JPH031323A - 磁気ディスクのバーニッシュ方法およびその装置 - Google Patents
磁気ディスクのバーニッシュ方法およびその装置Info
- Publication number
- JPH031323A JPH031323A JP13470289A JP13470289A JPH031323A JP H031323 A JPH031323 A JP H031323A JP 13470289 A JP13470289 A JP 13470289A JP 13470289 A JP13470289 A JP 13470289A JP H031323 A JPH031323 A JP H031323A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- tape
- disk
- magnetic
- polishing
- Prior art date
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気記録用ディスク媒体の磁性面をラッピン
グテープにより表面研磨仕上げするバーニッシュ方法に
関するものである。
グテープにより表面研磨仕上げするバーニッシュ方法に
関するものである。
一般に、磁気ディスク表面をラッピングテープによって
研磨するバーニッシュ方法としては、磁気ディスクを保
持回転させ、ラッピングテープをこの磁気ディスクの磁
性面に押圧して、磁性面の余剰の突起を研磨除去する方
式がとられている。
研磨するバーニッシュ方法としては、磁気ディスクを保
持回転させ、ラッピングテープをこの磁気ディスクの磁
性面に押圧して、磁性面の余剰の突起を研磨除去する方
式がとられている。
しかし、Ｆ記のような方法では、ラッピングテープによ
る研磨中に発生する研磨粉あるいは空気中の塵埃などが
ラッピングテープと磁気ディスク間に挾まれて磁気ディ
スク表面に研治傷を発生させるという問題かある。
る研磨中に発生する研磨粉あるいは空気中の塵埃などが
ラッピングテープと磁気ディスク間に挾まれて磁気ディ
スク表面に研治傷を発生させるという問題かある。
従来、このような問題に対して、（ａ）原因となる研磨
粉あるいは空気中の塵埃をエアーノズルの設置により加
圧エアーで除去する方法、（ｂ）原因となる研磨粉の大
部分が磁性体であるとして磁力で吸着除去する方法、な
どが提案されている。
粉あるいは空気中の塵埃をエアーノズルの設置により加
圧エアーで除去する方法、（ｂ）原因となる研磨粉の大
部分が磁性体であるとして磁力で吸着除去する方法、な
どが提案されている。
しかしながら、ト記従来例（ａ）では、磁性面の研磨部
分にエアーを導入する条件設定が難しく充分なりリーニ
ング効果を得にくかった。また、従来例（ｂ）では、磁
性層に添加している非磁性の研磨材（例えば、酸化アル
ミナ、酸化クロム、酸化チタンなど）が研磨粉として発
生した場合にはクリーニング効果が発現せず、研磨傷を
充分に防止することができなかった。
分にエアーを導入する条件設定が難しく充分なりリーニ
ング効果を得にくかった。また、従来例（ｂ）では、磁
性層に添加している非磁性の研磨材（例えば、酸化アル
ミナ、酸化クロム、酸化チタンなど）が研磨粉として発
生した場合にはクリーニング効果が発現せず、研磨傷を
充分に防止することができなかった。
本発明は、上記問題点に鑑み、磁気ディスク媒体のバー
ニッシュ工程における研磨傷の発生を抑制するためのバ
ーニッシュ方法、およびこのバーニッシュ方法を実施す
るためのバーニッシュ装置を提供することを目的として
いる。
ニッシュ工程における研磨傷の発生を抑制するためのバ
ーニッシュ方法、およびこのバーニッシュ方法を実施す
るためのバーニッシュ装置を提供することを目的として
いる。
（課題を解決するための手段〕
本発明は、ラッピングテープにより磁気ディスクを研磨
するとともに、湿式クリーニングテープを該磁気ディス
クに接触させて該磁気ディスクをクリーニングすること
を特徴とする磁気ディスクのバーニッシュ方法であり、
また、ラッピングテープ、該ラッピングテープを磁気デ
ィスクに接触させる手段、湿式クリーニングテープおよ
び該湿式クリーニングテープを該磁気ディスクに接触さ
せる手段を有することを特徴とする磁気ディスクのバー
ニッシュ装置である。
するとともに、湿式クリーニングテープを該磁気ディス
クに接触させて該磁気ディスクをクリーニングすること
を特徴とする磁気ディスクのバーニッシュ方法であり、
また、ラッピングテープ、該ラッピングテープを磁気デ
ィスクに接触させる手段、湿式クリーニングテープおよ
び該湿式クリーニングテープを該磁気ディスクに接触さ
