JPH03123281A - センサ回路装置 - Google Patents
センサ回路装置Info
- Publication number
- JPH03123281A JPH03123281A JP1261691A JP26169189A JPH03123281A JP H03123281 A JPH03123281 A JP H03123281A JP 1261691 A JP1261691 A JP 1261691A JP 26169189 A JP26169189 A JP 26169189A JP H03123281 A JPH03123281 A JP H03123281A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- sawtooth
- diodes
- circuit
- photoelectric conversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 93
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 16
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 19
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 4
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、複数の光電変換素子を順次に走査する形式の
一次元イメージセンサ等のセンサ回路装置に関する。
一次元イメージセンサ等のセンサ回路装置に関する。
[従来の技術と発明が解決しようとする課!!!]イメ
ージセンサは、光情報を電気信号に変換するための複数
の光電変換素子と、複数の光電変換素子を電気的に走査
して電気信号を選択的に得るためのアナログスイッチと
を有している。アナログスイッチは、例えば、特開昭6
3−2377号公報に開示されているように電界効果ト
ランジスタ(FET)から成り、複数の光電変換素子の
近傍に配置されている。
ージセンサは、光情報を電気信号に変換するための複数
の光電変換素子と、複数の光電変換素子を電気的に走査
して電気信号を選択的に得るためのアナログスイッチと
を有している。アナログスイッチは、例えば、特開昭6
3−2377号公報に開示されているように電界効果ト
ランジスタ(FET)から成り、複数の光電変換素子の
近傍に配置されている。
ところで、集積回路構成のイメージセンサにおいては、
1つの光電変換素子即ち1つの画素の幅(例えば125
ミクロン)に収まるように1つの電界効果トランジスタ
が配置されなければならない、しかし、このように極め
て狭い幅に収まるように電界効果トランジスタを形成す
ることは容易でない、また、電界効果トランジスタのド
レインとソースとゲートのための3つの配線導体層を基
板上の予め決められた幅の中に設ける時には、3つの配
線導体層の幅が必然的に狭くなり、イメージセンサの製
造の歩留りが低くなった。この種の問題を解決するため
に、本件出願人は、特願昭63−190848号及び上
記の国内優先権主張出願である特願平1−198279
号によってダイオードの直列回路を利用したセンサ回路
装置を提案した。しかし、ここには基本回路が開示され
ているのみである。この基本回路において、単にのこぎ
り波を供給すると光電変換素子に対する電圧印加時間の
バラツキが生じる。即ち、のこぎり波の立上りに近い時
点から電圧が印加される光電変換素子と、のこぎり波の
終りに近い時点から電圧が印加される光電変換素子との
間に電圧印加時間の差が生じる。複数の光電変換素子を
駆動する際に、同一条件で駆動した方が良いことは説明
するまでもないことである。なお、光電変換素子として
ホトダイオードを逆バイアスして使用する場合には、特
に同一条件での駆動が望ましい。
1つの光電変換素子即ち1つの画素の幅(例えば125
ミクロン)に収まるように1つの電界効果トランジスタ
が配置されなければならない、しかし、このように極め
て狭い幅に収まるように電界効果トランジスタを形成す
ることは容易でない、また、電界効果トランジスタのド
レインとソースとゲートのための3つの配線導体層を基
板上の予め決められた幅の中に設ける時には、3つの配
線導体層の幅が必然的に狭くなり、イメージセンサの製
造の歩留りが低くなった。この種の問題を解決するため
に、本件出願人は、特願昭63−190848号及び上
記の国内優先権主張出願である特願平1−198279
号によってダイオードの直列回路を利用したセンサ回路
装置を提案した。しかし、ここには基本回路が開示され
ているのみである。この基本回路において、単にのこぎ
り波を供給すると光電変換素子に対する電圧印加時間の
バラツキが生じる。即ち、のこぎり波の立上りに近い時
点から電圧が印加される光電変換素子と、のこぎり波の
終りに近い時点から電圧が印加される光電変換素子との
間に電圧印加時間の差が生じる。複数の光電変換素子を
駆動する際に、同一条件で駆動した方が良いことは説明
するまでもないことである。なお、光電変換素子として
ホトダイオードを逆バイアスして使用する場合には、特
に同一条件での駆動が望ましい。
そこで、本発明の目的は、トランジスタよりも電極の数
が少ないダイオードをスイッチとして使用して複数の光
電変換素子を走査することが可能であると共に、複数の
光電変換素子を実質的に同一条件で走査することが可能
なセンサ回路装置を提供することにある。
が少ないダイオードをスイッチとして使用して複数の光
電変換素子を走査することが可能であると共に、複数の
光電変換素子を実質的に同一条件で走査することが可能
なセンサ回路装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するための本発明は、実施例を示す第1
図〜第10図の符号を参照して説明すると、第1ののこ
ぎり波電圧V1を供給するための第1ののこぎり波電源
端子6と共通電源端子5とを有し、前記第1ののこぎり
波電圧■1として、少なくとも第1の方向の傾きが得ら
れるように電圧が変化する第1の区間と第1の方向と逆
の第2の方向の傾きが得られるように電圧が変化する第
2の区間とを有する波形を発生する第1ののこぎの波発
生回路1と、第1の電極と第2の一電極とをそれぞれ有
する複数個の第1のダイオードDa1、Da2が直列に
接続された回路であり、その一端が前記第1ののこぎり
波電源端子6に接続され、且つそれぞれの第1のダイオ
ードDa1、Da2の順方向電流が前記第1ののこぎり
波電圧v1に基づいて流れるような方向性をそれぞれの
第1のダイオードDa1、Da2が有し、且つそれぞれ
の第1のダイオードDa1、Da2の前記第1の電極が
前記第1ののこぎり波電源端子6の側に配置されている
第1の直列回路と、それぞれが第1の抵抗Ra1、Ra
2と第2のダイオードDb1、Db2とを直列に接続し
た回路から成り、それぞれの第1のダイオードDa1、
Da2の前記第2の@極と前記共通電源端子5との間に
それぞれ接続され、且つそれぞれの第2のダイオードD
b1、Db2の順方向電流が前記第1ののこぎり波電圧
V1に基づいて流れるような方向性をそれぞれの第2の
ダイオードDt+1、Db2が有している複数の第2の
直列回路と、それぞれの第1のダイオードDa1、Da
2の前記第2の電極と前記共通電源端子5との間にそれ
ぞれ接続された複数の第2の抵抗Rb1、Rb2又はコ
ンデンサCb1、Cb2と、一端が前記第1の抵抗Ra
1、Ra2と前記第2のダイオードDb1、Db2との
間に接続され、他端が互いに共通に接続されている複数
の光電変換素子S1、S2と、前記光電変換素子S1、
S2を前記第2のダイオードDb1、Db2に対して実
質的に並列に接続するように前記光電変換素子S1、S
2の電流を検出するために前記光電変換素子S1、S2
の共通接続側の端子と前記電源端子5との間に接続され
た共通の電流検出回路3と、第2ののこぎり波電圧v2
を供給するための第2ののこぎり波電源端子8を有し、
前記第2ののこぎり波電圧V2として、少なくとも第1
の方向の傾きが得られるように電圧が変化する第1の区
間と第2の方向の傾きが得られるように電圧が変化する
第2の区間とを有し、且つ前記第2ののこぎり波電圧v
2の第2の区間の始まりの時点が前記第1ののこぎり波
電圧V1の第2の区間の終りの時点にほぼ一致しており
、且つ前記第1ののこぎり波電圧v1の始まりの時点と
前記第2ののこぎり波電圧v2の終りの時点との中間時
点を中心にして前記第1ののこぎり波電圧V1に対称な
波形を発生するように設定されている第2ののこぎり波
発生回路4と、第1の電極と第2の電極とをそれぞれ有
する複数個の第3のダイオードDd1、Dd2が直列に
接続された回路であり、その一端が前記第2ののこぎり
波電源端子8に接続され、且つそれぞれの第3のダイオ
ードDd1、Dd2の順方向電流が前記第2ののこぎり
波電圧■2に基づいて流れるような方向性をそれぞれの
