JPH01312066A - 連続薄膜媒体の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 −〔産業上の利用分野〕 本発明は、連続磁性媒体の製造装置に関する。

近年、磁気記録の高密度化の要求に伴い磁性層が磁性材
料のみによって形成される所謂連続磁性媒体の研究が盛
んになってきた。

真空蒸着法、ス・母ツタ法或いはメツキ法等によって作
成される連続磁性媒体は、磁性層が連続薄膜であるため
に長手記録は熱論の事、垂直記録方式において特に記録
密度の飛躍的向上が期待されておシ、各種磁気テープ或
いはディスク状磁気記録媒体等様々な製品形態への応用
開発が進められている。

〔従来の技術〕

従来の連続薄膜媒体の製造装置を第１図に示す。

送シ出しロール１から搬送されたベースフィルム２は、
ガイドロール３を経て、キャン４に送られる。そこで、
真空蒸着法、スパッタリング法、イオンブレーティング
法などにより、磁性薄膜を形成した後、再びガイドロー
ル３′を経て１巻き取シロール５に送られ１巻取られる
。６はマスク、７は蒸発源である。

〔発明が解決しようとする課題〕

ここで、第２図に示すように、ガイドロール３′から巻
取ロール５にかけて、「シわ」８が発生するということ
がしばしば起こった。

この「しわ」が発生した媒体は、大きなスペーシングロ
スを生み、耐久性を大幅に低下させるため、実用上使用
不可能となり、生産性向上のための大きな障害となって
いた。

それ故に本発明の課題は「しわ」の発生しにくく、生産
性の高い連続薄膜磁性媒体製造装置を提供することにあ
る。

〔課題を解決するだめの手段〕

本発明によれば、長尺の高分子フィルムにキャン方式に
より磁性薄膜を付着することで連続薄膜磁性媒体を作與
する装置において、前記高分子フィルム上の膜形成部分
の内側に対向する凸部を有するガイドロール及び巻取ロ
ールを含むことを特徴とする連続薄膜媒体の製造装置が
得られる。

〔実施例〕

第６図に加えて第１図を参照して１本発明の一実施例に
よる製造装置は、ガイドロール３′として。

ベースフィルム２上に形成された連続磁性薄膜１０の内
側に対向する凸部１１を有したものを用いている。この
凸部１１は段差９を形成するものである。なお同様な凸
部１１を巻取ロール５にも設けることは好ましい。

以下、具体的な例を幾つか挙げて説明する。

具体例　ｌ 第２図において２幅５００　［ｍｍ〕のポリイミドから
なるベースフィルム２上に、第６図で示す様なキャンを
用いてスパッタリング法によ、！ｌ）　０．２μｍ厚の
ＣｏＣｒ膜を幅４００　（＋ｎｍ＋）で形成した。

このとき、ガイドロール３′及び巻取ロール５にそれぞ
れ凸部１１を設けて段差を生じさせる。そしてその段差
の位置Ｃ）０をＯ〜１００　［ｍｌ　捷で変化させ、そ
れぞれ１０００〔ｍ〕の長さの連続磁性薄膜媒体を作製
した時に「しわ」が発生する頻度を測定した。

この時の段差は１幅１０　［ｍｍ：］　、高さ０．２　
ｅｌｍ：］とした。その結果を第３図に示す。第３図に
よると。

事実上段差がベースフィルムにかかっていない。

Ｘ　＝　Ｏ［ｍｍ〕よシも１段差を使用した方が「しわ
」の発生頻度が減少し、さらに段差が連続磁性薄膜よシ
内側にある時「しわ」の発生頻度は激減している。

具体例　２ 第４図に本発明の別な具体例を示す。

ベースフィルム２及び磁性薄膜の組成、膜厚。

作製条件１段差の幅と高さは具体例１とおなしであるが
、ｆイドロール３′および巻取ロール５の段差の位置を
ベースフィルム２の端から５０〔調〕の位置に固定し、
磁性薄膜の形成する幅（Ｙ）を変化させ、ベースフィル
ムの端からＯ〜１００　［ｍｌ　トした。

この状態でそれぞれ１０００　Ｃｍ］の長さの連続磁性
薄膜を作製した時に「しわ」が発生する頻度を測定した
。

その結果を第５図に示す。第５図かられかるように、具
体例１と同様に１段差が磁性薄膜にかがまだよくわから
ないが、磁性薄膜が形成されたところはそれだけ剛性が
増し１段差によって形成された。媒体に対する幅方向の
張力が有効に伝達されたためと考えられる。

なお１本実施例において、凸部からなる段差の高さおよ
び幅はベースフィルムの種類、厚さ、磁性薄膜の種類、
厚さにより任意に選べばよく１本実施例に制限されない
。

〔発明の効果〕

以上述べたように１本発明によれば、「シわ」の発生頻
度の非常に少ない連続磁性薄膜媒体を信頼性よく得られ
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による製造装置に用いられた
がイドロールをベースフィルムとの関係で示した説明図
、第２図は第１の具体例を示す説明図、第３図は第１の
具体例での「しわ」の発生頻度を示すグラフ、第４図は
第２の具体例を示す説明図、第５図は第２の具体例での
「しわ」の発生頻度を示すグラフ、第６図は製造装置全
体の概略構成を示す構成図、第７図は従来の製造装置で
の「しわ」の発生状態を示す要部のみの斜視図である。 １・・・送す出シロール、２・・・ベースフィルム、３
゜３′・・・−１１イドロール、４・・・キャン、５・
・・巻き取りロール、６・・・マスク、７・・・蒸発源
、８・・・しわ、９・・・段差、１０・・・連続磁性薄
膜、１１・・凸部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、長尺の高分子フィルムにキャン方式により磁性薄膜
   を付着することで連続薄膜磁性媒体を作製する装置にお
   いて、前記高分子フィルム上の膜形成部分の内側に対向
   する凸部を有するガイドロール及び巻取ロールを含むこ
   とを特徴とする連続薄膜媒体の製造装置。