな保磁力が得られるという
利点があり、高密度磁気記録媒体として実用化が考えら
れている。

以下図面を参照しながら、従来の磁気記録媒体の一例に
ついて説明する。第２図は一般的な従来例の磁気記録媒
体の断面の模式図である。アルミ基板１の上に硬質層と
して、Ｎ１−Ｐ等の下地メツキＮ２を設け、その上に高
保磁力発生用のクロム層６、その上に、磁性層であるＣ
ｏ−Ｎｉ成膜をスパッタ法等で成膜し、その上に、保護
膜４、続いて、潤滑膜５を設ける。（例えば、日本応用
磁気学会誌１０巻１９８６年−ｔ、ｐｐ、ｓ〜１１、佐
藤）。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のようなＣｏ合金膜では、金属そのも
のであるため、従来からの１−Ｆｅ、Ｏ。

という酸化物材料に比べて、耐候性、安定性、および膜
の硬度の点で問題点を有していた。

本発明は上記問題点に鑑み、鉄、炭素および窒素を主成
分とする磁性薄膜の表面上に酸化膜を備えたことを特徴
とする記録媒体を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記課題を解決するために本発明の磁気記録媒体では、
鉄、炭素および窒素を主成分とする磁性薄膜の表面上に
酸化膜を備えている。炭素と窒素の効果により、安定で
、耐久性のある鉄系化合物を実現し、さらにその上に安
定性が高（、保護膜、または自己潤滑膜として機能する
酸化物薄膜を備える。炭窒化鉄化合物薄膜の作成はＣＶ
Ｄ法やスパッタ法により可能である。ＣＶＤ法の場合、
真空容器中に、原料ガスとして、鉄と炭素を含むガスを
供給し、他に、窒素の供給源として、窒素ガスやアンモ
ニアガスを供給し、反応生成させる。

鉄と炭素を含む原料ガスとしては、フェロセン（Ｆ　ｅ
　（ＣｓＨｓ）ｚｌ　、鉄カルボニル（Ｆ　ｅ　（Ｃ０
）ｓｌトリエトキシ鉄（Ｆ　ｅ　（ＯＣ２Ｎ５）３　）
　、鉄アセチルアセトナート（Ｆ　ｅ　（ｏｚ　ｃｓ　
Ｎ７）６１などを使用できる。

酸化物薄膜は、炭素化鉄化合物薄膜の上に、酸化膜をス
パッタや蒸着により成膜するか、炭窒化鉄化合物薄膜を
酸素を含む雰囲気中で熱処理して熱酸化膜を成膜させれ
ばよい。

作用 本発明は上記した構成によって、鉄、炭素および窒素を
主成分とする磁性薄膜の表面上に酸化膜を備えたことを
特徴とする磁気記録媒体を実現する。この結果、従来の
構成では得られなかった優れた特徴を有する磁気記録媒
体を得ることができる。その特徴とは、耐久性が優れ、
経時変化が少ない等である。

実施例 以下本発明の一実施例の磁気記録媒体について、図面を
参照しながら説明する。第１図は本発明の一実施例の磁
気記録媒体の断面の模式図である。

１はアルミ基板、２はＮ１−Ｐメツキ膜、３は磁性層で
ある炭窒化鉄膜。８は熱酸化膜、５は潤滑膜であるカー
ボン膜である。以下に、炭窒化鉄膜の製法について詳述
する。本実施例では、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法を用いた
。真空容器中に、Ｎ２、およびＮＨ，ガスを導入しＥＣ
Ｒプラズマを励起状態にする。そこへ、ガス状のフェロ
センヲ導入し分解させる。フェロセンは、常温で個体で
あるから、約６０゛Ｃに温め、Ｎ２ガスをキャリアガス
として真空容器中へ輸送した。Ｎ２ガスは３ｓｅｃｍ、
ＮＨ＊ガスは５ｓｅｃｍ、Ｈｚガスは３０ｓｃｃｍ導入
した。膜中に含まれるＦｅ、Ｃ，Ｎ、及び０の組成比を
オージェ分析で求めた結果、Ｆｅの組成比は、約４５〜
５５原子％であり、Ｃは２０〜３５原子％、Ｎは１０〜
２０原子％である。成膜した炭窒化鉄化合物薄膜を真空
容器中から取り出し、大気中で２５０°Ｃで２時間熱処
理して酸化膜を形成した。

さらに、その上に潤滑膜であるカーボン膜をスパッタ法
により成膜した。

以下余白 第１表 第１表に酸化膜がある場合と無い場合での磁気記録媒体
の耐候性とコンタクトスタートストップ（ＣＳＳ）テス
トによる耐久性試験結果を示す。

いずれの評価項目においても、酸化膜を備えたほうが優
れた結果を示した。

以上の実施例に述べたように、本発明では、鉄、炭素お
よび窒素を主成分とする磁性薄膜の表面上に酸化膜を備
えたことを特徴とする記録媒体を実現する。その結果、
鉄系磁性薄膜の耐久性や耐候性の改善が容易に可能とな
る。

発明の効果 以上のように本発明では、鉄、炭素および窒素を主成分
とする磁性薄膜の表面上に酸化膜を備えたことを特徴と
する記録媒体を実現する。その結果、鉄系磁性薄膜の耐
久性や耐候性の改善を可能にするという結果を有してい
る。さらに、熱酸化によれば容易に酸化膜を形成でき、
製法の簡素化という効果も有している。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の断面の模式
図、第２図は一般的な従来例の磁気記録媒体の断面の模
式図である。 １・・・・・・アルミ基板、２・・・・・・Ｎ１−Ｐ膜
、３・・・・・・炭窒化鉄膜、４・・・・・・保護膜、
５・・・・・・潤滑膜、６・・・・・・Ｃｒ下地膜、７
・・・・・・Ｃｏ−Ｎｉ合金膜、８・・・・・・酸化膜
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）鉄、炭素および窒素を主成分とする磁性薄膜の表
   面上に酸化膜を備えたことを特徴とする磁気記録媒体。
2. （２）酸化膜が磁性薄膜の熱酸化膜であることを特徴と
   する請求項（１）記載の磁気記録媒体。