JPH03124784A - 走査電子顕微鏡観察用接着剤および観察方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡観察用接着剤および観察方法Info
- Publication number
- JPH03124784A JPH03124784A JP1262395A JP26239589A JPH03124784A JP H03124784 A JPH03124784 A JP H03124784A JP 1262395 A JP1262395 A JP 1262395A JP 26239589 A JP26239589 A JP 26239589A JP H03124784 A JPH03124784 A JP H03124784A
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- JP
- Japan
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- adhesive
- scanning electron
- electron microscopy
- conductive substance
- water
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- Pending
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は樹脂基板等の走査電子顕微鏡観察用接着剤およ
び観察方法に関すム 従来の技術 従来 走査電子顕微鏡観察を行う際く 試料を試料台に
接着するのく ドータイトカーボンやシルバーペイント
を使用し接着効果と導通効果を得ていた 光ディスク等
の表面はその製造プロセスの評価等のため観察の必要が
生じも しかし 光ディスク（樹脂基板）を従来の方法
で行って走査電子顕微鏡で観察した結果 ドータイトカ
ーボンやシルバーペイントの中に入っている有機溶媒（
トルエン等）で光ディスクの溝形状が消滅して観察でき
ないという欠点があることが判明し九発明が解決しよう
とする課題 すなわ板 光ディスク（樹脂基板）の表面の微細溝を走
査電子顕微鏡で観察する場合、試料前処理として光ディ
スクの一片である試料を試料台に導電性ペイント（シル
バーペイント）やドータイトカーボンで接着し走査電子
顕微鏡で観察してい九 しかる＆ζ この方法では光デ
イスク表面の溝の観察が不可能な場合が多く発生した
これは樹脂で成型された光ディスクの樹脂表面が導電性
ペイントやドータイトカーボン中の溶媒により、変形し
消滅してしまｔ、％ 表面に形成されていた１μｍ〜
２μ田の微細溝も変形、消滅することが本発明者の検討
の結果明らかとなり九 本発明は接着効果と導電性効果
によりチャージアップせｔ 光ディスク等の溝形状をは
っきりと走査電子顕微鏡で観察することを目的とすム 課題を解決するための手段 本発明は 走査電子顕微鏡観察用接着剤として水性ペイ
ントと導電性物質を調合させたものを用いる。そして本
発明（よ 試料台に水性ペイントと導電性物質（たとえ
は 炭秦臥 アルミニラ入鋏等の粉末）を調合させた
接着剤を用いて樹脂基板を接着し 樹脂基板の表面状態
を走査電子顕微鏡で観察する方法を提供するものであム
作用 本発明について検討を行った結果 樹脂成型品の表置
断面など有機溶媒で変形する樹脂に対しても効果が得ら
れ九 樹脂基板等を走査電子顕微鏡で観察するときに用
いる接着剤として水性ペイインドと導電性物質としてニ
ッケル粉末を調合させたものを用いることにより光ディ
スク等が有機溶媒で変形、消滅することがないためその
溝形状が鮮明な状態で観察することが可能となも な抵
本発明の接着剤Ｃよ 接着効果と導電性効果が要求され
ニッケル以外にアルミニラへ 鉄、鏡 炭素粉末等で
も同等の効果が得られ九 実施例 本発明の一実施例の方法は光ディスク（樹脂基板等）を
走査電子顕微鏡で観察を行うのに試料前処理として試料
を試料台に接着すも その様子を第１図に示す。１は観
察用試料台、２は本発明の接着剤 ３は光ディス久 ４
は表面に形成された微細なｌμｆｆ１〜２μｍ程度の記
録溝であり、Ｘ方向から観察すａ 本発明では従来の接
着剤（ドータイトカーボンやシルバーペイント）のごと
く、有機溶媒により樹脂表面が変形し溝形状が消滅して
しまうものでなく、有機溶媒の含有しない水性ペイント
と導電性をもつ導電性物質を調合させたものを用いも
したがって、有機溶媒による表面変形、消滅が生じなく
なりへ 導電性物質として（友ニッケル粉東 アルミニ
ウム粉末 銅粉太 炭素粉末等が挙げられも また 水
性ペイントに入れる導電性物質の濃度は５〜９０％で２
０〜６０％が接着効果 導電性効果および練り合わせ等
の取扱いに最も良いことが判明し九 そして、導電性物
質の粒径としては数１０〜数μｍのものが良いことも判
