JPH0313080A - Tdi方式固体撮像装置 - Google Patents
Tdi方式固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH0313080A JPH0313080A JP1147326A JP14732689A JPH0313080A JP H0313080 A JPH0313080 A JP H0313080A JP 1147326 A JP1147326 A JP 1147326A JP 14732689 A JP14732689 A JP 14732689A JP H0313080 A JPH0313080 A JP H0313080A
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- Japan
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- tdi
- image pickup
- pickup device
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- Pending
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はTD1方式固体撮像装置に関し、特にその検
出器のレイアウトに関するものである。
出器のレイアウトに関するものである。
第3図に従来のTDI方式の撮像装置を示す。
図において、aLj (i=1〜m、j−1〜n)は光
検出器、v、(i=1−n)は縦CCD、H−CCDは
横CCD、TiJ(i=1〜m、j=1〜n)はMO3
I−ランジスタ、Sは各トランジスタ列T!1〜T、を
t=1からmまで順次ONさせるためのスキャナである
。
検出器、v、(i=1−n)は縦CCD、H−CCDは
横CCD、TiJ(i=1〜m、j=1〜n)はMO3
I−ランジスタ、Sは各トランジスタ列T!1〜T、を
t=1からmまで順次ONさせるためのスキャナである
。
次に動作について説明する。レンズにより検出器上に投
影された像が検出器aij上をi=1〜mに向かって一
定速度Vで移動する場合を考える。
影された像が検出器aij上をi=1〜mに向かって一
定速度Vで移動する場合を考える。
時刻toで位置y0にあった像は、T秒後、yl−)’
o+Tvの位置に移動すると仮定する。このT秒間で検
出器a + ; (J =1 ”−n )に像による信
号電荷が蓄積される。ここで、スキャナSにより全ての
トランジスタTB (i =1−m、j=1〜n)のゲ
ートに時間Tより十分短いパルス電圧を与え、“’ON
”′状態にすると検出器a、〜al+qに蓄えられてい
た電荷は一斉に縦CCDV、〜v7に移される。
o+Tvの位置に移動すると仮定する。このT秒間で検
出器a + ; (J =1 ”−n )に像による信
号電荷が蓄積される。ここで、スキャナSにより全ての
トランジスタTB (i =1−m、j=1〜n)のゲ
ートに時間Tより十分短いパルス電圧を与え、“’ON
”′状態にすると検出器a、〜al+qに蓄えられてい
た電荷は一斉に縦CCDV、〜v7に移される。
次に時刻tがt≧to+Tのとき、像の速度Vと同じ速
度で縦CCDV、〜■7の電荷を像の進む方向に縦CC
Dクロックにより移動させる。t≧t、+Tのとき、検
出器a++−alアには次に来る像が蓄えられ、検出器
az+〜a2..には時刻t0≦t≦to十Tのときa
ll〜aleに蓄えられたのと同じ像が蓄えられる。
度で縦CCDV、〜■7の電荷を像の進む方向に縦CC
Dクロックにより移動させる。t≧t、+Tのとき、検
出器a++−alアには次に来る像が蓄えられ、検出器
az+〜a2..には時刻t0≦t≦to十Tのときa
ll〜aleに蓄えられたのと同じ像が蓄えられる。
t=t、+27で、スキャナSにより全てのトランジス
タT、jが“ON”状態となり、to 士’r≦t≦t
o +2T間に検出器az+〜a2r+に蓄えられてい
た電荷はL0≦t≦t、+T間に検出器all〜a0に
蓄えられ、to +T≦t≦to +2T間に縦CCD
V、〜v7により移動させられた電荷と加えられる。即
ち、このとき同じ像がたし合わされたことになる。
タT、jが“ON”状態となり、to 士’r≦t≦t
o +2T間に検出器az+〜a2r+に蓄えられてい
た電荷はL0≦t≦t、+T間に検出器all〜a0に
蓄えられ、to +T≦t≦to +2T間に縦CCD
V、〜v7により移動させられた電荷と加えられる。即
ち、このとき同じ像がたし合わされたことになる。
この操作をm回繰り返すことにより、時刻t0にあった
像は時刻t−t0+mTのときy、の位置に移り、同じ
像がm回積算されたことになる。
像は時刻t−t0+mTのときy、の位置に移り、同じ
像がm回積算されたことになる。
積算された電荷は横CCD (H−CCD)に移され、
次の時間Tの間にOUT端子から読み出され、以上の操
作を繰り返し行なう。
次の時間Tの間にOUT端子から読み出され、以上の操
作を繰り返し行なう。
この結果、読み出された電荷のS/N比は、r石−倍と
なり、検出器感度が向上する。
なり、検出器感度が向上する。
従来のTDT方式固体撮像装置は以上のように構成され
ているので、検出器列間に14ccDを配置する必要が
あり、この部分に投影される光を検出することはできな
いという欠点があった。
ているので、検出器列間に14ccDを配置する必要が
あり、この部分に投影される光を検出することはできな
いという欠点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、検出器列間に投影された光をも検出すること
のできるTDI方式固体撮像装置を得ることを目的とす
る。
たもので、検出器列間に投影された光をも検出すること