せる手段を有することを特徴とする磁気ディスクのバー
ニッシュ装置である。
本発明のバーニッシュ方法は、磁気ディスクを回転駆動
し、この磁気ディスクの磁性面を加圧エアーによりラッ
ピングテープに圧接させてディスクを研磨するとともに
、湿式クリーニングテープによって湿式研磨を行ない、
研磨中に発生する研磨粉をこれによって除去することを
特徴とするものである。
し、この磁気ディスクの磁性面を加圧エアーによりラッ
ピングテープに圧接させてディスクを研磨するとともに
、湿式クリーニングテープによって湿式研磨を行ない、
研磨中に発生する研磨粉をこれによって除去することを
特徴とするものである。
（実施例）
以下、第１図および第２図により本発明の詳細な説明す
る。
る。
磁気ディスク！（フレキシブルディスク）は磁性面１ａ
を上面にして内周部で回転軸２の先端のバキュームチャ
ック２ａによって保持され、回転駆動される。磁気ディ
スク１の回転速度は、例えば５００〜４０００ｒｐ−で
ある。
を上面にして内周部で回転軸２の先端のバキュームチャ
ック２ａによって保持され、回転駆動される。磁気ディ
スク１の回転速度は、例えば５００〜４０００ｒｐ−で
ある。
上記の高速回５転している磁気ディスク１は下面に設置
されているエアーノズル６からの加圧エアーによりラッ
ピングテープ５に圧接されて研磨が行なわれる。エアー
ノズル６から供給される加圧エアーの圧力は、例えば３
Ｋｇ／ ｃｍ”以下の範囲で可変であり、この加圧エ
アーの圧力調節によって、ラッピングテープ５と磁気デ
ィスク１との接触圧を変化させて、研磨深さを調節する
ことができる。エアーノズル６の圧力は０．５〜２にｚ
／ｃｍ”に設定することが好ましい。
されているエアーノズル６からの加圧エアーによりラッ
ピングテープ５に圧接されて研磨が行なわれる。エアー
ノズル６から供給される加圧エアーの圧力は、例えば３
Ｋｇ／ ｃｍ”以下の範囲で可変であり、この加圧エ
アーの圧力調節によって、ラッピングテープ５と磁気デ
ィスク１との接触圧を変化させて、研磨深さを調節する
ことができる。エアーノズル６の圧力は０．５〜２にｚ
／ｃｍ”に設定することが好ましい。
ラッピングテープ５はガイドロール７ａに掛けられ、こ
こで屈曲して走行するように設定されている。このラッ
ピングテープ５は送り機構によって、磁気ディスク１の
回転方向と反対方向に走行するように送られる。送り速
度は３０ ＋＋ｕｓ／ ｓｅｃ以下で可変であり、好ま
しくは２〜１０ ｍｗ／ ｓｅｃである。ラッピングテ
ープ５としては、研磨粒子として例えば酸化クロム、炭
化ケイ素、酸化鉄、酸化アルミナ、ダイヤモンドなどの
材質のものが使用される。
こで屈曲して走行するように設定されている。このラッ
ピングテープ５は送り機構によって、磁気ディスク１の
回転方向と反対方向に走行するように送られる。送り速
度は３０ ＋＋ｕｓ／ ｓｅｃ以下で可変であり、好ま
しくは２〜１０ ｍｗ／ ｓｅｃである。ラッピングテ
ープ５としては、研磨粒子として例えば酸化クロム、炭
化ケイ素、酸化鉄、酸化アルミナ、ダイヤモンドなどの
材質のものが使用される。
一方、本発明で用いられるクリーニングテープは磁気デ
ィスク１を、１：・下面から挾み込むように設置される
。上面の湿式クリーニングテープ３は水あるいは潤滑剤
でＳｌ潤されており、ガイドテープ７ｂを経て、屈曲し
て走行するように設定されている。下面のクリーニング
テープ４はガイドロール７ｃを経て、屈曲して走行する
ように設定されている。なお、クリーニングテープ４は
水あるいは潤滑剤で湿潤されていてもいなくとも良い。
ィスク１を、１：・下面から挾み込むように設置される
。上面の湿式クリーニングテープ３は水あるいは潤滑剤
でＳｌ潤されており、ガイドテープ７ｂを経て、屈曲し
て走行するように設定されている。下面のクリーニング
テープ４はガイドロール７ｃを経て、屈曲して走行する
ように設定されている。なお、クリーニングテープ４は
水あるいは潤滑剤で湿潤されていてもいなくとも良い。
これらクリーニングテープ３．４は磁気ディスクの内周
から外周方向に送り機構によって送られる。送り速度は
３０ ｌ１ｍ１ ｓｅｃ以下で可変であり、好ましくは
２〜ｌ Ｏｆｆ１ｍ／ ｓｅｃである。潤滑剤としては
、磁気ディスク媒体に一般に用いられているシリコンオ
イル、脂肪酸、脂肪酸エステル、他のエステル、フッ素
化オイルなどを使用することができる。
から外周方向に送り機構によって送られる。送り速度は
３０ ｌ１ｍ１ ｓｅｃ以下で可変であり、好ましくは
２〜ｌ Ｏｆｆ１ｍ／ ｓｅｃである。潤滑剤としては
、磁気ディスク媒体に一般に用いられているシリコンオ
イル、脂肪酸、脂肪酸エステル、他のエステル、フッ素