第3のダイオードDd1、Dd2が有し、且つそれぞれ
の第3のダイオードDd1、Dd2の前記第1の電極が
前記第2ののこぎり波電源端子8の側に配置されている
第3の直列回路と、それぞれの第3のダイオードDd1
、Dd2の前記第2の電極と前記光電変換素子S1、S
2との間にそれぞれ接続された複数の第3の抵抗Rc1
、Rc2と、それぞれの第3のダイオードDd1、Dd
2の前記第2の電極と前記共通電源端子5との間に接続
された複数の第4の抵抗Rd1、Rd2又はコンデンサ
とを備え、前記第1ののこぎり波電圧■1の最大振幅値
は前記第1のダイオードDa1、Da2及び前記第2の
ダイオード、D b1、Db2の全部を同時にオン状態
にすることができる値に設定され、前記第2ののこぎり
波電圧v2の最大振幅値は前記第2のダイオードDb1
、Db2と前記第3のダイオードDd1、Dd2の全部
を同時にオン状態にすることができるレベルに設定され
ているセンサ回路装置に係わるものである。
図〜第10図の符号を参照して説明すると、第1ののこ
ぎり波電圧V1を供給するための第1ののこぎり波電源
端子6と共通電源端子5とを有し、前記第1ののこぎり
波電圧■1として、少なくとも第1の方向の傾きが得ら
れるように電圧が変化する第1の区間と第1の方向と逆
の第2の方向の傾きが得られるように電圧が変化する第
2の区間とを有する波形を発生する第1ののこぎの波発
生回路1と、第1の電極と第2の一電極とをそれぞれ有
する複数個の第1のダイオードDa1、Da2が直列に
接続された回路であり、その一端が前記第1ののこぎり
波電源端子6に接続され、且つそれぞれの第1のダイオ
ードDa1、Da2の順方向電流が前記第1ののこぎり
波電圧v1に基づいて流れるような方向性をそれぞれの
第1のダイオードDa1、Da2が有し、且つそれぞれ
の第1のダイオードDa1、Da2の前記第1の電極が
前記第1ののこぎり波電源端子6の側に配置されている
第1の直列回路と、それぞれが第1の抵抗Ra1、Ra
2と第2のダイオードDb1、Db2とを直列に接続し
た回路から成り、それぞれの第1のダイオードDa1、
Da2の前記第2の@極と前記共通電源端子5との間に
それぞれ接続され、且つそれぞれの第2のダイオードD
b1、Db2の順方向電流が前記第1ののこぎり波電圧
V1に基づいて流れるような方向性をそれぞれの第2の
ダイオードDt+1、Db2が有している複数の第2の
直列回路と、それぞれの第1のダイオードDa1、Da
2の前記第2の電極と前記共通電源端子5との間にそれ
ぞれ接続された複数の第2の抵抗Rb1、Rb2又はコ
ンデンサCb1、Cb2と、一端が前記第1の抵抗Ra
1、Ra2と前記第2のダイオードDb1、Db2との
間に接続され、他端が互いに共通に接続されている複数
の光電変換素子S1、S2と、前記光電変換素子S1、
S2を前記第2のダイオードDb1、Db2に対して実
質的に並列に接続するように前記光電変換素子S1、S
2の電流を検出するために前記光電変換素子S1、S2
の共通接続側の端子と前記電源端子5との間に接続され
た共通の電流検出回路3と、第2ののこぎり波電圧v2
を供給するための第2ののこぎり波電源端子8を有し、
前記第2ののこぎり波電圧V2として、少なくとも第1
の方向の傾きが得られるように電圧が変化する第1の区
間と第2の方向の傾きが得られるように電圧が変化する
第2の区間とを有し、且つ前記第2ののこぎり波電圧v
2の第2の区間の始まりの時点が前記第1ののこぎり波
電圧V1の第2の区間の終りの時点にほぼ一致しており
、且つ前記第1ののこぎり波電圧v1の始まりの時点と
前記第2ののこぎり波電圧v2の終りの時点との中間時
点を中心にして前記第1ののこぎり波電圧V1に対称な
波形を発生するように設定されている第2ののこぎり波
発生回路4と、第1の電極と第2の電極とをそれぞれ有
する複数個の第3のダイオードDd1、Dd2が直列に
接続された回路であり、その一端が前記第2ののこぎり
波電源端子8に接続され、且つそれぞれの第3のダイオ
ードDd1、Dd2の順方向電流が前記第2ののこぎり
波電圧■2に基づいて流れるような方向性をそれぞれの
第3のダイオードDd1、Dd2が有し、且つそれぞれ
の第3のダイオードDd1、Dd2の前記第1の電極が
前記第2ののこぎり波電源端子8の側に配置されている
第3の直列回路と、それぞれの第3のダイオードDd1
、Dd2の前記第2の電極と前記光電変換素子S1、S
2との間にそれぞれ接続された複数の第3の抵抗Rc1
、Rc2と、それぞれの第3のダイオードDd1、Dd
2の前記第2の電極と前記共通電源端子5との間に接続
された複数の第4の抵抗Rd1、Rd2又はコンデンサ
とを備え、前記第1ののこぎり波電圧■1の最大振幅値
は前記第1のダイオードDa1、Da2及び前記第2の
ダイオード、D b1、Db2の全部を同時にオン状態
にすることができる値に設定され、前記第2ののこぎり
波電圧v2の最大振幅値は前記第2のダイオードDb1
、Db2と前記第3のダイオードDd1、Dd2の全部
を同時にオン状態にすることができるレベルに設定され
ているセンサ回路装置に係わるものである。
[作用]
請求項1の発明において、第1ののこぎり波■1を第1
及び第2のダイオードDa1、Da2、Db1、Db2
を含む回路に供給すると、これ等が順次にオン状態にな
り、光電変換素子S1.32に順次に電圧が印加される
。第2ののこぎり波電圧■2を第3のダイオードDd1
、Dd2の直列回路に印加すると、光電変換素子Sl
、S2に逆バイアス電圧が印加され、各光電変換素子S
1、S2の逆バイアス印加時間幅を揃えることができる
。
及び第2のダイオードDa1、Da2、Db1、Db2
を含む回路に供給すると、これ等が順次にオン状態にな
り、光電変換素子S1.32に順次に電圧が印加される
。第2ののこぎり波電圧■2を第3のダイオードDd1
、Dd2の直列回路に印加すると、光電変換素子Sl
、S2に逆バイアス電圧が印加され、各光電変換素子S
1、S2の逆バイアス印加時間幅を揃えることができる
。
[実施例]
第1図に示されている本発明の実施例に従う一次元イメ
ージセンサは、第1ののこぎり波発生回路1と、4つの
画素即ちビットに対応した4つの単位回路KO、Kl
、K2 、に3と、出力端子2を有する共通の電流検出
回路3と、第2ののこぎり波発生回路4と、4つのバイ
アス印加回路LO〜L3とか°ら成る。この−次元イメ
ージセンサは4つよりも多い数の画素を検出することが
できるように構成されている。しかし、この−次元イメ
ージセンサの全部の構成を図面に示すことは困難である
ので、その一部のみが第1図に示されている。第1のの
こぎり波発生回路・1は、共通電源端子(グランド端子
)5と第1ののこぎり波出力端子6とを有し、第5図(
A)に示す第1ののこぎり波電圧V1を発生する。第1
ののこぎり波電圧v1は、正方向(第1の方向)の傾き
を有する第1の区間T1と負方向(第2の方向)の傾き
を有する第2の区間T2と、これ等の間の平坦な第3の
区間T3とを備え、一定周期で繰返して発生される。な
お、第1ののこぎり波電圧v1は第1の区間T1以上の
相互間隔を有して発生する。
ージセンサは、第1ののこぎり波発生回路1と、4つの
画素即ちビットに対応した4つの単位回路KO、Kl
、K2 、に3と、出力端子2を有する共通の電流検出
回路3と、第2ののこぎり波発生回路4と、4つのバイ
アス印加回路LO〜L3とか°ら成る。この−次元イメ
ージセンサは4つよりも多い数の画素を検出することが
できるように構成されている。しかし、この−次元イメ
ージセンサの全部の構成を図面に示すことは困難である
ので、その一部のみが第1図に示されている。第1のの
こぎり波発生回路・1は、共通電源端子(グランド端子
)5と第1ののこぎり波出力端子6とを有し、第5図(
A)に示す第1ののこぎり波電圧V1を発生する。第1
ののこぎり波電圧v1は、正方向(第1の方向)の傾き
を有する第1の区間T1と負方向(第2の方向)の傾き
を有する第2の区間T2と、これ等の間の平坦な第3の
区間T3とを備え、一定周期で繰返して発生される。な
お、第1ののこぎり波電圧v1は第1の区間T1以上の
相互間隔を有して発生する。
第2ののこぎり波発生回路4は、共通電源端子7と第2
ののこぎり波出力端子8とを有し、第5図(B)の第2
ののこぎり波電圧v2を発生する。
ののこぎり波出力端子8とを有し、第5図(B)の第2
ののこぎり波電圧v2を発生する。
第2ののこぎり波電圧V2は、正方向の傾きを有する第
1の区間T4と負方向の傾きを有する第2の区間T5と
これ等の間の平坦な第3の区間T6とから成る。第1の
のこぎり波電圧v1の立上り時点toと第2ののこぎり
波電圧■2の終了時点t10との中間時点t5を中心に
第1及び第2ののこぎり波電圧V1 、V2は対称に発
生している。
1の区間T4と負方向の傾きを有する第2の区間T5と
これ等の間の平坦な第3の区間T6とから成る。第1の
のこぎり波電圧v1の立上り時点toと第2ののこぎり
波電圧■2の終了時点t10との中間時点t5を中心に