のできるTDI方式固体撮像装置を得ることを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段]
この発明に係るTD1方式固体↑最像装置は、従来のT
DI方式の固体撮像装置を縦方向に2組並べ、1組を他
の1組に対して横方向に1画素分ずらして配置したもの
である。
DI方式の固体撮像装置を縦方向に2組並べ、1組を他
の1組に対して横方向に1画素分ずらして配置したもの
である。
この発明においては、第1の固体(最像装置に対して第
2の固体撮像装置を1画素分ずらして配置した構成とし
たから、第2の固体撮像装置の検知器により第1の固体
撮像装置の縦CCD部に投影された光を検出することが
できる。
2の固体撮像装置を1画素分ずらして配置した構成とし
たから、第2の固体撮像装置の検知器により第1の固体
撮像装置の縦CCD部に投影された光を検出することが
できる。
〔実施例]
以下、この発明の一実施例を第1図について説明する。
第1図において、aij及び” ’Lj (i=1〜m
。
。
j=1〜n)は光検出器、T i j及びT′え、(i
=1〜m、j=1〜n)はMO3I−ランジスタ、■!
及びV、” (i=1〜n)は縦CCD、H−CCD
及びH−CCD ’は横CCD、S及びS″tよそれぞ
れ各トランジスタ列T”−+〜T i n及びT1.〜
T ! n゛をi=1〜mまで順次ONさせるためのス
キャナである。
=1〜m、j=1〜n)はMO3I−ランジスタ、■!
及びV、” (i=1〜n)は縦CCD、H−CCD
及びH−CCD ’は横CCD、S及びS″tよそれぞ
れ各トランジスタ列T”−+〜T i n及びT1.〜
T ! n゛をi=1〜mまで順次ONさせるためのス
キャナである。
TDIとTDT’は2つのTDI方式の固体撮像装置を
示し、TDIとTDI’のパターンサイズは全て同一で
ある。
示し、TDIとTDI’のパターンサイズは全て同一で
ある。
次に撮像装置TDIの動作について説明する。
レンズにより集光された像を検出器aij上をi−1〜
mに向かって一定速度Vで移動させる。
mに向かって一定速度Vで移動させる。
時刻t0で位置y0にあった像はT秒後、y−yo+v
Tに移動するとする。このT秒間で検出器all〜al
nに像によって発生する信号電荷が蓄積される。ここで
スキャナSにより全てのトランジスタTijのゲートに
時間Tより十分短いパルス電圧を与え、ON ”状態に
すると、検出器a1、〜a1,1に有った電荷はそれぞ
れ縦CCDV、〜v1に移される。
Tに移動するとする。このT秒間で検出器all〜al
nに像によって発生する信号電荷が蓄積される。ここで
スキャナSにより全てのトランジスタTijのゲートに
時間Tより十分短いパルス電圧を与え、ON ”状態に
すると、検出器a1、〜a1,1に有った電荷はそれぞ
れ縦CCDV、〜v1に移される。
次にto +’r≦t≦to +2Tの間に像の速度V
と同じ速度で縦CCDV、〜v0の電荷を像の進む方向
に転送する。この期間に検出器all−a11には次の
像が蓄積され、検出器a2□〜a2fiには前の時間t
0≦L≦to+Tにall”””al、、に蓄えられて
いたのと同じ像が蓄えられる。
と同じ速度で縦CCDV、〜v0の電荷を像の進む方向
に転送する。この期間に検出器all−a11には次の
像が蓄積され、検出器a2□〜a2fiには前の時間t
0≦L≦to+Tにall”””al、、に蓄えられて
いたのと同じ像が蓄えられる。
t=to +27で、スキャナSにより全てのトランジ
スタTBが’ON”状態とされ、a2.”−a27に蓄
えられた電荷は、縦CCDV、〜■7を像と同じ速度で
転送されてきた電荷と加えられる。
スタTBが’ON”状態とされ、a2.”−a27に蓄
えられた電荷は、縦CCDV、〜■7を像と同じ速度で
転送されてきた電荷と加えられる。
このとき■1〜■7で、同じ像による信号が加えられた
ことになり、信号量は2倍になる。
ことになり、信号量は2倍になる。
縦方向にm個の検出器を並べ、この操作をm回繰り返せ
ば、同じ像による信号がm回積算されたことになり、S
/N比は51倍となる。積算された電荷は横CCD (
H−CCD)に移され、時間Tの期間内に端子01より
読み出される。
ば、同じ像による信号がm回積算されたことになり、S
/N比は51倍となる。積算された電荷は横CCD (
H−CCD)に移され、時間Tの期間内に端子01より
読み出される。
像はさらに■の速さで進み、像は撮像装置TD■゛に移
動し、時刻も。°でyo °の位置にきたとする。検出
器a、jとa8、°の大きさは全て等しいので、T秒後
、像は)’+=’10”士Tvに移動する。このT秒間
に撮像装置TDIの縦CCD上に結像したため、検出で
きなかった像を撮像装置TDMでは検出器a ” ll
〜a ’ Inで検出する。
動し、時刻も。°でyo °の位置にきたとする。検出
器a、jとa8、°の大きさは全て等しいので、T秒後
、像は)’+=’10”士Tvに移動する。このT秒間
に撮像装置TDIの縦CCD上に結像したため、検出で
きなかった像を撮像装置TDMでは検出器a ” ll
〜a ’ Inで検出する。
以下、撮像装置TDIと同じ操作を繰り返すことにより
、撮像装置TDIで検出不可能であった像を撮像装置T
bI’で全て検出することができる。
、撮像装置TDIで検出不可能であった像を撮像装置T
bI’で全て検出することができる。
なお、上記実施例では検出器の幅と縦CCD部の幅が共
に等しい場合を示したが、第2閲の本発明の他の実施例
に示すように、分解能を上げるため検出器幅を小さくし
、横方向の検出器間隔が検出器幅の2倍になる場合には
TDIを3段用意し、横方向に1画素分ずらせて配置す
るようにすればよい。
に等しい場合を示したが、第2閲の本発明の他の実施例
に示すように、分解能を上げるため検出器幅を小さくし
、横方向の検出器間隔が検出器幅の2倍になる場合には
TDIを3段用意し、横方向に1画素分ずらせて配置す
るようにすればよい。
