JPH03124043A - ウェハーカセット収納ｂｏｘ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェハーカセット収納Ｂｏｘに関し、特にその
底面部分に特徴を有するウェハーカセット収納Ｂｏｘに
関する。

〔従来の技術〕

半導体製造工場において、塵埃によるウェハーカセット
内ノウエバーの汚染を防止するために、ウェハーが収納
されたウェハーカセットをウェハーカセット収納Ｂｏｘ
に収納し、ふたをした後、保管、運搬等を行っている。

従来、この種のウェハーカセット収納Ｂｏｘは、第６図
に示すようにその底面が水平となっているため、ウェハ
ーカセット収納Ｂｏｘに収納されたウェハーカセット内
のウェハーは、第７図に示すようにウェハーカセットの
ウェハー収納用溝にバラバラに立てかけられた状態とな
っている。この時、ウェハーは、ウェハーカセットのウ
ェハー収納用溝の中でどちらにも動ける状態になってお
り、ウェハーカセットに少しの振動を与えただけでもウ
ェハーはウェハー収納用溝の中で前後に振動する。ウェ
ハーを収納したウェハーカセットを、ウェハーカセット
収納Ｅｏｘに収納して大または自動搬送車等によって運
搬をする場合、−ウェハーカセット収納Ｂｏｘの振動が
ウェハーカセット収納ＢｏＸ内のウェハーカセットに伝
わり、ウェハーがウェハーカセットのウェハー収納用溝
内で振動し、発塵の原因となっていた。

第５図に示すように、ウェハーカセット収納Ｂｏｘの底
面を傾斜させた傾斜型ウェノ・−カセット収納Ｅｏｘに
ウェハーカセットを収納すれば、第８図に示すようにウ
ェノ・−カセット内のウェハーが重力の収納用溝側面に
垂直な成分によりウェハー収納用溝に押さえられ、ウェ
ノ１−が振動することを防止することができる。従って
、従来のウェハーカセット収納Ｂｏｘを傾斜型ウエノＳ
　−カセット収納Ｂｏｘに置き換えれば、人または自動
搬送車等の運搬による塵埃の発生をおさえることができ
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のウェハーカセット収納Ｂｏｘは、半導体
製造ラインにおいて、ウェハ−カセット収納Ｂｏｘを傾
斜型ウェハーカセット収納Ｂｏｘに切り換えた場合、塵
埃の発生をおさえることはできるが、ウェハーカセット
収納Ｂｏｘから自動移載機によってウェハーカセットを
取り出す装置については、その自動移載機までも改造し
なければならず、コストアップが避けられない。また、
設備によっては改造困難な場合もあり、傾斜型ウェハー
カセット収納Ｂｏｘを使用する場合のネックとなってい
る。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のウェハーカセット収納Ｂｏｘは、たて溝を有す
るウェハーカセット内にウェハーを立てて収納し、該ウ
ェハーカセットをそのままの向きで収納するウェハーカ
セット収納Ｂｏｘにおいて、前記ウェハーカセット収納
Ｂｏｘの底面板は一辺を軸として一定角度まで自在に傾
斜するように設けられ、これにより前記各ウェハー面の
法線が同一角度だけ下向きに傾くようにしたことを特徴
とする。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を用いて説明する。

第１図及び第２図はそれぞれ本発明の一実施例の異なる
動作状態の縦断面図である。第１図は、ウェハーカセッ
ト収納Ｂｏｘの底面板１が台上に設けた底面板支え３に
よって押し上げられ、ウェハーカセット収納Ｂｏｘ本体
４内で傾斜した状態を示す。第２図は、台上に底面板支
え３が無く、第６図に示す従来のウェノ・−カセット収
納Ｂｏｘと同様に底面板１は水平な状態を示す。

次に動作について説明する。自動搬送車等でウェハーの
入ったウェハーカセットをウェハーカセット収納Ｂｏｘ
に入れて搬送する場合、第９図のように自動搬送車等の
荷台上に底面板支え３を固定しておく。すると、所定の
位置に本実施例のウェハーカセット収納Ｅｏｘをセット
した場合、第３図に示すようにウェハーカセット収納Ｂ
ｏｘの底面板１が底面板支え３によって押し上げられて
傾斜するため、ウェハーカセット収納Ｂｏｘ内のウェハ
ーカセット８も傾斜し、前述したようにウェハーの振動
を抑制して発塵をおさえる。