第1及び第2ののこぎり波電圧V1 、V2は対称に発
生している。
また、第1ののこぎり波電圧V1の第1の区間T1の終
了時点t4と第2ののこぎり波電圧v2の立上り時点と
が一致し、第1ののこぎり波電圧V1のの終了時点t6
と第2ののこぎり波電圧■2の第2の区間T5の開始時
点とが一致している。
了時点t4と第2ののこぎり波電圧v2の立上り時点と
が一致し、第1ののこぎり波電圧V1のの終了時点t6
と第2ののこぎり波電圧■2の第2の区間T5の開始時
点とが一致している。
なお、第1及び第2ののこぎり波電圧■1、V2は対称
波形であるので、TI =T5 、T2 =T4、T3
=T6であり8、第1の区間T1と第5の区間T5の
傾きが同一であると共に、第2の区間T2と第4の区間
T4の傾きも同一である。 互いに同一の3つの単位回
路に1 、に2 、K3は、第1のダイオードDa1、
Da2、Da3と、第2のダイオードDb1、Db2、
Db3と、第1の抵抗Ra1、Ra2、Ra3と、第2
の抵抗Rb1、Rb2、Rb3と、光電変換素子S1、
S2、S3と、ブロッキングダイオードDC1、Dc2
、Dc3とがら成る。もう1つの単位回路KOは、第2
のダイオードDbOと、第1の抵抗RaOと、光電変換
素子SOと、ブロッキングダイオードDcOとから成る
。単位回路KOは、別の単位回路に1 、K2 、K3
における第1のタイオードDa1、Da2、Da3、及
び第2の抵抗Rb1、Rb2、Rb3に対応するものを
有していない。しかし、単位回路KOにも別の単位回路
に1 、に2、K3の第1のダイオードと第2の抵抗に
対応するものを接続することができる。また、必要に応
じて第1図のイメージセンサから初段の単位回路KOを
省くことができる。
波形であるので、TI =T5 、T2 =T4、T3
=T6であり8、第1の区間T1と第5の区間T5の
傾きが同一であると共に、第2の区間T2と第4の区間
T4の傾きも同一である。 互いに同一の3つの単位回
路に1 、に2 、K3は、第1のダイオードDa1、
Da2、Da3と、第2のダイオードDb1、Db2、
Db3と、第1の抵抗Ra1、Ra2、Ra3と、第2
の抵抗Rb1、Rb2、Rb3と、光電変換素子S1、
S2、S3と、ブロッキングダイオードDC1、Dc2
、Dc3とがら成る。もう1つの単位回路KOは、第2
のダイオードDbOと、第1の抵抗RaOと、光電変換
素子SOと、ブロッキングダイオードDcOとから成る
。単位回路KOは、別の単位回路に1 、K2 、K3
における第1のタイオードDa1、Da2、Da3、及
び第2の抵抗Rb1、Rb2、Rb3に対応するものを
有していない。しかし、単位回路KOにも別の単位回路
に1 、に2、K3の第1のダイオードと第2の抵抗に
対応するものを接続することができる。また、必要に応
じて第1図のイメージセンサから初段の単位回路KOを
省くことができる。
アノード(第1の電極)とカソード(第2の電極)とを
有する3つの第1のダイオードDa1、DBP、Da3
が互いに直列に接続された回路(第1の直列回路)の一
端(左端)はのこぎり波電源端子6に接続されている。
有する3つの第1のダイオードDa1、DBP、Da3
が互いに直列に接続された回路(第1の直列回路)の一
端(左端)はのこぎり波電源端子6に接続されている。
第1のダイオードDa1、DBP、Da3はのこぎり波
電圧v1によって順方向にバイアスされる方向性を有し
ている。即ち、第1のダイオードDa1〜Da3のアノ
ード(第1の電極)が第1ののこぎり波電源端子6の側
に配置されている。
電圧v1によって順方向にバイアスされる方向性を有し
ている。即ち、第1のダイオードDa1〜Da3のアノ
ード(第1の電極)が第1ののこぎり波電源端子6の側
に配置されている。
第1のダイオードDa1、DBP、Da3のカソード(
第2の電極)と共通電源端子5との間には第1の抵抗R
a1、Ra2、Ra3と第2のダイオードDb1、Db
2、Db3とを直列にそれぞれ接続した回路(第2の直
列回路)がそれぞれ接続されている。単位回路KOにお
いては、第1の抵抗RaOと第2のダイオードDbOと
の直列回路が接続されている。第2のダイオードDbO
,Db1、Db2、Db3は第1ののこぎり波電圧■1
によって順方向にバイアスされる方向性を有している。
第2の電極)と共通電源端子5との間には第1の抵抗R
a1、Ra2、Ra3と第2のダイオードDb1、Db
2、Db3とを直列にそれぞれ接続した回路(第2の直
列回路)がそれぞれ接続されている。単位回路KOにお
いては、第1の抵抗RaOと第2のダイオードDbOと
の直列回路が接続されている。第2のダイオードDbO
,Db1、Db2、Db3は第1ののこぎり波電圧■1
によって順方向にバイアスされる方向性を有している。
各単位回路KO、Kl 、K2 、に3における第1の
抵抗Ra05Ra1、Ra2、Ra3と第2のダイオー
ドDbO1Db1、Db2、Db3の相互接続点PO1
P1 、P2 、P3に光電変換素子so、si、s2
、S3のカソードがそれぞれ接続されている。
抵抗Ra05Ra1、Ra2、Ra3と第2のダイオー
ドDbO1Db1、Db2、Db3の相互接続点PO1
P1 、P2 、P3に光電変換素子so、si、s2
、S3のカソードがそれぞれ接続されている。
光電変換素子5O1S1、S2、S3のアノードは光電
変換素子5o−33の相互干渉を防ぐためのプロツキン
グダオードDcO1Dc1、DC2、Dc3を介して共
通に接続され、この共通ライン9と共通電源端子(グラ
ンド)5との間に共通の電流検出回路3が接続されてい
る。従って、各光電変換素子SO〜S3は各第2のダイ
オードDbO〜Db3に実質的に並列接続されている。
変換素子5o−33の相互干渉を防ぐためのプロツキン
グダオードDcO1Dc1、DC2、Dc3を介して共
通に接続され、この共通ライン9と共通電源端子(グラ
ンド)5との間に共通の電流検出回路3が接続されてい
る。従って、各光電変換素子SO〜S3は各第2のダイ
オードDbO〜Db3に実質的に並列接続されている。
光電変換素子5O1S1、S2、S3はホトダイオード
から成り、第1及び第2ののこぎり波電圧v1、V2で
逆バイアスされるように接続されている。光電変換素子
SO〜S3は逆バイアス電圧で動作するためにここに流
れる電流は極めて小さい。
から成り、第1及び第2ののこぎり波電圧v1、V2で
逆バイアスされるように接続されている。光電変換素子
SO〜S3は逆バイアス電圧で動作するためにここに流
れる電流は極めて小さい。
初段の逆バイアス印加回路LOを除く残り3つの逆バイ
アス印加回路L1〜L3は、第3のダイオードDd1、
Dd2、D(13と、第3の抵抗Rc1〜RC3と、第
4の抵抗Rd1〜Rd3とから成る。初段の逆バイアス
印加回路LOは第3の抵抗RcOのみから成る。
アス印加回路L1〜L3は、第3のダイオードDd1、
Dd2、D(13と、第3の抵抗Rc1〜RC3と、第
4の抵抗Rd1〜Rd3とから成る。初段の逆バイアス
印加回路LOは第3の抵抗RcOのみから成る。
第3のダイオードDd1〜Dd3は互いに直列に接続さ
れて第3の直列回路を形成している。この第3の直列回
路の一端は第2ののこぎり波電源端子8に接続されてい
る。各第3のダイオードDd1〜Dd3のアノード(第
1の電極)がカソード(第2の電極)よりも第2ののこ
ぎり波電源端子8に近くなるような方向性を有している
ので、各ダイオードDdl〜Dd3は第2ののこぎり波
電圧■2で順バイアスされる。
れて第3の直列回路を形成している。この第3の直列回
路の一端は第2ののこぎり波電源端子8に接続されてい
る。各第3のダイオードDd1〜Dd3のアノード(第
1の電極)がカソード(第2の電極)よりも第2ののこ
ぎり波電源端子8に近くなるような方向性を有している
ので、各ダイオードDdl〜Dd3は第2ののこぎり波
電圧■2で順バイアスされる。
初段の逆バイアス印加図11LOの第3の抵抗RCOは
第2ののこぎり波電源端子8と23点(光電変換素子S
のカソード)間に接続されている。その後の段の逆バイ
アス印加回路し1〜L3の第3の抵抗RC1〜RC3は
各段のダイオードDd1〜Dd3のカソードとP2、P
1、20点即ち各段の光電変換素子S2、S1、SOの
カソードとの間に接続されている。第4の抵抗Rd1〜
Rd3は第3のダイオードDdl〜Dd3のカソードと
共通電源端子(グランド)との間に接続されている。な
お、2つの共通電源端子5.7は相互に接続されている
。
第2ののこぎり波電源端子8と23点(光電変換素子S
のカソード)間に接続されている。その後の段の逆バイ
アス印加回路し1〜L3の第3の抵抗RC1〜RC3は
各段のダイオードDd1〜Dd3のカソードとP2、P
1、20点即ち各段の光電変換素子S2、S1、SOの
カソードとの間に接続されている。第4の抵抗Rd1〜
Rd3は第3のダイオードDdl〜Dd3のカソードと
共通電源端子(グランド)との間に接続されている。な
お、2つの共通電源端子5.7は相互に接続されている
。
第1図のイメージセンサの各部の詳細は次の通りである
。
