JPH03141027A - 垂直磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ０発明の目的 〔産業上の利用分野〕 本発明は、垂直磁気記録用のフレキシブル磁気ディスク
等に用いる垂直磁気記録媒体の製造装置に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

近年、磁気記録の高密度化の要求に伴い、減磁界の影響
が少なく、飛躍的に記録密度の向上が期待できる垂直磁
気記録の研究が盛んに行われている。

長尺の高分子フィルム上にＣｏ基磁性膜を真空蒸着法、
スパッタ法、あるいは鍍金法などによって作製される垂
直磁気記録媒体（以下垂直媒体と称す）は磁性層が連続
薄膜であるために垂直磁気記録方式において特に優れた
高密度記録特性を示すことがわかり、各種磁気テープ成
るいはディスク状磁気記録媒体など様々な製品形態への
応用開発が進められている０本発明者らは、従来がら垂
直媒体の製造装置として、第３図に示すように、送リ出
しロール１１から送り出された長尺の高分子フィルム４
を、２個のガイドロール１２を介して断続的に走行させ
、磁気ディスクの円形状に磁性膜５を一定ピッチで形成
して、再現良く垂直媒体を作製する装置を提案している
。その場合磁性膜５の形成時のみ高分子フィルム４の移
動を停止し、ターゲット６によりスパッタを行い磁性膜
５を形成する。スパッタ後は巻取りロール１３に巻き取
る。

このように一定ピツチで断続的にスパッタを行うことに
より、長尺の高分子フィルム４に断続的な磁性膜５の形
成が可能となる。

しかしながら、第３図の装置によって作製された垂直媒
体は、磁性膜５を形成後のガイドロール１２を通過する
時に、磁性膜５にしわや折れが生ずるという欠点があっ
た。即ち、第４図の従来の装置による作製時の垂直媒体
の平面図に示すように、スパッタの熱によって高分子フ
ィルム４の磁性膜５の形成部分が膨らみ、この部分がガ
イドロール１２に接触し冷却され、収縮して通過するこ
とにより磁性膜５にしわ１４や折れ１５が発生していた
。このため、高分子フィルム４から磁気ディスクに打ち
抜いた時、しわ１４や折れ１５が磁気ディスク上にも残
るため、製品は不良となり、歩留りが低いという問題が
あった。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、上記の問題を解決し、磁性膜を形成した高分
子フィルムを搬送し巻き取る時の磁性膜へのしわや折れ
の発生を防止し、以て磁気ディスク製品の歩留りを向上
した量産性に優れた垂直媒体の製造装置を提供すること
にある。

口８発明の構成 〔課題を解決するための手段〕 本発明は、長尺の高分子フィルム上にスパッタリング法
により、断続的に垂直磁気記録用の磁性膜を形成して垂
直磁気記録媒体を製造する装置において、少なくともガ
イドロール、巻取りロールの外周辺が角柱状をつくる外
枠を持つロールとし、断続的に作製した前記磁性膜のピ
ッチと前記各ロール間及び外枠間の距離を合わせ、常に
磁性膜の部分は前記各ロールの外枠に触れずに搬送され
、巻き取られることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製
造装置である。

〔作用〕

少なくともガイドロール、及び巻取りロールの形状を、
従来の円柱状から角柱状をつくる外枠を持つロールとし
、断続的に作製した磁性膜のピッチと各ロール間、及び
外枠間の距離を合わせれば、常に磁性膜の部分はロール
の外枠の間にあって、ロールの外枠に触れずに搬送され
巻き取られる。

従って、高分子フィルムの磁性膜の形成部分はロールに
触れないので、急に収縮を起こさず自然冷却による自然
収縮をするので、磁性膜にしわや折れが発生しない。

〔実施例〕

以下に本発明の実施例を図を参照して詳しく説明する。

第１図は、本発明の垂直媒体の製造装置に用いるロール
の一実施例を示す外観斜視図である。ロール軸７に４枚
の支持板８を各々直角に羽根状に配置して取り付け、各
々の支持板８の外周辺の合成が四角柱状をつくる外枠９
を形成し、外枠９が４つの虚血１０（点線で示す）を形
成したロールである。このロールでは高分子フィルムを
４つの虚血１０に沿って搬送、及び巻き取る構造である
。

