JPH03123573U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03123573U JPH03123573U JP3140090U JP3140090U JPH03123573U JP H03123573 U JPH03123573 U JP H03123573U JP 3140090 U JP3140090 U JP 3140090U JP 3140090 U JP3140090 U JP 3140090U JP H03123573 U JPH03123573 U JP H03123573U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coated
- coating liquid
- coating
- chuck
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による塗布装置を
示す構成図、第２図ａ，ｂは各々この考案の一実
施例による塗布装置に用いられるチヤツクを示す
平面図及び断面図、第３図ａ，ｂは各々この考案
の他の実施例に係わるチヤツクを示す平面図及び
断面図、第４図ａ，ｂは各々この考案の他の実施
例に係わるチヤツクを示す平面図及び断面図、第
５図は従来の一般的な塗布装置を示す構成図、第
６図は従来の一般的なチヤツクを示す断面図、第
７図ａ，ｂ，ｃは各々塗布液膜の不良品・良品の
膜厚分布を示す特性図、並びに第８図ａ，ｂは各
々従来及びこの考案の一実施例による塗布装置に
おける被塗布体表面・裏面の熱の流入する様子を
示す説明図である。 １……被塗布体、２……塗布液、５……モータ
、４，２１，……チヤツク、２２……断熱層。な
お、図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
示す構成図、第２図ａ，ｂは各々この考案の一実
施例による塗布装置に用いられるチヤツクを示す
平面図及び断面図、第３図ａ，ｂは各々この考案
の他の実施例に係わるチヤツクを示す平面図及び
断面図、第４図ａ，ｂは各々この考案の他の実施
例に係わるチヤツクを示す平面図及び断面図、第
５図は従来の一般的な塗布装置を示す構成図、第
６図は従来の一般的なチヤツクを示す断面図、第
７図ａ，ｂ，ｃは各々塗布液膜の不良品・良品の
膜厚分布を示す特性図、並びに第８図ａ，ｂは各
々従来及びこの考案の一実施例による塗布装置に
おける被塗布体表面・裏面の熱の流入する様子を
示す説明図である。 １……被塗布体、２……塗布液、５……モータ
、４，２１，……チヤツク、２２……断熱層。な
お、図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 被塗布体上に塗布液を滴下し、上記被塗布体を
回転させて、上記塗布液を遠心力により拡げ、上
記被塗布体上に上記塗布液膜を形成させる塗布装
置において、上記被塗布体裏面全面を覆う断熱層
を有し、上記被塗布体を固定するチヤツクを備え
たことを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3140090U JPH03123573U (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3140090U JPH03123573U (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03123573U true JPH03123573U (ja) | 1991-12-16 |
Family
ID=31534154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3140090U Pending JPH03123573U (ja) | 1990-03-27 | 1990-03-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03123573U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024116880A1 (ja) * | 2022-11-29 | 2024-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | スピンチャック及び塗布処理装置 |
-
1990
- 1990-03-27 JP JP3140090U patent/JPH03123573U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024116880A1 (ja) * | 2022-11-29 | 2024-06-06 | 東京エレクトロン株式会社 | スピンチャック及び塗布処理装置 |
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