JPH03129915A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPH03129915A JPH03129915A JP26488089A JP26488089A JPH03129915A JP H03129915 A JPH03129915 A JP H03129915A JP 26488089 A JP26488089 A JP 26488089A JP 26488089 A JP26488089 A JP 26488089A JP H03129915 A JPH03129915 A JP H03129915A
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- Japan
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- surface acoustic
- acoustic wave
- series
- resonator
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の属する技術分野）
本発明はラブ波型弾性表面波共振子に関し、特に、単結
晶圧電基板上に金（Ａｕ） 、銀（Ａｇ） 、白金（１
’ ｔ）等の重金属をすだれ状変換器の電極として付着
させラブ波を励振させる弾性表面波共振子に関するもの
である。
晶圧電基板上に金（Ａｕ） 、銀（Ａｇ） 、白金（１
’ ｔ）等の重金属をすだれ状変換器の電極として付着
させラブ波を励振させる弾性表面波共振子に関するもの
である。
（従来技術とその問題点）
１２８゛ 回転ＹカットＬｉＮｂＯ３，ＸカットＬｉＴ
ａ０ｚまたはＳＴ水晶等の表面に励起するレーリー（Ｒ
ｅｙｌｅｉｇｈ）波型の表面波（ｐ＋ｓｖ波）を利用し
た従来の共振子より電気機械結合係数が格段に大きいラ
ブ波型（ＳＨ波）共振子が提案されている。（特開昭６
３−２６０２１３号参照） 第１図は、従来のラブ波型弾性表面波共振子の構成例を
示す平面図である。図において、ｌは圧電基板、２はす
だれ状変換器を示し、３は交差幅を示す。
ａ０ｚまたはＳＴ水晶等の表面に励起するレーリー（Ｒ
ｅｙｌｅｉｇｈ）波型の表面波（ｐ＋ｓｖ波）を利用し
た従来の共振子より電気機械結合係数が格段に大きいラ
ブ波型（ＳＨ波）共振子が提案されている。（特開昭６
３−２６０２１３号参照） 第１図は、従来のラブ波型弾性表面波共振子の構成例を
示す平面図である。図において、ｌは圧電基板、２はす
だれ状変換器を示し、３は交差幅を示す。
第１図に示すごとく擬似弾性表面波の存在する圧電基板
１（特にし１Ｎｂ０１回転Ｙ板）上に金（Ａｕ） 。
１（特にし１Ｎｂ０１回転Ｙ板）上に金（Ａｕ） 。
銀（Ａｇ） 、白金（Ｐ ｔ）等の重金属をすだれ状電
極として厚く付着させ、伝搬減衰の大きい擬似弾性表面
波を減衰のないラブ波に変化させ、かつ、電気信号を表
面波に変換するすだれ状変換器２ （Ｉｎｔｅｒｄｉｇ
ｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以下ＩＤＴと略記す
る）のみで共振子を構成している。
極として厚く付着させ、伝搬減衰の大きい擬似弾性表面
波を減衰のないラブ波に変化させ、かつ、電気信号を表
面波に変換するすだれ状変換器２ （Ｉｎｔｅｒｄｉｇ
ｉｔａｌ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ、以下ＩＤＴと略記す
る）のみで共振子を構成している。
一般に、弾性表面波共振子を用いて電圧制御発振器（Ｖ
ＣＯ）を構成した場合、周波数可変幅を大きくするため
にはインピーダンスが高い方が有利であり、また、雑音
レベルに対する搬送波レベル（Ｃ／Ｎ）を大きくするた
めにはＱが高い方が有利である。一方、第１図に示すよ
うな共振子のインピーダンスは、ＩＤＴ２の対数と交差
幅３すなわちＩＤＴ電極の互いに交差する部分の長さに
よって決定される。従って、共振子のインピーダンスを
上げるためにはＩＤＴ２の対数を少なくするか又は交差
幅３を小さくすれば良い。
ＣＯ）を構成した場合、周波数可変幅を大きくするため
にはインピーダンスが高い方が有利であり、また、雑音
レベルに対する搬送波レベル（Ｃ／Ｎ）を大きくするた
めにはＱが高い方が有利である。一方、第１図に示すよ
うな共振子のインピーダンスは、ＩＤＴ２の対数と交差
幅３すなわちＩＤＴ電極の互いに交差する部分の長さに
よって決定される。従って、共振子のインピーダンスを
上げるためにはＩＤＴ２の対数を少なくするか又は交差
幅３を小さくすれば良い。
しかるに、第１図の構成の共振子は表面波導波路を形成
しており、弾性表面波伝搬方向に対しては従来のレーリ
ー波型の共振子のようにグレーティング反射器を有して
いないため、すなわち、ＩＤＴ２自身が反射器を兼ねて
いるため、ＩＤＴ２の対数を減らすと反射率が下がりＱ
が低下し、交差幅３を小さくすると表面波の回折により
表面波エネルギーが導波路領域から外部へ漏洩する分が
増すため共振子のＱが低下する。従って、従来の方法で
は高いインピーダンスの共振子を得ようとするとＱが低