。
第1及び第2ののこぎり波発生口IMI、4から発生す
る第1ののこぎり波電圧V1の第1の区間T1の傾斜は
、第1及び第2のダイオードDa1〜Da3、DI)O
〜Db3の立上り速度よりもゆるく設定されている。ま
た、第1ののこぎり波電圧V1の最大振幅値は第1図の
全部の第1及び第2のダイオードDa1〜Da3、Db
O〜Db3をオン状態にすることがで捲る値に設定され
ている。第2のののこぎり波電圧■2の最大振幅も第3
のダイオードDd1〜Dd3及び第2のダイオードDb
O〜Db3の全部をオンにすることができる値に設定さ
れている。
る第1ののこぎり波電圧V1の第1の区間T1の傾斜は
、第1及び第2のダイオードDa1〜Da3、DI)O
〜Db3の立上り速度よりもゆるく設定されている。ま
た、第1ののこぎり波電圧V1の最大振幅値は第1図の
全部の第1及び第2のダイオードDa1〜Da3、Db
O〜Db3をオン状態にすることがで捲る値に設定され
ている。第2のののこぎり波電圧■2の最大振幅も第3
のダイオードDd1〜Dd3及び第2のダイオードDb
O〜Db3の全部をオンにすることができる値に設定さ
れている。
光電変換素子SO〜S3、第1のダイオードDa1〜D
a3、第2のダイオードDbO〜Db3、第3のダイオ
ードDd1〜Dd3、ブロッキングダイオードDcO−
Dc3は、それぞれpin接合ダイオードであって、水
素化アモルファスシリコン半導体層と、この半導体層の
下側に設けられた一方の電極層と、半導体層の上側に設
けられた他方の電極層とから成り、共通の絶縁基板(図
示せず)上に設けられている。集積回路で形成される各
単位回路KO〜に3に与えられた幅が125ミクロンの
場合において、第1及び第2のダイオードDa1〜Da
3、DbO〜Db3の配線導体層の幅を約20ミクロン
にすることができる。もし、光電変換素子SO〜S3の
走査のために電界効果トランジスタを使用する場合には
、配線導体層の幅が約10ミクロンとなり、本実施例に
比べて狭いためにイメージセンサの製造歩留りが急くな
−る。
a3、第2のダイオードDbO〜Db3、第3のダイオ
ードDd1〜Dd3、ブロッキングダイオードDcO−
Dc3は、それぞれpin接合ダイオードであって、水
素化アモルファスシリコン半導体層と、この半導体層の
下側に設けられた一方の電極層と、半導体層の上側に設
けられた他方の電極層とから成り、共通の絶縁基板(図
示せず)上に設けられている。集積回路で形成される各
単位回路KO〜に3に与えられた幅が125ミクロンの
場合において、第1及び第2のダイオードDa1〜Da
3、DbO〜Db3の配線導体層の幅を約20ミクロン
にすることができる。もし、光電変換素子SO〜S3の
走査のために電界効果トランジスタを使用する場合には
、配線導体層の幅が約10ミクロンとなり、本実施例に
比べて狭いためにイメージセンサの製造歩留りが急くな
−る。
光電変換素子SO〜S3は逆バイアスされているので、
第2図に示すキャパシタンスCsと光強度に比例する電
流源Isとの並列回路で等価的に示される。尚、光電変
換素子SO〜S3の等価キャパシタンスCsに流れる電
流の値は極めて小さい。
第2図に示すキャパシタンスCsと光強度に比例する電
流源Isとの並列回路で等価的に示される。尚、光電変
換素子SO〜S3の等価キャパシタンスCsに流れる電
流の値は極めて小さい。
第1〜第3のダイオードD al 〜D a3、DbO
〜Db3、Dd1〜Dd3がオン状態にになった時の両
端電圧即ち順方向電圧VfはほぼIVである。第1の抵
抗RaO〜Ra3及び第3の抵抗RCO〜Rc3はそれ
ぞれ100にΩであり、第2の抵抗Rb1〜Rb3及び
第4の抵抗Rd1〜Rd3はそれぞれ1にΩであり、こ
れ等はT i 02 、Ta−3i02又はNiCr等
の物質で形成されている。
〜Db3、Dd1〜Dd3がオン状態にになった時の両
端電圧即ち順方向電圧VfはほぼIVである。第1の抵
抗RaO〜Ra3及び第3の抵抗RCO〜Rc3はそれ
ぞれ100にΩであり、第2の抵抗Rb1〜Rb3及び
第4の抵抗Rd1〜Rd3はそれぞれ1にΩであり、こ
れ等はT i 02 、Ta−3i02又はNiCr等
の物質で形成されている。
第1図では第1及び第2ののこぎり波発生回路1、4及
び電流検出回路3の相互接続が省略されているが、実際
には、これ等は相互に接続されており、一定の時間関係
を有している。
び電流検出回路3の相互接続が省略されているが、実際
には、これ等は相互に接続されており、一定の時間関係
を有している。
電流検出回路3は、第3図に詳細に示すように、積分回
路10と、サンプルホールド回路11と、タイミング信
号発生回路12と、制御信号発生回路13とから成る。
路10と、サンプルホールド回路11と、タイミング信
号発生回路12と、制御信号発生回路13とから成る。
積分回路10は光電変換素子SO〜S3の電流の変化を
検出する回路であって、電流検出兼積分用コンデンサ1
4と、放電用(リセット用)スイッチ15と、増幅器1
6とから成る。コンデンサ14は光電変換素子SO〜S
3の共通出力ラインとグランドとの間に接続されている
ので、光電変換素子SO〜S3に流れる電流によって充
電される。コンデンサ14に並列に接続されたスイッチ
15は光電変換素子SO〜S3の出力電流を分離して検
出するために、各光電変換素子SO〜S3によるコンデ
ンサ14の充電完了時点又はこの近傍でオンになってコ
ンデンサ14を放電状態にするものである。コンデンサ
14の一端は増幅器16を介してサンプルホールド回路
11に接続されている。従って、サンプルホールド回路
11は、積分回路10の出力電圧を放電用スイッチ15
のオン開始時点の直前でサンプリングし、ホールドする
。
検出する回路であって、電流検出兼積分用コンデンサ1
4と、放電用(リセット用)スイッチ15と、増幅器1
6とから成る。コンデンサ14は光電変換素子SO〜S
3の共通出力ラインとグランドとの間に接続されている
ので、光電変換素子SO〜S3に流れる電流によって充
電される。コンデンサ14に並列に接続されたスイッチ
15は光電変換素子SO〜S3の出力電流を分離して検
出するために、各光電変換素子SO〜S3によるコンデ
ンサ14の充電完了時点又はこの近傍でオンになってコ
ンデンサ14を放電状態にするものである。コンデンサ
14の一端は増幅器16を介してサンプルホールド回路
11に接続されている。従って、サンプルホールド回路
11は、積分回路10の出力電圧を放電用スイッチ15
のオン開始時点の直前でサンプリングし、ホールドする
。
タイミング信号発生回路12は、第4図(E)に示すタ
イミング信号Vtを制御信号形成回1i1813に供給
すると共に、第1及び第2ののこぎり波発生回路1.4
にのこぎり波電圧V1 、V2の発生を制御するための
信号を送る。このタイミング信号発生回路12をのこぎ
り波発生回路1又は4に内蔵させることもできる。
イミング信号Vtを制御信号形成回1i1813に供給
すると共に、第1及び第2ののこぎり波発生回路1.4
にのこぎり波電圧V1 、V2の発生を制御するための
信号を送る。このタイミング信号発生回路12をのこぎ
り波発生回路1又は4に内蔵させることもできる。
タイミング信号発生回路12に接続されている制御信号
形成回路13は複数の単安定マルチバイブレータ又はカ
ウンタから成り、第4図(F)に示すサンプルホールド
制御信号Vsと第4図(G)に示す放電制御信号Vrと
を発生する。第4図(F)のサンプルホールド制御信号
Vsは第4図(E)の方形波のタイミングパルスVtの
前縁に同期して立上って一定時間持続する。第4図(G
)の放電制御信号Vrは第4図(F)のサンプルホール
ド制御信号の前縁よりも少し遅れて立上って比較的短時
間後に立下る。
形成回路13は複数の単安定マルチバイブレータ又はカ
ウンタから成り、第4図(F)に示すサンプルホールド
制御信号Vsと第4図(G)に示す放電制御信号Vrと
を発生する。第4図(F)のサンプルホールド制御信号
Vsは第4図(E)の方形波のタイミングパルスVtの
前縁に同期して立上って一定時間持続する。第4図(G
)の放電制御信号Vrは第4図(F)のサンプルホール
ド制御信号の前縁よりも少し遅れて立上って比較的短時
間後に立下る。
[動作]
まず、逆バイアス印加回路LO〜L3の寄与を考慮しな
い第1図のイメージセンサの基本動作を説明する。第1
ののこぎり波発生回路1から第4図(A)に示す第1の
のこぎり波電圧■1が発生すると、点POの電位VpO
が第4図(B)に示す如く徐々に高くなる。これによっ
て、点POの電位VpOが単位回路KOの第2のダイオ
ードDbOの順方向電圧Vf (約IV)になると、
ダイオードDbOがオン状態になり、点POの電位Vρ
0はほぼ一定値(はぼVf)即ち飽和電圧値になる。単
位回路KOの第2のダイオードDbOのオン状態への転
換とほぼ同時に単位回路に1の第1のダイオードDa1
もオン状態に転換する。単位回路に1の第1のダイオー
ドDalが非導通(オフ状態)の期間には、第1のダイ
オードDalのカソードはほぼ零ボルトであるが、第1
