JPH0312514A - 振動子 - Google Patents

振動子

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JPH0312514A
JPH0312514A JP1147780A JP14778089A JPH0312514A JP H0312514 A JPH0312514 A JP H0312514A JP 1147780 A JP1147780 A JP 1147780A JP 14778089 A JP14778089 A JP 14778089A JP H0312514 A JPH0312514 A JP H0312514A
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JP
Japan
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vibrator
vibrating body
cross
vibrating
section part
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JP1147780A
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Takeshi Nakamura
武 中村
Keiichi Okano
恵一 岡野
Yoshiko Morishita
森下 好子
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は振動子に関し、特にたとえば振動ジャイロな
どに用いられる振動子に関する。
(従来技術) 第5図はこの発明の背景となる従来の振動子の一例を示
す斜視図である。この振動子1は、4角柱状の振動体2
を含む。振動体2の側面には、振動体2を振動させるた
めの圧電素子3が形成される。この圧電素子3に駆動信
号を与えることによって、振動体2は屈曲振動をする。
(発明が解決しようとする課題) このような振動子に用いられる振動体としては、たとえ
ばエリンバなどの圧延金属材料が使用される。このよう
な圧延金属材料は、たとえば第6図に示すように、ロー
ラで圧延することによって形成される。そして、振動体
は、矢印に示す圧延方向がその長手方向になるように切
断される。
振動体の材料を圧延するとき、ローラで押さえ付ける圧
力をすべての部分で一定にすることが難しく、材料の圧
延方向に直交する部分ではその粒子の分布状態が不均一
となる。そのため、振動体を形成したとき、その長手方
向断面部分においては、第7図に示すように均一な粒子
分布となるが、横断面部分においては、第8図に示すよ
うに不均一な粒子分布となる。そのため、振動体の幅方
向においては、振動体の粒子分布の粗密状態によって、
その部分のヤング率が異なる。したがって、振動体の屈
曲振動の方向によって、共振周波数にばらつきが生じる
。このような振動子をあらゆる方向に振動する振動ジャ
イロなどに用いると、振動体の振動方向によって検出特
性が異なり、回転角速度の検出を正確に行うことができ
ない。
それゆえに、この発明の主たる目的は、振動体の振動方
向が変わっても、共振周波数のばらつきの少ない振動子
を提供することである。
(課題を解決するための手段) この発明は、長手方向を有する振動体の横断面部分にお
ける振動体材料の粒子の分布を均一にした、振動子であ
る。
(作用) 振動子に駆動信号を与えると、振動体がその幅方向に屈
曲振動する。屈曲振動の方向となる幅方向すなわち振動
体の横断面部分においては、振動体材料の分布が均一に
なっており、そのため振動体の横断面部分においては均
一なりフグ率を有する。
(発明の効果) この発明によれば、振動体の屈曲振動の方向が変わって
も、はぼ同じ共振周波数を得ることができる。そのため
、この振動子を振動ジャイロなどに用いれば、振動体の
振動方向が変わってもほぼ同じ特性を得ることができ、
振動ジャイロに加わった回転角速度を正確に検出するこ
とができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例) 第1図はこの発明の一実施例を示す斜視図である。この
振動子10は振動体12を含む。振動体12は、たとえ
ば4角柱状に形成される。この振動体12は、たとえば
エリンバなどの圧延金属材料で形成される。振動体12
は、このような圧延金属材料の圧延方向に直交する向き
がその長手方向になるように切断されて形成される。そ
して、振動体12の側面の中央部には、振動体12を振
動させるための圧電素子14が形成される。この圧電素
子14に駆動信号を与えることによって、振動体12は
屈曲振動する。
振動体12の材料となる圧延金属材料は、その圧延方向
に沿って均一な粒子分布となる。しかし、材料を圧延す
るためのローラに加わる圧力を均一にすることが困難な
ため、圧延方向に直交する方向の粒子分布には粗密が生
じる。この振動子10では、振動体12の長手方向が振
動体材料の圧延方向に直交する向きになるように形成さ
れているため1、第2図に示すように、その長手方向断
面部分においては粒子分布に粗密が生じる。しかし、第
3図に示すように、振動体12の横断面部分においては
、振動体材料の粒子分布が均一となる。
そのため、振動体12の横断面部分においては、そのヤ
ング率が均一となる。したがって、この振動子10では
、振動体12の屈曲振動の方向が変わっても、その振動
周波数がほぼ一定となる。そのため、この振動子10を
たとえば振動ジャイロなどに用いれば、振動体12の振
動方向が変わってもほぼ均一な共振特性を得ることがで
き、振動ジャイロに加わった回転角速度を正確に検出す
ることができる。
なお、上述の実施例では、振動体12を4角柱状に形成
したが、第4図に示すように、振動体12を3角柱状な
ど他の形状に形成してもよい。この場合も、振動体材料
の圧延方向に直交する向きが振動体の幅方向となるよう
に形成することによって、振動子の共振特性をほぼ均一
なものにすることができる。
さらに、上述の実施例では振動体の材料として圧延金属
材料を使用したが、振動体の材料としてはセラミックや
結晶体などを使用することもできる。これらの材料では
、セラミックの焼成時や結晶体の結晶時において、材料
中に粒子の粗密が発生するが、長手方向を有する振動体
の横断面部分における粒子分布を均一にすることによっ
て、安定した共振特性を得ることができる。
また、上述の実施例では、圧電型の振動子について説明
したが、この発明は電わい型の振動子にも適用可能であ
る。この場合、振動体の材料としては、たとえばチタン
酸バリウムやジルコン酸鉛などが用いられる。この場合
でも、振動体の横断面部分における粒子分布を均一にす
ることによって、安定した共振特性を得ることができる
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す斜視図である。 第2図は第1図に示す振動子の長手方向断面部分を示す
図解図である。 第3図は第1図に示す振動子の横断面部分を示す図解図
である。 第4図はこの発明の他の実施例を示す斜視図である。 第5図はこの発明の背景となる従来の振動子の一例を示
す斜視図である。 第6図は振動体の材料となる圧延金属材料の製造工程の
一例を示す斜視図である。 第7図は第5図に示す従来の振動子の長手方向断面部分
を示す図解図である。 第8図は第5図に示す従来の振動子の横断面部分を示す
図解図である。 図において、10は振動子、12は振動体、14は圧電
素子を示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  長手方向を有する振動体の横断面部分における振動体
    材料の粒子の分布を均一にした、振動子。
JP14778089A 1989-06-09 1989-06-09 振動子 Expired - Lifetime JP2546375B2 (ja)

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JP14778089A JP2546375B2 (ja) 1989-06-09 1989-06-09 振動子

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JPH0312514A true JPH0312514A (ja) 1991-01-21
JP2546375B2 JP2546375B2 (ja) 1996-10-23

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0587576A (ja) * 1991-09-25 1993-04-06 Akai Electric Co Ltd 振動子
JPH05133752A (ja) * 1991-11-12 1993-05-28 Akai Electric Co Ltd 振動子

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60178313A (ja) * 1984-02-24 1985-09-12 Japan Aviation Electronics Ind Ltd 振動ジヤイロ用振動子

Patent Citations (1)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH05133752A (ja) * 1991-11-12 1993-05-28 Akai Electric Co Ltd 振動子

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