化オイルなどを使用することができる。
上記構成により、駆動機構で磁気ディスク１を高速回転
している状態で、湿式クリーニングテープ３とクリーニ
ングテープ４を接触させ、同時にエアーノズル６から所
定圧め加圧エアーを磁気ディスク！に吹き付け、これに
よりラッピングテープ５と磁性面１ａとを所定の接触圧
で圧接して研磨仕上げを、例えば０．１ｘ １．０ｓｅ
ｃ程度の時間性なうものである。
している状態で、湿式クリーニングテープ３とクリーニ
ングテープ４を接触させ、同時にエアーノズル６から所
定圧め加圧エアーを磁気ディスク！に吹き付け、これに
よりラッピングテープ５と磁性面１ａとを所定の接触圧
で圧接して研磨仕上げを、例えば０．１ｘ １．０ｓｅ
ｃ程度の時間性なうものである。
本発明によれば、磁気ディスクの研磨中に発生し、研磨
傷の原因となる研磨粉を湿式クリーニングテープで効果
的に除去できるとともに、磁気ディスクとラッピングテ
ープとの間に潤滑剤が供給されるため、磁気ディスクの
研磨面の傷付きを防止できる。
傷の原因となる研磨粉を湿式クリーニングテープで効果
的に除去できるとともに、磁気ディスクとラッピングテ
ープとの間に潤滑剤が供給されるため、磁気ディスクの
研磨面の傷付きを防止できる。
第１図は本発明に用いられるバーニッシュ装置の正面図
、第２図は上片からの斜視図である。 １：磁気ディスク媒体 １ａ：磁性面２：回転軸
２ａ：チャック３：湿式クリーニングテープ ４：クリーニングテープ ５：ラッピングテープ ６：エアーノズル７：ガイド
ロール 特許出願人 キャノン株式会社 代 理 人 若 林 忠第１図 第２図
、第２図は上片からの斜視図である。 １：磁気ディスク媒体 １ａ：磁性面２：回転軸
２ａ：チャック３：湿式クリーニングテープ ４：クリーニングテープ ５：ラッピングテープ ６：エアーノズル７：ガイド
ロール 特許出願人 キャノン株式会社 代 理 人 若 林 忠第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ラッピングテープにより磁気ディスクを研磨すると
ともに、湿式クリーニングテープを該磁気ディスクに接
触させて該磁気ディスクをクリーニングすることを特徴
とする磁気ディスクのバーニッシュ方法。 ２、ラッピングテープ、該ラッピングテープを磁気ディ
スクに接触させる手段、湿式クリーニングテープおよび
該湿式クリーニングテープを該磁気ディスクに接触させ
る手段を有することを特徴とする磁気ディスクのバーニ
ッシュ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13470289A JPH031323A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 磁気ディスクのバーニッシュ方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13470289A JPH031323A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 磁気ディスクのバーニッシュ方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH031323A true JPH031323A (ja) | 1991-01-08 |
Family
ID=15134599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13470289A Pending JPH031323A (ja) | 1989-05-30 | 1989-05-30 | 磁気ディスクのバーニッシュ方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH031323A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11232644A (ja) * | 1998-02-12 | 1999-08-27 | Yac Co Ltd | 磁気ディスク加工装置 |
-
1989
- 1989-05-30 JP JP13470289A patent/JPH031323A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11232644A (ja) * | 1998-02-12 | 1999-08-27 | Yac Co Ltd | 磁気ディスク加工装置 |
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