明し九 本発明の接着剤を用いて走査電子顕微鏡で観察
するとチャージアップせず、光ディスクの溝形状が鮮明
に観察することができも 従来の接着剤（ドータイトカ
ーボンやシルバーペイント）を用いて観察した光デイス
ク表面写真もとに描いたものを第３図く そして本発明
の接着剤（水性ペイントと金属粉末を調合させたもの）
も用いて観察した光デイスク表面写真をもとに描いたも
のを第２図に示す。第３図では溝がほとんど観察されて
おらず、第２図では溝が明瞭であることがわかａ よっ
て、樹脂等有機溶媒で変形する試料は本発明の接着剤が
最も良いと思われも 発明の効果 以上のように本発明の接着剤を用いることで光ディスク
等の溝形状が非常に鮮明に観察することが可能となっ九
このように本発明（上 光ディスク等の樹脂製品のプ
ロセス評価等に非常に有用な方法であも
び観察方法に関すム 従来の技術 従来 走査電子顕微鏡観察を行う際く 試料を試料台に
接着するのく ドータイトカーボンやシルバーペイント
を使用し接着効果と導通効果を得ていた 光ディスク等
の表面はその製造プロセスの評価等のため観察の必要が
生じも しかし 光ディスク（樹脂基板）を従来の方法
で行って走査電子顕微鏡で観察した結果 ドータイトカ
ーボンやシルバーペイントの中に入っている有機溶媒（
トルエン等）で光ディスクの溝形状が消滅して観察でき
ないという欠点があることが判明し九発明が解決しよう
とする課題 すなわ板 光ディスク（樹脂基板）の表面の微細溝を走
査電子顕微鏡で観察する場合、試料前処理として光ディ
スクの一片である試料を試料台に導電性ペイント（シル
バーペイント）やドータイトカーボンで接着し走査電子
顕微鏡で観察してい九 しかる＆ζ この方法では光デ
イスク表面の溝の観察が不可能な場合が多く発生した
これは樹脂で成型された光ディスクの樹脂表面が導電性
ペイントやドータイトカーボン中の溶媒により、変形し
消滅してしまｔ、％ 表面に形成されていた１μｍ〜
２μ田の微細溝も変形、消滅することが本発明者の検討
の結果明らかとなり九 本発明は接着効果と導電性効果
によりチャージアップせｔ 光ディスク等の溝形状をは
っきりと走査電子顕微鏡で観察することを目的とすム 課題を解決するための手段 本発明は 走査電子顕微鏡観察用接着剤として水性ペイ
ントと導電性物質を調合させたものを用いる。そして本
発明（よ 試料台に水性ペイントと導電性物質（たとえ
は 炭秦臥 アルミニラ入鋏等の粉末）を調合させた
接着剤を用いて樹脂基板を接着し 樹脂基板の表面状態
を走査電子顕微鏡で観察する方法を提供するものであム
作用 本発明について検討を行った結果 樹脂成型品の表置
断面など有機溶媒で変形する樹脂に対しても効果が得ら
れ九 樹脂基板等を走査電子顕微鏡で観察するときに用
いる接着剤として水性ペイインドと導電性物質としてニ
ッケル粉末を調合させたものを用いることにより光ディ
スク等が有機溶媒で変形、消滅することがないためその
溝形状が鮮明な状態で観察することが可能となも な抵
本発明の接着剤Ｃよ 接着効果と導電性効果が要求され
ニッケル以外にアルミニラへ 鉄、鏡 炭素粉末等で
も同等の効果が得られ九 実施例 本発明の一実施例の方法は光ディスク（樹脂基板等）を
走査電子顕微鏡で観察を行うのに試料前処理として試料
を試料台に接着すも その様子を第１図に示す。１は観
察用試料台、２は本発明の接着剤 ３は光ディス久 ４
は表面に形成された微細なｌμｆｆ１〜２μｍ程度の記
録溝であり、Ｘ方向から観察すａ 本発明では従来の接
着剤（ドータイトカーボンやシルバーペイント）のごと
く、有機溶媒により樹脂表面が変形し溝形状が消滅して
しまうものでなく、有機溶媒の含有しない水性ペイント
と導電性をもつ導電性物質を調合させたものを用いも
したがって、有機溶媒による表面変形、消滅が生じなく
なりへ 導電性物質として（友ニッケル粉東 アルミニ
ウム粉末 銅粉太 炭素粉末等が挙げられも また 水
性ペイントに入れる導電性物質の濃度は５〜９０％で２
０〜６０％が接着効果 導電性効果および練り合わせ等
の取扱いに最も良いことが判明し九 そして、導電性物
質の粒径としては数１０〜数μｍのものが良いことも判
明し九 本発明の接着剤を用いて走査電子顕微鏡で観察
するとチャージアップせず、光ディスクの溝形状が鮮明
に観察することができも 従来の接着剤（ドータイトカ
ーボンやシルバーペイント）を用いて観察した光デイス
ク表面写真もとに描いたものを第３図く そして本発明
の接着剤（水性ペイントと金属粉末を調合させたもの）
も用いて観察した光デイスク表面写真をもとに描いたも
のを第２図に示す。第３図では溝がほとんど観察されて
おらず、第２図では溝が明瞭であることがわかａ よっ
て、樹脂等有機溶媒で変形する試料は本発明の接着剤が
最も良いと思われも 発明の効果 以上のように本発明の接着剤を用いることで光ディスク
等の溝形状が非常に鮮明に観察することが可能となっ九
このように本発明（上 光ディスク等の樹脂製品のプ