また、ウェハーの入ったウェハーカセットをウェハーカ
セット収納Ｂｏｘにいれて人手で運搬する場合、ウェハ
ーカセット収納Ｂｏｘ本体４の側面板に設けた保持用切
り欠き６にそってウェハーカセット収納Ｂｏｘを持ち上
げれば、ウェハーカセット収納Ｂｏｘの底面板１はウェ
ハーカセット収納Ｂｏｘ本体４の側面内部に設けた底面
板ストッパー２によって角度を限定固定され、前述と同
様、ウェハーの振動による発塵を抑える。

ウェハーカセット収納Ｂｏｘに収納されたウェハーカセ
ットを自動移載する装置については、第４図のように底
面板支え３をなくし、平面な台上にウェハーカセット収
納Ｂｏｘをセットすれば、ウェハーカセット収納Ｅｏｘ
内のウェハーカセット８は水平になっているので、第６
図に示すように従来のウェハーカセット収納Ｂｏｘと同
様となり、従来の移載装置によってウェハーカセット収
納Ｂｏｘからウェハーカセット８を取り出すことができ
る。

〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明のウェハーカセット収納Ｂ
ｏｘは、底面板を一定の角度まで自在に傾斜できるよう
に回動可能に設けることにより、台上の支えの有無だけ
で、底面が傾斜しているウェハーカセット収納Ｂｏｘの
状態と、底面が水平になっているウェハーカセット収納
Ｂｏｘの状態の両方に使用することができる。従って、
運搬時等ウェハーの振動による発塵が考えられるところ
には傾斜型ウェハーカセット収納Ｂｏｘとして、またウ
ェハーカセット収納Ｂｏｘからウェハ−カセットを移載
装置によって取り出す装置には従来通り底面が水平にな
ったウェハ−カセット収納Ｂｏｘとして使用することに
より、ウェハ−カセットの移載装置の改造を行うことな
く低コストにて傾斜型ウェハーカセット収納Ｂｏｘを導
入できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、それぞれ本考案の一実施例の異な
る動作状態の縦断面図、第３図及び第４図は該−実施例
のウェハーカセット収納Ｂｏｘにウェハーカセットを収
納した場合の第１図、第２図にそれぞれ対応する縦断面
図、第５図は従来の傾斜型ウェハーカセット収納Ｂｏｘ
にウェハーカセットを収納した場合の縦断面図、第６図
は従来のウェハーカセット収納Ｅｏｘにウェハーカセッ
トを収納した場合の縦断面図、第７図は第６図に示す従
来のウェハーカセット収納Ｂｏｘに収納されたウェハー
カセットとウェハーの平面図、第８図は、第３図及び第
５図に示す状態のウェハーカセット収納Ｂｏｘに収納さ
れたウェハーカセットとウェハーの平面図、第９図は底
面板支えを固定した荷台の側面図である。 ｌ・・・・・・底面板、２・・・・・・底面板ストッパ
ー　３・・・・・・底面板支え、４・・・・・・ウェハ
ーカセット収納Ｂｏｘ本体、５・・・・・・ふた、６・
・・・・・保持用切り欠き、７・・・・・・台、８・・
・・・・ウェハーカセット、９・・・・・・ウェハー収
納用溝、ＩＯ・・・・・・ウェハー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. たて溝を有するウェハーカセット内にウェハーを立てて
   収納し、該ウェハーカセットをそのままの向きで収納す
   るウェハーカセット収納Ｂｏｘにおいて、前記ウェハー
   カセット収納Ｂｏｘの底面板は一辺を軸にして一定角度
   まで自在に傾斜するように設けられ、これにより前記各
   ウェハー面の法線が同一角度だけ下向きに傾くようにし
   たことを特徴とするウェハーカセット収納Ｂｏｘ。