のダイオードDa1がオン状態になって更に第1ののこ
ぎり波電圧■1が高くなると、第1のダイオードDa1
のカソード電圧はのこぎり波電圧v1に追従して高くな
る。即ち、第1のダイオードDa1がオン状態になると
、この両端電圧は順方向電圧Vfにほぼ固定されるため
、のこぎり波電圧V1からダイオードDa1の順方向電
圧Vfを差し引いた電圧が抵抗Rb1の両端に加わる。
い第1図のイメージセンサの基本動作を説明する。第1
ののこぎり波発生回路1から第4図(A)に示す第1の
のこぎり波電圧■1が発生すると、点POの電位VpO
が第4図(B)に示す如く徐々に高くなる。これによっ
て、点POの電位VpOが単位回路KOの第2のダイオ
ードDbOの順方向電圧Vf (約IV)になると、
ダイオードDbOがオン状態になり、点POの電位Vρ
0はほぼ一定値(はぼVf)即ち飽和電圧値になる。単
位回路KOの第2のダイオードDbOのオン状態への転
換とほぼ同時に単位回路に1の第1のダイオードDa1
もオン状態に転換する。単位回路に1の第1のダイオー
ドDalが非導通(オフ状態)の期間には、第1のダイ
オードDalのカソードはほぼ零ボルトであるが、第1
のダイオードDa1がオン状態になって更に第1ののこ
ぎり波電圧■1が高くなると、第1のダイオードDa1
のカソード電圧はのこぎり波電圧v1に追従して高くな
る。即ち、第1のダイオードDa1がオン状態になると
、この両端電圧は順方向電圧Vfにほぼ固定されるため
、のこぎり波電圧V1からダイオードDa1の順方向電
圧Vfを差し引いた電圧が抵抗Rb1の両端に加わる。
また、単位回路に1の第2のダイオードDb1が非導通
の期間には、点P1の電位が第2の抵抗Rblの両端電
圧にほぼ等しくなる。従って、第1のダイオードDa1
がオン状態になった後に、点P1の電位Vp1が第4図
(B)に示すように徐々に上昇する。点P1の電位Vp
1が第2のダイオードDb1の順方向電圧Vfになると
、これがオン状態になり、点P1の電位Vp1はほぼ一
定値(Vf )になる。単位回路に1の第2のダイオー
ドDb1のオン状態への転換とほぼ同時に単位回路に2
の第1のダイオードDa2がオン状態に転換し、点P2
に第4図(B)に示すように電位Vp2が得られる。
の期間には、点P1の電位が第2の抵抗Rblの両端電
圧にほぼ等しくなる。従って、第1のダイオードDa1
がオン状態になった後に、点P1の電位Vp1が第4図
(B)に示すように徐々に上昇する。点P1の電位Vp
1が第2のダイオードDb1の順方向電圧Vfになると
、これがオン状態になり、点P1の電位Vp1はほぼ一
定値(Vf )になる。単位回路に1の第2のダイオー
ドDb1のオン状態への転換とほぼ同時に単位回路に2
の第1のダイオードDa2がオン状態に転換し、点P2
に第4図(B)に示すように電位Vp2が得られる。
のこぎり波電圧v1が更に高くなると、単位回路に3の
第1のダイオードDa3がオン状態に転換し、点P3に
第4図(B)の電位V1)3が得られる。点PO〜P3
の電位VpO〜Vp3が第4図(B)に示すように順次
に変化すると、各点PO〜P3と、グランドとの間に電
流検出回路3を介して接続された光電変換素子SO〜S
3が順次に駆動される。
第1のダイオードDa3がオン状態に転換し、点P3に
第4図(B)の電位V1)3が得られる。点PO〜P3
の電位VpO〜Vp3が第4図(B)に示すように順次
に変化すると、各点PO〜P3と、グランドとの間に電
流検出回路3を介して接続された光電変換素子SO〜S
3が順次に駆動される。
即ち、光電変換素子SO〜S3が電気的に走査される。
第1図の回路において光電変換素子SO〜S3は一次元
的に配置されている。この光電変換素子SO〜S3で光
情報を読み取る時には、まず、第1のダイオードDa1
〜Da3及び第2のダイオードDbO〜Db3の全部を
オン状態にすることができるのこぎり波電圧v1を発生
させる。なお、第1のダイオードDa1〜Da3及び第
2のダイオードDbO〜Db3の全部をオン状態にする
ための電圧は、第4図(A)に示すのこぎり波電圧■1
で与えることができる。即ち、のこぎり波電圧■1の最
大値及びこの近傍の電圧値は、第1及び第2のダイオー
ドDal〜Da3及びDbO〜Db3の全部をオンにす
ることができる。
的に配置されている。この光電変換素子SO〜S3で光
情報を読み取る時には、まず、第1のダイオードDa1
〜Da3及び第2のダイオードDbO〜Db3の全部を
オン状態にすることができるのこぎり波電圧v1を発生
させる。なお、第1のダイオードDa1〜Da3及び第
2のダイオードDbO〜Db3の全部をオン状態にする
ための電圧は、第4図(A)に示すのこぎり波電圧■1
で与えることができる。即ち、のこぎり波電圧■1の最
大値及びこの近傍の電圧値は、第1及び第2のダイオー
ドDal〜Da3及びDbO〜Db3の全部をオンにす
ることができる。
第1のダイオードDa1〜Da3及び第2のダイオード
DbO〜Db3の全部がオン状態である期間には、点P
ONP3に得られる第2のダイオードDbO〜Db3の
順方向電圧vf く約IV)によって各光電変換素子S
O〜S3が逆バイアスされ、第2図に等価的に示すキャ
パシタンスCsが充電される。
DbO〜Db3の全部がオン状態である期間には、点P
ONP3に得られる第2のダイオードDbO〜Db3の
順方向電圧vf く約IV)によって各光電変換素子S
O〜S3が逆バイアスされ、第2図に等価的に示すキャ
パシタンスCsが充電される。
なお、等価キャパシタンスCsは極めて小さいので、ブ
ロッキングダイオードDcO〜DC3の順方向電流が急
峻に立上る点よりも前の領域の電流によって等価キャパ
シタンスCsの充電を達成することができる。
ロッキングダイオードDcO〜DC3の順方向電流が急
峻に立上る点よりも前の領域の電流によって等価キャパ
シタンスCsの充電を達成することができる。
第1図のイメージセンサに対向配置されている例えばフ
ァクシミリの原稿のような被写体く図示せず)から得ら
れる光信号が光電変換素子SO〜S3に入力されると、
光信号の有無及び大小に対応して光電変換素子SO〜S
3の等価キャパシタンスCsの充電電荷量が変化する。
ァクシミリの原稿のような被写体く図示せず)から得ら
れる光信号が光電変換素子SO〜S3に入力されると、
光信号の有無及び大小に対応して光電変換素子SO〜S
3の等価キャパシタンスCsの充電電荷量が変化する。
即ち、光電変換素子SO〜S3の内で光信号が入力した
ものにおいて等価キャパシタンスCsの放電が生じ、光
信号が入力しなかったものでは等価キャパシタンスCs
の放電が生じない0等価キャパシタンスC5の放電の量
は光量によって変化する。光電変換素子SO〜S3に対
して光入力を与える方法は2つある。その1つは光電変
換素子SO〜S3に常に光入力を与える方法であり、も
う1つは予め決められた期間(例えば第1ののこぎり波
電圧v1が零ボルトの期間)にのみ光入力を与える方法
である。
ものにおいて等価キャパシタンスCsの放電が生じ、光
信号が入力しなかったものでは等価キャパシタンスCs
の放電が生じない0等価キャパシタンスC5の放電の量
は光量によって変化する。光電変換素子SO〜S3に対
して光入力を与える方法は2つある。その1つは光電変
換素子SO〜S3に常に光入力を与える方法であり、も
う1つは予め決められた期間(例えば第1ののこぎり波
電圧v1が零ボルトの期間)にのみ光入力を与える方法
である。
第1ののこぎり波電圧v1が第4図(A)に示すように
時間と共に直線的に増大すると、点PO〜P3に第4図
(B)に示すように電位VpO5■p1、Vp2、Vp
3が得られ、これによって光電変換素子SO〜S3が順
次に逆バイアスされる。#A言すれば、第2図に示す等
価キャパシタンスCsを充電するための電圧が光電変換
素子SO〜S3に印加される。この時、光電変換素子S
O〜S3の等価キャパシタンスCsの内で光入力で放電
したものに対しては充電電流が流れるが、光入力がなく
て放電しなかったものに対しては充電電流が流れない、
光電変換素子SO〜S3の等価キャパシタンスCsの充
電電流はブロッキングダイオードDCO〜Dc3と電流
検出回路3とを通って流れるので、電流検出回路3内の
コンデンサ14の電圧は光電変換素子SO〜S3の等価
キャパシタンスC5の充電電流の有無によって変化する
。第4図(C)には、光電変換素子SO〜S3の共通出
力ラインの電流Ioutが示されている。この第4図(
C)には3つの光電変換素子5O2S1、S3に対して
大きな光入力があり、1つの光電変換素子S2に対して
小さな光入力があった時の共通ラインの電流Ioutが
示されている。電流Ioutは各点PO〜P3の電位V
pO〜Vp3の上昇に追従して増大し、電位vpo〜V
p3が飽和に近づくと減少する。
時間と共に直線的に増大すると、点PO〜P3に第4図
(B)に示すように電位VpO5■p1、Vp2、Vp
3が得られ、これによって光電変換素子SO〜S3が順
次に逆バイアスされる。#A言すれば、第2図に示す等
価キャパシタンスCsを充電するための電圧が光電変換