〔発明の効果]
以上のように、この発明によればTDI方式固体撮像装
置において、複数のTDI方式の撮像装置を縦方向に並
べ、1画素分ずつ横方向にずらして配置する構成とした
から、像を100%検出できるものが得られる効果があ
る。
置において、複数のTDI方式の撮像装置を縦方向に並
べ、1画素分ずつ横方向にずらして配置する構成とした
から、像を100%検出できるものが得られる効果があ
る。
第1図は本発明の一実施例によるTDI方式の固体撮像
装置を示す図、第2図は本発明の他の実施例によるTD
I方式の固体撮像装置を示す図、第3図は従来のTDT
方式の固体撮像装置を示す図である。 a・・+ a ’ iJ+ a ”ijは光検出器
、V、、V。 ■、″は纒CCD、Tij、Tij’はMOS)ランジ
スタ、H−CCD H−CCD’、H−CCD”は横
方向のCCD、OUT、O,、O□は出力端子、s、s
’はスキャナである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。
装置を示す図、第2図は本発明の他の実施例によるTD
I方式の固体撮像装置を示す図、第3図は従来のTDT
方式の固体撮像装置を示す図である。 a・・+ a ’ iJ+ a ”ijは光検出器
、V、、V。 ■、″は纒CCD、Tij、Tij’はMOS)ランジ
スタ、H−CCD H−CCD’、H−CCD”は横
方向のCCD、OUT、O,、O□は出力端子、s、s
’はスキャナである。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- (1)2次元状に規則的に並べられた光検出器と、その
光検出器列の間に縦方向に配置されたCCDとを有し、 各CCDの終端部が横方向に配置された1本のCCDに
電気的に接続されたTDI方式固体撮像装置において、 この装置を複数個縦に並べ、各々の装置が横方向に検出
器の幅に相当する長さだけずれた位置に来るよう配置し
たことを特徴とするTDI方式固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147326A JPH0313080A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Tdi方式固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1147326A JPH0313080A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Tdi方式固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0313080A true JPH0313080A (ja) | 1991-01-22 |
Family
ID=15427656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1147326A Pending JPH0313080A (ja) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Tdi方式固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0313080A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012163536A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Nikon Corp | 観察装置、画像観察方法、及び被検体 |
| JP2014093616A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | High Energy Accelerator Research Organization | デジタルtdi方式検出器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50128923A (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-11 | ||
| JPS5795772A (en) * | 1980-12-05 | 1982-06-14 | Sharp Corp | Solid-state image pickup device |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP1147326A patent/JPH0313080A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50128923A (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-11 | ||
| JPS5795772A (en) * | 1980-12-05 | 1982-06-14 | Sharp Corp | Solid-state image pickup device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012163536A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Nikon Corp | 観察装置、画像観察方法、及び被検体 |
| JP2014093616A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | High Energy Accelerator Research Organization | デジタルtdi方式検出器 |
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