ロセス評価等に非常に有用な方法であも
第１図（上 光ディスク（樹脂基板等）を走査電子顕微
鏡で観察を行うのに試料前処理として試料を試料台に接
着した断面医 第３図は従来の方法で、第２図は本発明
の方法の実施例で得られた光ディスクを走査電子顕微鏡
の撮影（ｘ ３００００）で得た光ディスクの表面図で
あ翫 １・・・・試料台、 ２・・・・接着Ｋ ３・・・・光
ディス久４・・・・罵
鏡で観察を行うのに試料前処理として試料を試料台に接
着した断面医 第３図は従来の方法で、第２図は本発明
の方法の実施例で得られた光ディスクを走査電子顕微鏡
の撮影（ｘ ３００００）で得た光ディスクの表面図で
あ翫 １・・・・試料台、 ２・・・・接着Ｋ ３・・・・光
ディス久４・・・・罵
Claims (4)
- （１）水性ペイントと導電性物質を調合させたことを特
徴とする走査電子顕微鏡観察用接着剤。 - （２）導電性物質として、炭素、銅、アルミニウム、鉄
等の粉末を用いることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の走査電子顕微鏡観察用接着剤。 - （３）導電性物質を水性ペイントに対して５〜９０重量
％を含有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の走査電子顕微鏡観察用接着剤。 - （４）試料台に水性ペイントと導電性物質を調合させた
接着剤を用いて樹脂基板を接着し、前記樹脂基板の表面
状態を観察することを特徴とする観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1262395A JPH03124784A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 走査電子顕微鏡観察用接着剤および観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1262395A JPH03124784A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 走査電子顕微鏡観察用接着剤および観察方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03124784A true JPH03124784A (ja) | 1991-05-28 |
Family
ID=17375172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1262395A Pending JPH03124784A (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | 走査電子顕微鏡観察用接着剤および観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03124784A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59227966A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 導電性粘着剤の製造方法 |
| JPS6123939A (ja) * | 1984-05-07 | 1986-02-01 | ツエー・ライヘルト・オプティッシェ・ヴェルケ・アーゲー | 試料の低温固定装置 |
| JPH01221481A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-04 | Sekisui Chem Co Ltd | 導電性粘着剤及びこの粘着剤を用いた導電性粘着シート |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP1262395A patent/JPH03124784A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59227966A (ja) * | 1983-06-08 | 1984-12-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 導電性粘着剤の製造方法 |
| JPS6123939A (ja) * | 1984-05-07 | 1986-02-01 | ツエー・ライヘルト・オプティッシェ・ヴェルケ・アーゲー | 試料の低温固定装置 |
| JPH01221481A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-04 | Sekisui Chem Co Ltd | 導電性粘着剤及びこの粘着剤を用いた導電性粘着シート |
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