素子SO〜S3に印加される。この時、光電変換素子S
O〜S3の等価キャパシタンスCsの内で光入力で放電
したものに対しては充電電流が流れるが、光入力がなく
て放電しなかったものに対しては充電電流が流れない、
光電変換素子SO〜S3の等価キャパシタンスCsの充
電電流はブロッキングダイオードDCO〜Dc3と電流
検出回路3とを通って流れるので、電流検出回路3内の
コンデンサ14の電圧は光電変換素子SO〜S3の等価
キャパシタンスC5の充電電流の有無によって変化する
。第4図(C)には、光電変換素子SO〜S3の共通出
力ラインの電流Ioutが示されている。この第4図(
C)には3つの光電変換素子5O2S1、S3に対して
大きな光入力があり、1つの光電変換素子S2に対して
小さな光入力があった時の共通ラインの電流Ioutが
示されている。電流Ioutは各点PO〜P3の電位V
pO〜Vp3の上昇に追従して増大し、電位vpo〜V
p3が飽和に近づくと減少する。
積分回路10のコンデンサ14は、第4図(C)の電流
l0tltで充電され、この充電電圧Vcは第4図(D
)に示すように変化する。光電変換素子SO〜S3の電
流変化を区分して検出するなめに、放電用スイッチ15
が周期的にオン状態になる。
l0tltで充電され、この充電電圧Vcは第4図(D
)に示すように変化する。光電変換素子SO〜S3の電
流変化を区分して検出するなめに、放電用スイッチ15
が周期的にオン状態になる。
サンプルホールド回路11は第4図(F)に示すサンプ
ルホールド制御信号Vsを示すパルスの後縁時点に同期
して第4図(D)の積分出力電圧VCをサンプリングし
、これを第4図(F)に示す正パルスの幅(例えばt2
〜t4)だけ保持する。
ルホールド制御信号Vsを示すパルスの後縁時点に同期
して第4図(D)の積分出力電圧VCをサンプリングし
、これを第4図(F)に示す正パルスの幅(例えばt2
〜t4)だけ保持する。
t6時点の第4図(D)のサンプルの値は低いので、こ
れを含む区間(1ビツト)の出力電圧Voutも低くな
る。サンプルホールド回路11の出力電圧VOUtは第
4図(H)に示すように光電変換素子SO〜S3の光入
力に対応する。
れを含む区間(1ビツト)の出力電圧Voutも低くな
る。サンプルホールド回路11の出力電圧VOUtは第
4図(H)に示すように光電変換素子SO〜S3の光入
力に対応する。
ところで、第1ののこぎり波電圧v1のみでセンサ回路
を駆動したとすれば、のこぎり波電圧■1の立上りに近
い時点で電圧VpOが印加される光電変換素子SOとこ
れよりも後で電圧■p1が印加される光電変換素子S1
とが同一条件で駆動されない、即ち、光電変換素子81
の逆バイアス印加期間は、光電変換素子SOの逆バイア
ス印加期間よりも短くなる。要するに後段になるに従っ
て光電変換素子SO〜S3の逆バイアス印加時間が短く
なる。光電変換素子SO〜S3に対する逆バイアス電圧
の印加は、光電変換素子SO〜S3の光入力に対応した
光出力を得るための目的の他に、光入力に対応した等価
キャパシタンスCsの放電状態を得るために等価キャパ
シタンスCsを予め充電する目的にも利用される。各光
電変換素子SO〜S3の等価キャパシタンスCsの充電
状態を揃えるためには、各光電変換素子SO〜S3の逆
バイアス電圧による充電時間を同一にすることが重要で
ある。また、逆バイアス印加時間が一定であるというこ
とは非逆バイアス期間(無バイアス期間)も一定になる
ことを意味する。この期間に、光入力に対応した光電流
によって等価キャパシタンスCsが放電されるが、この
期間がそれぞれのSO〜S3について同一でないと、等
価キャパシタンスの放電状態が光入力と正確に対応しな
い。
を駆動したとすれば、のこぎり波電圧■1の立上りに近
い時点で電圧VpOが印加される光電変換素子SOとこ
れよりも後で電圧■p1が印加される光電変換素子S1
とが同一条件で駆動されない、即ち、光電変換素子81
の逆バイアス印加期間は、光電変換素子SOの逆バイア
ス印加期間よりも短くなる。要するに後段になるに従っ
て光電変換素子SO〜S3の逆バイアス印加時間が短く
なる。光電変換素子SO〜S3に対する逆バイアス電圧
の印加は、光電変換素子SO〜S3の光入力に対応した
光出力を得るための目的の他に、光入力に対応した等価
キャパシタンスCsの放電状態を得るために等価キャパ
シタンスCsを予め充電する目的にも利用される。各光
電変換素子SO〜S3の等価キャパシタンスCsの充電
状態を揃えるためには、各光電変換素子SO〜S3の逆
バイアス電圧による充電時間を同一にすることが重要で
ある。また、逆バイアス印加時間が一定であるというこ
とは非逆バイアス期間(無バイアス期間)も一定になる
ことを意味する。この期間に、光入力に対応した光電流
によって等価キャパシタンスCsが放電されるが、この
期間がそれぞれのSO〜S3について同一でないと、等
価キャパシタンスの放電状態が光入力と正確に対応しな
い。
光電変換素子SO〜S3に対する逆バイアス印加時間T
onと非逆バイアス印加時間T offとの割合をTo
n/ (Ton+Toff )で表し、これをデユーテ
ィと定義すれば、各光電変換素子SO〜S3が同一のデ
ユーティで駆動されることが、正確な光電変換出力を得
る上で重要である。
onと非逆バイアス印加時間T offとの割合をTo
n/ (Ton+Toff )で表し、これをデユーテ
ィと定義すれば、各光電変換素子SO〜S3が同一のデ
ユーティで駆動されることが、正確な光電変換出力を得
る上で重要である。
第1図の本発明に従うイメージセンサに逆バイアス印加
回路LO〜L3が設けられているので、第5図に示すよ
うに各光電変換素子SO〜S3のデユーティが同一にな
る。光電変換素子SO〜S3を第5図(A>(B)の2
つののこぎり波電圧V1 、V2で駆動する場合には、
まず、第1ののこぎり波電圧V1に応答して第1図の各
点PO〜P3の電圧VpO〜Vp3が第5図(C)に示
すようにto、tl 、t2、t3で順次に立上り、光
電変換素子SO〜S3に逆バイアスが印加される。
回路LO〜L3が設けられているので、第5図に示すよ
うに各光電変換素子SO〜S3のデユーティが同一にな
る。光電変換素子SO〜S3を第5図(A>(B)の2
つののこぎり波電圧V1 、V2で駆動する場合には、
まず、第1ののこぎり波電圧V1に応答して第1図の各
点PO〜P3の電圧VpO〜Vp3が第5図(C)に示
すようにto、tl 、t2、t3で順次に立上り、光
電変換素子SO〜S3に逆バイアスが印加される。
もし、第1ののこぎり波電圧■1のみであれば第1のの
こぎり波電圧V1が零ボルトになる七〇時点で各部の光
電変換素子SO〜S3の逆バイアスも解除される。これ
に対して、第5図(B)に示すようにt4時点から第2
ののこぎり波電圧V2を発生させると、逆バイアス印加
時間が延長される。即ち、第1ののこぎり波電圧■1が
t5時点で第2の区間T2に入る前に第2ののこぎり波
電圧v2は最大振幅になり、第3の直列回路の第3のダ
イオードDd1〜Dd3の全部がオン状態になる。
こぎり波電圧V1が零ボルトになる七〇時点で各部の光
電変換素子SO〜S3の逆バイアスも解除される。これ
に対して、第5図(B)に示すようにt4時点から第2
ののこぎり波電圧V2を発生させると、逆バイアス印加
時間が延長される。即ち、第1ののこぎり波電圧■1が
t5時点で第2の区間T2に入る前に第2ののこぎり波
電圧v2は最大振幅になり、第3の直列回路の第3のダ
イオードDd1〜Dd3の全部がオン状態になる。
これにより、t5時点から第1ののこぎり波電圧V1の
低下が開始しても、第2ののこぎり波電圧v2によって
第2のダイオードDbO〜Db3のオン状態を維持する
ことができる。第2ののこぎり波電圧■2は七6時点か
ら徐々に低下する。第2ののこぎり波電圧■2の振幅が
低下すると、第3のダイオードDd1〜Dd3のアノー
ドとグランドとの間の電圧が低下し、グランドに対して
最も低いアノード電位であるダイオードDd3が第5図
のt7時点でオフになり、20点の電位VpOがグラン
ドになり、光電変換素子SOに対する逆バイアス印加が
終了する。第2ののこぎり波電圧v2が更に低下すると
、ダイオードDd2がt8でオフになり、Plの電位V
plがグランドになり、光電変換素子S1に対する逆バ
イアス電圧の印加が終了する。
低下が開始しても、第2ののこぎり波電圧v2によって
第2のダイオードDbO〜Db3のオン状態を維持する
ことができる。第2ののこぎり波電圧■2は七6時点か
ら徐々に低下する。第2ののこぎり波電圧■2の振幅が
低下すると、第3のダイオードDd1〜Dd3のアノー
ドとグランドとの間の電圧が低下し、グランドに対して
最も低いアノード電位であるダイオードDd3が第5図
のt7時点でオフになり、20点の電位VpOがグラン
ドになり、光電変換素子SOに対する逆バイアス印加が
終了する。第2ののこぎり波電圧v2が更に低下すると
、ダイオードDd2がt8でオフになり、Plの電位V
plがグランドになり、光電変換素子S1に対する逆バ