下するという欠点があった。
しており、弾性表面波伝搬方向に対しては従来のレーリ
ー波型の共振子のようにグレーティング反射器を有して
いないため、すなわち、ＩＤＴ２自身が反射器を兼ねて
いるため、ＩＤＴ２の対数を減らすと反射率が下がりＱ
が低下し、交差幅３を小さくすると表面波の回折により
表面波エネルギーが導波路領域から外部へ漏洩する分が
増すため共振子のＱが低下する。従って、従来の方法で
は高いインピーダンスの共振子を得ようとするとＱが低
下するという欠点があった。
（発明の目的）
本発明は、Ｑを低下させることなく共振子のインピーダ
ンスを高くした弾性表面波共振子を提供することにある
。
ンスを高くした弾性表面波共振子を提供することにある
。
（発明の構成および作用）
本発明の弾性表面波共振子は、圧電基板表面上に電気信
号を弾性表面波に変換させる金（Ａｕ） 、銀（Ａｇ）
、白金（ｐ ｔ）等の重金属のすだれ状変換器が配設さ
れた電気機械結合係数の大きいラブ波弾性表面波共振子
において、 複数個のすだれ状変換器が、弾性表面波の伝搬方向に直
列に配設され、かつ、該共振子の入出力間で電気的に直
列に接続された構成を有し、前記複数個のすだれ状変換
器が、該すだれ状変換器によって励振される弾性表面波
が互いに同相で、かつ、弾性表面波の伝搬方向に並列に
配設された構成を有し、さらに、圧電基板表面上に電気
信号を弾性表面波に変換させる金、銀、白金等の重金属
のすだれ状変換器が配設された電気機械結合係数の大き
いラブ波型弾性表面波共振子において、少なくとも１個
のすだれ状変換器を１グループとする２つ以上のグルー
プが弾性表面波の伝搬方向に直列に配設され、各々のグ
ループ内のすだれ状変換器が電気的に並列に接続され、
かつ、該２つ以上のグループが該共振子の入出力間で電
気的に直列に接続された構成を有するものである。
号を弾性表面波に変換させる金（Ａｕ） 、銀（Ａｇ）
、白金（ｐ ｔ）等の重金属のすだれ状変換器が配設さ
れた電気機械結合係数の大きいラブ波弾性表面波共振子
において、 複数個のすだれ状変換器が、弾性表面波の伝搬方向に直
列に配設され、かつ、該共振子の入出力間で電気的に直
列に接続された構成を有し、前記複数個のすだれ状変換
器が、該すだれ状変換器によって励振される弾性表面波
が互いに同相で、かつ、弾性表面波の伝搬方向に並列に
配設された構成を有し、さらに、圧電基板表面上に電気
信号を弾性表面波に変換させる金、銀、白金等の重金属
のすだれ状変換器が配設された電気機械結合係数の大き
いラブ波型弾性表面波共振子において、少なくとも１個
のすだれ状変換器を１グループとする２つ以上のグルー
プが弾性表面波の伝搬方向に直列に配設され、各々のグ
ループ内のすだれ状変換器が電気的に並列に接続され、
かつ、該２つ以上のグループが該共振子の入出力間で電
気的に直列に接続された構成を有するものである。
以下図面によて本発明の詳細な説明する。
第２図、第３図は本発明の一実施例によるラブ波型弾性
表面波共振子の電極構造、を示す平面図であり、圧電基
板は図示を省略した。図において、弾性表面波伝搬方向
に２つのＩＤＴ２ａと２ｂをそれぞれのＩＤＴより励振
される表面波の位相が同位相になるように配設し、かつ
、端子４と端子５の間で電気的に直列に接続した構成と
している。
表面波共振子の電極構造、を示す平面図であり、圧電基
板は図示を省略した。図において、弾性表面波伝搬方向
に２つのＩＤＴ２ａと２ｂをそれぞれのＩＤＴより励振
される表面波の位相が同位相になるように配設し、かつ
、端子４と端子５の間で電気的に直列に接続した構成と
している。
第２図の構成において、交差幅３および２つのＩ ＤＴ
２ａ、 ２ｂの対数の和を第１図の場合と等しくした
場合について、すなわち、第１図のＩＤＴ２を２等分し
て２つのＩＤＴ２ａ、２ｂを電気的に直列に接続して第
２図の構成とした場合について考察する。
２ａ、 ２ｂの対数の和を第１図の場合と等しくした
場合について、すなわち、第１図のＩＤＴ２を２等分し
て２つのＩＤＴ２ａ、２ｂを電気的に直列に接続して第
２図の構成とした場合について考察する。
第２図の１つのＩＤＴの静電容量を００とすると、第２
図のように２つのＩＤＴを直列に接続した場合の静電容
量Ｃ２は、Ｃ，−（１／２）ＣＯとなり、また、第１図
のように２つのＩＤＴを電気的に並列に接続した場合の
静電容量ＣＩはＣ，＝２Ｃ。
図のように２つのＩＤＴを直列に接続した場合の静電容
量Ｃ２は、Ｃ，−（１／２）ＣＯとなり、また、第１図
のように２つのＩＤＴを電気的に並列に接続した場合の
静電容量ＣＩはＣ，＝２Ｃ。
となる。従って、Ｃ，／Ｃ，＝４となり、インピーダン
スは第２図の構成では第１図の構成の４倍となる。
スは第２図の構成では第１図の構成の４倍となる。
第２図の構成では２つのＩ Ｄ Ｔ２ａ、 ２ｂを同じ
対数に構成したが、異なった対数にすることによりイン
ピーダンスを変えることもでき、また、ＩＤＴを弾性表
面波伝搬方向に３個以上直列に配設し、さらに、インピ
ーダンスを上げることも可能である。
対数に構成したが、異なった対数にすることによりイン
ピーダンスを変えることもでき、また、ＩＤＴを弾性表
面波伝搬方向に３個以上直列に配設し、さらに、インピ