第２図は、第１図のロールを配置した本発明の一実施例
を示す垂直媒体の製造装置の主要部の概略斜視図である
。即ち、送り出しロール１から断続的に送り出された高
分子フィルム４に、２個のガイドロール２の間でターゲ
ット６によりスパッタ法で円形の磁性膜５が一定ピッチ
で形成され、巻取りロール３に巻き取られて垂直磁気記
録媒体が製造される装置である。送り出しロール１、ガ
イドロール２、及び巻取りロール３は、第１図で示すロ
ールと同じ形状で四角柱状を作る外枠９を形成したもの
である。この製造装置は、少なくとも磁性膜５を形成し
た後のガイドロール２と巻取りロール３の間の距離は、
高分子フィルム４上の磁性膜５のピッチの整数倍に合わ
せられている。

さらに上記の各ガイドロール２、巻取りロール３の外枠
９の間隔は、磁性膜５の１ピツチに合わせられており、
磁性膜５の部分は必ずロールの外枠９の間の虚血１０に
入り、外枠９には触らずに搬送され巻き取られるよう構
成されている。従ってこの製造装置によれば、磁性Ｍ５
の形成部分は、ガイドロール２と巻取りロール３に直接
触れずに自然冷却により自然収縮するのでしわや折れが
発生せず、磁気ディスク製品が高歩留りで得られる。

これを実証するため、本発明の実施例に示した下記のロ
ールを配置した垂直媒体の製造装置により、下記の高分
子フィルムに下記仕様の磁性膜を作製した。

ロール（送り出しロールｌ、ガイドロール２、巻取りロ
ール３） 形状　　　　　支持板８が四枚で四角柱状をつくる外枠
９を形成 虚血１０の寸法　（長）１１０ｍｍｘ　（幅）３００■
■×四面高分子フィルム４ 種類　　　　　ポリイミドフィルム 寸法　　　　　（幅）２５０ｍｌ×（厚）５０μ■以下
余白 磁性膜５ 材質　　　　　ＣｏＣｒ合金膜 寸法　　　　　膜厚　　０．５μｍ 外形　　約φ９０脂鵬 ビ・ソチ　　１１０騰鵬 形成方法　　ＲＦマグネトロンスパッタリングこれによ
って得られた垂直媒体にはしわや折れによる不良は発生
しなかった。

尚１本例のロールでは外形を四角柱としたが三角、六角
でもよく、又外枠の形成を支持板としたが棒枠、網枠で
も良く、本例に拘束されない。

又、本例では送り出しロール１、ガイドロール２、巻取
りロール３のすべてのロールを第１図に示すロールと同
形としたが、磁性膜５を形成した後のガイドロール２と
巻取りロール３の２個のみでも充分であり、本例に拘束
されるものではない。

ハ１発明の効果 〔発明の効果〕 以上述べたように本発明によれば、高分子フィルムに形
成した磁性膜にしわや折れの発生がなく、磁気ディスク
を高歩留りで得られる量産性に優れた垂直磁気記録媒体
の製造装置を提供出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の垂直磁気記録媒体の製造装置に用い
るロールの一実施例を示す外観斜視図。 第２図は、第１図のロールを配置した本発明の一実施例
を示す垂直磁気記録媒体の製造装置の主要部の概略斜視
図。 第３図は、従来の垂直磁気記録媒体の製造装置の主要部
を示す概略斜視図。 第４図は、従来の垂直磁気記録媒体の製造装置により作
製された時の状態を示す垂直磁気記録媒体の平面図であ
る。 １−・・（本発明の）送り出しロール、２・・・（本発
明の）ガイドロール、３・・・（本発明の）巻取りロー
ル、４・・・高分子フィルム、５・・・磁性膜、６・・
・ターゲット、７・・・ロール軸、８・・・支持板、９
・・・外枠、１０・・・虚血、１１・・・（従来の）送
り出しロール、１２・・・（従来の）ガイドロール、１
３・・・（従来の）巻取りロール、１４・・・しわ、１
５・・・折れ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、長尺の高分子フィルム上にスパッタリング法により
   、断続的に垂直磁気記録用の磁性膜を形成して垂直磁気
   記録媒体を製造する装置において、少なくともガイドロ
   ール、巻取りロールの外周辺が角柱状をつくる外枠を持
   つロールとし、断続的に作製した前記磁性膜のピッチと
   前記各ロール間及び外枠間の距離を合わせ、常に磁性膜
   の部分は前記各ロールの外枠に触れずに搬送され、巻き
   取られることを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造装置
   。