イアス電圧の印加が終了する。
同様にt9時点になるとダイオードDdlがオフになり
、P2の電位Vp2がグランドになり、光電変換素子S
2に対する逆バイアス電圧の印加が終了する。t10時
点になると、第2ののこぎり波電圧■2が零ボルトにな
るので、23点の電位Vp3もグランドとなり、光電変
換素子S3の逆バイアス電圧の印加が終了する。しかる
後、tllで第1ののこぎり波電圧V1が再び発生する
と同一の動作が繰返して生じる。
、P2の電位Vp2がグランドになり、光電変換素子S
2に対する逆バイアス電圧の印加が終了する。t10時
点になると、第2ののこぎり波電圧■2が零ボルトにな
るので、23点の電位Vp3もグランドとなり、光電変
換素子S3の逆バイアス電圧の印加が終了する。しかる
後、tllで第1ののこぎり波電圧V1が再び発生する
と同一の動作が繰返して生じる。
光電変換素子SOの逆バイアス期間TonはtO〜t7
であり、非逆バイアス期間T offはt7〜t11で
あり、光電変換素子81の逆バイアス期間Tonはt1
〜t8であり、非逆バイアス期間Toffはt8〜t1
2である。このように各光電変換素子SO〜S3の逆バ
イアスの印加の開始の時点の差に対応して終了の時点が
変化すれば、逆バイアス印加期間Tonがほぼ一定にな
り、デユーティもほぼ一定になる。これにより、各光電
変換素子SO〜S3がほぼ同一条件で駆動され、正確な
光電変換が可能になる。
であり、非逆バイアス期間T offはt7〜t11で
あり、光電変換素子81の逆バイアス期間Tonはt1
〜t8であり、非逆バイアス期間Toffはt8〜t1
2である。このように各光電変換素子SO〜S3の逆バ
イアスの印加の開始の時点の差に対応して終了の時点が
変化すれば、逆バイアス印加期間Tonがほぼ一定にな
り、デユーティもほぼ一定になる。これにより、各光電
変換素子SO〜S3がほぼ同一条件で駆動され、正確な
光電変換が可能になる。
[変形例]
本発明は上述の実施例に限定されるものでなく、例えば
、次の変形が可能なものである。なお、第6図〜第11
図を参照して以下に述べる変形例において第1図〜第5
図と共通する部分には同一の符号を付してその説明を省
略する。
、次の変形が可能なものである。なお、第6図〜第11
図を参照して以下に述べる変形例において第1図〜第5
図と共通する部分には同一の符号を付してその説明を省
略する。
(1) 第6図に示すように、電流検出口83を、共通
ライン9とグランドとの間に接続した電流検出用抵抗2
0と、この抵抗20に接続された増幅器22とで構成す
ることができる。
ライン9とグランドとの間に接続した電流検出用抵抗2
0と、この抵抗20に接続された増幅器22とで構成す
ることができる。
(2) 第7図に示すように、電流検出回路3を反転入
力端子が共通ライン9に接続され、非反転入力端子がグ
ランドに接続された演算増幅器23と、反転入力端子と
出力端子との間に接続された抵抗24とで構成すること
ができる。この回路は出力電流I outが抵抗24を
通って流れ、反転入力端子はイマージナリショートによ
ってグランドレベルになるので、出力端子には電流I
outに対応した電圧Voutが得られる。
力端子が共通ライン9に接続され、非反転入力端子がグ
ランドに接続された演算増幅器23と、反転入力端子と
出力端子との間に接続された抵抗24とで構成すること
ができる。この回路は出力電流I outが抵抗24を
通って流れ、反転入力端子はイマージナリショートによ
ってグランドレベルになるので、出力端子には電流I
outに対応した電圧Voutが得られる。
(3) 第8図に示すような階段波電圧を近似のこぎり
波としてのこぎり波発生回路1.4がら発生させてもよ
い、この時、第1ののこぎり波電圧■1の膜相互間の電
位差を後段になるにしたがって大きくすることが望まし
い。
波としてのこぎり波発生回路1.4がら発生させてもよ
い、この時、第1ののこぎり波電圧■1の膜相互間の電
位差を後段になるにしたがって大きくすることが望まし
い。
(4) 第9図に示すように、2次曲線的に変化するの
こぎり波電圧Vl 、V2を使用してもよい。
こぎり波電圧Vl 、V2を使用してもよい。
(5) 第10図に示すように、第1図の第2の抵抗R
bl〜Rb3をコンデンサCb1〜Cb3に置き換える
ことができる。なお、コンデンサcb1〜Cb3を逆バ
イアス接続のダイオードに置き換え、このダイオードの
容量を利用してもよい。また、第1図の第4の抵抗Rd
1〜Rd3をコンデンサに置き換えることができる。
bl〜Rb3をコンデンサCb1〜Cb3に置き換える
ことができる。なお、コンデンサcb1〜Cb3を逆バ
イアス接続のダイオードに置き換え、このダイオードの
容量を利用してもよい。また、第1図の第4の抵抗Rd
1〜Rd3をコンデンサに置き換えることができる。
(6) 光電変換素子SO〜S3の相互干渉を防ぐため
のブロッキングダイオードDcO〜DC3を第11図に
示すように、第1の抵抗RaO〜Ra3と第2のダイオ
ードDbO〜Db3との間に接続することができる。こ
の場合には、光電変換素子SO〜S3のカソードをブロ
ッキングダイオードDCO〜Dc3のカソード側に接続
する。
のブロッキングダイオードDcO〜DC3を第11図に
示すように、第1の抵抗RaO〜Ra3と第2のダイオ
ードDbO〜Db3との間に接続することができる。こ
の場合には、光電変換素子SO〜S3のカソードをブロ
ッキングダイオードDCO〜Dc3のカソード側に接続
する。
また、ブロッキングダイオードDcO〜Dc3を第1の
抵抗RaO〜Ra3と点PO〜P3との間に接続するこ
と、又は第1のダイオードDa1〜Da3の直列接続ラ
インと第1の抵抗RaO〜Ra3との間に接続すること
ができる。また、第3のダイオードDd1〜Dd3の直
列ラインと点PO〜P3との間にブロッキングダイオー
ドを接続すること、又は第3のダイオードDd1〜Dd
3の直列ラインにおける第3の抵抗Rc1〜Rc3と第
4の抵抗Rd1〜Rd3との間にブロッキングダイオー
ドを接続することができる。
抵抗RaO〜Ra3と点PO〜P3との間に接続するこ
と、又は第1のダイオードDa1〜Da3の直列接続ラ
インと第1の抵抗RaO〜Ra3との間に接続すること
ができる。また、第3のダイオードDd1〜Dd3の直
列ラインと点PO〜P3との間にブロッキングダイオー
ドを接続すること、又は第3のダイオードDd1〜Dd
3の直列ラインにおける第3の抵抗Rc1〜Rc3と第
4の抵抗Rd1〜Rd3との間にブロッキングダイオー
ドを接続することができる。
(7) 光電変換素子SO〜S3を光によって抵抗値が
変化する光導電モードの素子にすることができる。
変化する光導電モードの素子にすることができる。
(8) 各ダイオードの極性、第1及び第2ののこぎり
波電圧V1 、V2の極性を逆にすることができる。
波電圧V1 、V2の極性を逆にすることができる。
(9) 実施例に従うイメージセンサの読取り画素を多
くすると、その分だけのこぎり波電圧■1、v2の最大
値を高くしなければならない。従って、読取り画素数の
最大を数十個程度にすることが望ましい。これよりも多
くする場合にはイメージセンサを複数個のブロックに分
けて駆動すればよい。
くすると、その分だけのこぎり波電圧■1、v2の最大
値を高くしなければならない。従って、読取り画素数の
最大を数十個程度にすることが望ましい。これよりも多
くする場合にはイメージセンサを複数個のブロックに分
けて駆動すればよい。
[発明の効果]
上述のように本発明によれば、ダイオードを使用したセ
ンサ回路装置を正確に動作させることが可能になる。
ンサ回路装置を正確に動作させることが可能になる。
第1図は本発明の実施例に係わるイメージセンサを示す
回路図、 第2図は第1図の光電変換素子の等価回路図、第3図は
第1図の電流検出回路を示す回路図、第4図は第1図の
各部の状態を示す波形図、第5図は第1図の第1及び第
2ののこぎり波電圧と20〜23点の電位との関係を示
す波形図、第6図及び第7図は変形例の電流検出回路を
それぞれ示す回路図、 第8図及び第9図は変形例ののこぎり波をそれぞれ示す
波形図、 第10図及び第11図は変形例のイメージセンサをそれ
ぞれ示す回路図である。 1.4・・・のこぎり波発生回路、3・・・電流検出回
路、SO〜S3・・・光電変換素子、Dal〜Da3・
・・第1のダイオード、DbO〜Db3・・・第2のダ
イオード、Dd1〜Dd3・・・第3のダイオード。
回路図、 第2図は第1図の光電変換素子の等価回路図、第3図は
第1図の電流検出回路を示す回路図、第4図は第1図の
各部の状態を示す波形図、第5図は第1図の第1及び第
2ののこぎり波電圧と20〜23点の電位との関係を示
す波形図、第6図及び第7図は変形例の電流検出回路を
それぞれ示す回路図、 第8図及び第9図は変形例ののこぎり波をそれぞれ示す
波形図、 第10図及び第11図は変形例のイメージセンサをそれ
ぞれ示す回路図である。 1.4・・・のこぎり波発生回路、3・・・電流検出回
路、SO〜S3・・・光電変換素子、Dal〜Da3・