ーダンスを上げることも可能である。
第２図の構成では端子対４．５が共振子の片側に出てい
るが、第３図の構成のように上下に分けることもできる
。
るが、第３図の構成のように上下に分けることもできる
。
第４図は本発明の第２の実施例を示すＩＤＴの平面図で
あり、弾性表面波伝搬方向（矢印）に３個のＩ ＤＴ２
ａ、 ２ｂ、 ２ｃを直列に配設し、かつ、両側のＩ
ＤＴ２ｂ、 ２ｃを電気的に並列に接続して１グループ
とし、中央のＩＤＴ２ａと直列に接続した構成としてい
る。
あり、弾性表面波伝搬方向（矢印）に３個のＩ ＤＴ２
ａ、 ２ｂ、 ２ｃを直列に配設し、かつ、両側のＩ
ＤＴ２ｂ、 ２ｃを電気的に並列に接続して１グループ
とし、中央のＩＤＴ２ａと直列に接続した構成としてい
る。
第４図のような構成とすることによってインピーダンス
を高くすると同時に、縦方向（矢印の弾性表面波伝搬方
向）に存在する縦１次モードとＩＤＴが結合しないよう
にすることも可能である。
を高くすると同時に、縦方向（矢印の弾性表面波伝搬方
向）に存在する縦１次モードとＩＤＴが結合しないよう
にすることも可能である。
次に第５図について説明する。
第５図は本発明の第３の実施例を示すＩＤＴの平面図で
あり、２個のＩＤＴ２ｄと２８をそれぞれのＩＤＴから
励振される弾性表面波が同位相で、かつ、伝搬方向（矢
印）に平行になるように配設し、かつ、端子６と端子７
間で電気的に直列に接続したラブ波型弾性表面波共振子
のＩＤＴの構成を示したものである。
あり、２個のＩＤＴ２ｄと２８をそれぞれのＩＤＴから
励振される弾性表面波が同位相で、かつ、伝搬方向（矢
印）に平行になるように配設し、かつ、端子６と端子７
間で電気的に直列に接続したラブ波型弾性表面波共振子
のＩＤＴの構成を示したものである。
第５図の構成は第１図の構成の電極の交差幅３を２分割
して直列に接続したものと考えることができるため、第
２図の説明と同様に共振子のインピーダンスを高くする
ことができることは明白である。また、第５図の実施例
では２分割した場合であるが、３分割以上にすればさら
にインピーダンスを高くすることができる。
して直列に接続したものと考えることができるため、第
２図の説明と同様に共振子のインピーダンスを高くする
ことができることは明白である。また、第５図の実施例
では２分割した場合であるが、３分割以上にすればさら
にインピーダンスを高くすることができる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、ラブ波型弾性表面波共振子
においてＱを低下させることなく、すなわち、共振子の
ＩＤＴ対数と交差幅を従来と同じにしたままで、共振子
のインピーダンスを高くすることができる。
においてＱを低下させることなく、すなわち、共振子の
ＩＤＴ対数と交差幅を従来と同じにしたままで、共振子
のインピーダンスを高くすることができる。
始１ 図
招２図
第３図
第１図は従来のラブ波型弾性表面波共振子構成例を示す
平面図、第２図〜第５図は本発明のラブ波型弾性表面波
共振子の電極構成の実施例を示す平面図である。 １・・・電圧基板、 ２ 、 （２ａ〜２ｅ）・・・す
だれ状変換器（ｒｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ）、３・・・交差幅、 ４〜７・・・端子。 珀４図 ￥１５図
平面図、第２図〜第５図は本発明のラブ波型弾性表面波
共振子の電極構成の実施例を示す平面図である。 １・・・電圧基板、 ２ 、 （２ａ〜２ｅ）・・・す
だれ状変換器（ｒｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌ Ｔｒａｎｓ
ｄｕｃｅｒ）、３・・・交差幅、 ４〜７・・・端子。 珀４図 ￥１５図
Claims (3)
- （１）圧電基板表面上に電気信号を弾性表面波に変換さ
せる金，銀，白金等の重金属のすだれ状変換器を配設し
電気機械結合係数の大きいラブ波型弾性表面波を励起さ
せ、前記すだれ状変換器で構成されるラブ波型弾性表面
波共振子において、 複数個のすだれ状変換器が、弾性表面波の伝搬方向に直
列に配設され、かつ、該共振子の入出力間で電気的に直
列に接続されたことを特徴とする弾性表面波共振子。 - （２）前記複数個のすだれ状変換器が、該すだれ状変換
器によって励振される弾性表面波が互いに同相で、かつ
、弾性表面波の伝搬方向に並列に配設されたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波共振子。 - （３）圧電基板表面上に電気信号を弾性表面波に変換さ
せる金，銀，白金等の重金属のすだれ状変換器を配設し
電気機械結合係数の大きいラブ波型弾性表面波を励起さ
せ、前記すだれ状変換器で構成されるラブ波型弾性表面
波共振子において、 少なくとも１個のすだれ状変換器を１グループとする２
つ以上のグループが弾性表面波の伝搬方向に直列に配設
され、各々のグループ内のすだれ状変換器が電気的に並
列に接続され、かつ、該２つ以上のグループが該共振子
の入出力間で電気的に直列に接続されたことを特徴とす
る弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26488089A JPH03129915A (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26488089A JPH03129915A (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03129915A true JPH03129915A (ja) | 1991-06-03 |
Family
ID=17409510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26488089A Pending JPH03129915A (ja) | 1989-10-16 | 1989-10-16 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03129915A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006067884A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | バランス型弾性波フィルタ装置 |
| WO2006068087A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | バランス型弾性波フィルタ装置 |
| WO2008149619A1 (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波フィルタ装置 |
| CN100490322C (zh) | 2004-12-20 | 2009-05-20 | 株式会社村田制作所 | 平衡型声波滤波器装置 |
| US7800460B2 (en) * | 2006-05-08 | 2010-09-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave filter device and duplexer |
| DE102004048715B4 (de) * | 2004-10-06 | 2014-05-22 | Epcos Ag | SAW-Filter mit Impedanz-Transformation |
-
1989
- 1989-10-16 JP JP26488089A patent/JPH03129915A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102004048715B4 (de) * | 2004-10-06 | 2014-05-22 | Epcos Ag | SAW-Filter mit Impedanz-Transformation |
| WO2006067884A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | バランス型弾性波フィルタ装置 |
| WO2006068087A1 (ja) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | バランス型弾性波フィルタ装置 |
| KR100793613B1 (ko) * | 2004-12-20 | 2008-01-10 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 밸런스형 탄성파 필터장치 |
| US7429905B2 (en) | 2004-12-20 | 2008-09-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Balanced acoustic wave filter |
| US7528683B2 (en) | 2004-12-20 | 2009-05-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Balanced acoustic wave filter device |
| CN100490322C (zh) | 2004-12-20 | 2009-05-20 | 株式会社村田制作所 | 平衡型声波滤波器装置 |
| US7800460B2 (en) * | 2006-05-08 | 2010-09-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave filter device and duplexer |
| WO2008149619A1 (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波フィルタ装置 |
| US8102225B2 (en) | 2007-06-06 | 2012-01-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave filter device |
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