・・第1のダイオード、DbO〜Db3・・・第2のダ
イオード、Dd1〜Dd3・・・第3のダイオード。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 [1]第1ののこぎり波電圧(V1)を供給するための
第1ののこぎり波電源端子(6)と共通電源端子(5)
とを有し、前記第1ののこぎり波電圧(V1)として、
少なくとも第1の方向の傾きが得られるように電圧が変
化する第1の区間と第1の方向と逆の第2の方向の傾き
が得られるように電圧が変化する第2の区間とを有する
波形を発生する第1ののこぎり波発生回路(1)と、第
1の電極と第2の電極とをそれぞれ有する複数個の第1
のダイオード(Da1、Da2)が直列に接続された回
路であり、その一端が前記第1ののこぎり波電源端子(
6)に接続され、且つそれぞれの第1のダイオード(D
a1、Da2)の順方向電流が前記第1ののこぎり波電
圧(V1)に基づいて流れるような方向性をそれぞれの
第1のダイオード(Da1、Da2)が有し、且つそれ
ぞれの第1のダイオード(Da1、Da2)の前記第1
の電極が前記第1ののこぎり波電源端子(6)の側に配
置されている第1の直列回路と、 それぞれが第1の抵抗(Ra1、Ra2)と第2のダイ
オード(Db1、Db2)とを直列に接続した回路から
成り、それぞれの第1のダイオード(Da1、Da2)
の前記第2の電極と前記共通電源端子(5)との間にそ
れぞれ接続され、且つそれぞれの第2のダイオード(D
b1、Db2)の順方向電流が前記第1ののこぎり波電
圧(V1)に基づいて流れるような方向性をそれぞれの
第2のダイオード(Db1、Db2)が有している複数
の第2の直列回路と、それぞれの第1のダイオード(D
a1、Da2)の前記第2の電極と前記共通電源端子(
5)との間にそれぞれ接続された複数の第2の抵抗(R
b1、Rb2)又はコンデンサ(Cb1、Cb2)と、
一端が前記第1の抵抗(Ra1、Ra2)と前記第2の
ダイオード(Db1、Db2)との間に接続され、他端
が互いに共通に接続されている複数の光電変換素子(S
1、S2)と、 前記光電変換素子(S1、S2)を前記第2のダイオー
ド(Db1、Db2)に対して実質的に並列に接続する
ように前記光電変換素子(S1、S2)の電流を検出す
るために前記光電変換素子(S1、S2)の共通接続側
の端子と前記電源端子(5)との間に接続された共通の
電流検出回路(3)と、第2ののこぎり波電圧(V2)
を供給するための第2ののこぎり波電源端子(8)を有
し、前記第2ののこぎり波電圧(V2)として、少なく
とも第1の方向の傾きが得られるように電圧が変化する
第1の区間と第2の方向の傾きが得られるように電圧が
変化する第2の区間とを有し、且つ前記第2ののこぎり
波電圧(V2)の第2の区間の始まりの時点が前記第1
ののこぎり波電圧(V1)の第2の区間の終りの時点に
ほぼ一致しており、且つ前記第1ののこぎり波電圧(V
1)の始まりの時点と前記第2ののこぎり波電圧(V2
)の終りの時点との中間時点を中心にして前記第1のの
こぎり波電圧(V1)に対称な波形を発生するように設
定されている第2ののこぎり波発生回路(4)と、 第1の電極と第2の電極とをそれぞれ有する複数個の第
3のダイオード(Dd1、Dd2)が直列に接続された
回路であり、その一端が前記第2ののこぎり波電源端子
(8)に接続され、且つそれぞれの第3のダイオード(
Dd1、Dd2)の順方向電流が前記第2ののこぎり波
電圧(V2)に基づいて流れるような方向性をそれぞれ
の第3のダイオード(Dd1、Dd2)が有し、且つそ
れぞれの第3のダイオード(Dd1、Dd2)の前記第
1の電極が前記第2ののこぎり波電源端子(8)の側に
配置されている第3の直列回路と、 それぞれの第3のダイオード(Dd1、Dd2)の前記
第2の電極と前記光電変換素子(S1、S2)との間に
それぞれ接続された複数の第3の抵抗(Rc1、Rc2
)と、 それぞれの第3のダイオード(Dd1、Dd2)の前記
第2の電極と前記共通電源端子(5)との間に接続され
た複数の第4の抵抗(Rd1、Rd2)又はコンデンサ
と、 を備え、前記第1ののこぎり波電圧(V1)の最大振幅
値は前記第1のダイオード(Da1、Da2)及び前記
第2のダイオード(Db1、Db2)の全部を同時にオ
ン状態にすることができる値に設定され、前記第2のの
こぎり波電圧(V2)の最大振幅値は前記第2のダイオ
ード(Db1、Db2)と前記第3のダイオード(Dd
1、Dd2)の全部を同時にオン状態にすることができ
るレベルに設定されていることを特徴とするセンサ回路
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1261691A JPH03123281A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | センサ回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1261691A JPH03123281A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | センサ回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03123281A true JPH03123281A (ja) | 1991-05-27 |
| JPH0576221B2 JPH0576221B2 (ja) | 1993-10-22 |
Family
ID=17365377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1261691A Granted JPH03123281A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | センサ回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03123281A (ja) |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP1261691A patent/JPH03123281A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0576221B2 (ja) | 1993-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3251964B2 (ja) | 光検知・表示駆動装置 | |
| US6797933B1 (en) | On-chip design-for-testing structure for CMOS APS (active pixel sensor) image sensor | |
| US6049357A (en) | Image pickup apparatus including signal accumulating cells | |
| US7129880B2 (en) | Auto-zoom sloped ADC | |
| US6313876B1 (en) | Sensor element array for reading and processing image information | |
| JPH03123281A (ja) | センサ回路装置 | |
| US6717616B1 (en) | Amplifier assisted active pixel read out structure | |
| KR940000709B1 (ko) | 이미지 센서 | |
| JPH11502396A (ja) | 多重化回路 | |
| JPH0437630B2 (ja) | ||
| JPH03104378A (ja) | 走査回路装置 | |
| JPH03123280A (ja) | センサ回路装置 | |
| JPH03227165A (ja) | 走査回路装置 | |
| US5006702A (en) | Scanning circuit device with sawtooth voltage source | |
| JP2544258B2 (ja) | イメ−ジセンサ | |
| JPH0389670A (ja) | 走査回路装置 | |
| JPH0646761B2 (ja) | イメージセンサ | |
| JPH03117265A (ja) | センサ回路装置 | |
| JPH04257163A (ja) | イメ−ジセンサ | |
| JPH03101476A (ja) | 走査回路装置 | |
| JPH03108945A (ja) | 走査回路装置 | |
| JPH0646762B2 (ja) | イメージセンサ | |
| JPH04328949A (ja) | イメ−ジセンサ | |
| JP2514486B2 (ja) | イメ−ジセンサ | |
| JPH05103158A (ja) | イメ−ジセンサ |