JPH0314220B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0314220B2 JPH0314220B2 JP26922384A JP26922384A JPH0314220B2 JP H0314220 B2 JPH0314220 B2 JP H0314220B2 JP 26922384 A JP26922384 A JP 26922384A JP 26922384 A JP26922384 A JP 26922384A JP H0314220 B2 JPH0314220 B2 JP H0314220B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- specific gravity
- manganese nitrate
- manganese
- dioxide layer
- aqueous solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Thermistors And Varistors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は固体電解コンデンサの製造方法に係
り、特に二酸化マンガン層形成工程に関する。 表面に誘電体として陽極酸化被膜が形成されて
なるアルミニウムやタンタルの箔や板を陽極素子
とし、これに二酸化マンガン層（MnO2）の固体
電解質を密接させて陰極とする固体電解コンデン
サの製造において、二酸化マンガン層を陽極素子
に密接させて形成する手段として、陽極素子が有
する複雑な空洞に硝酸マンガンの水溶液を含浸し
熱分解して二酸化マンガンに置換している。 しかし陽極素子の空洞に含浸する硝酸マンガン
溶液の比重が小さいと、一度の含浸と熱分解によ
り形成される二酸化マンガン層が薄く、含浸と熱
分解を多数繰り返す必要があり非能率的である。
しかも繰り返し熱を加えるため熱歪みによつて空
洞が破壊される。また陽極素子に含浸する硝酸マ
ンガン溶液の比重が大きいと、空洞の先端まで硝
酸マンガン溶液を含浸させることができない。 そこで少ない回数の含浸と熱分解によつて空洞
の先端にまで十分二酸化マンガン層を形成できる
方法の開発が望まれている。 〔従来の技術〕 第１図は陽極素子の断面を拡大した図、第２図
は硝酸マンガン溶液の比重および処理回数とtanδ
との関係を示す図、第３図は硝酸マンガン溶液の
比重および処理回数と静電容量との関係を示す図
である。 第１図において陽極素子１は表面積を拡大する
ために拡面処理が施されており、箔や板の内部に
形成された複雑な空洞２の表面に陽極酸化被膜３
が被着されている。単位面積当たりのコンデンサ
の静電容量を大きくするためには、二酸化マンガ
ンをこの空洞２の先端にまで充填する必要があ
る。そこで従来の二酸化マンガン層形成は同一比
重の硝酸マンガン溶液を用い、硝酸マンガン溶液
の含浸と熱分解を所定の特性が得られるまで繰り
返し行つている。 第２図は静電容量に寄与する実行表面積が見掛
けの表面積の70倍以上に拡大された陽極素子を用
い、従来の方法で二酸化マンガン層を形成した固
体電解コンデンサの、硝酸マンガン溶液の比重お
よび処理回数とtanδとの関係を示し、第３図はそ
のときの硝酸マンガン溶液の比重および処理回数
と静電容量の関係を示している。 同一比重の硝酸マンガン溶液を用いる従来の方
法において、tanδと静電容量を維持しながら処理
回数を最低限まで低減できる硝酸マンガン溶液の
比重は、第２図および第３図でも明らかなように
1.8が限度であり、比重が1.9になるとtanδが急増
し静電容量は急に減少する。 なお第１表は硝酸マンガン溶液の比重および処
理回数とリーク不良率との関係を示す表で、処理
回数とリーク不良率は硝酸マンガン溶液の比重が
高くなるに伴つて減少するが、比重1.8が限界で
比重が1.9になつても処理回数とリーク不良率は
減少しない。
り、特に二酸化マンガン層形成工程に関する。 表面に誘電体として陽極酸化被膜が形成されて
なるアルミニウムやタンタルの箔や板を陽極素子
とし、これに二酸化マンガン層（MnO2）の固体
電解質を密接させて陰極とする固体電解コンデン
サの製造において、二酸化マンガン層を陽極素子
に密接させて形成する手段として、陽極素子が有
する複雑な空洞に硝酸マンガンの水溶液を含浸し
熱分解して二酸化マンガンに置換している。 しかし陽極素子の空洞に含浸する硝酸マンガン
溶液の比重が小さいと、一度の含浸と熱分解によ
り形成される二酸化マンガン層が薄く、含浸と熱
分解を多数繰り返す必要があり非能率的である。
しかも繰り返し熱を加えるため熱歪みによつて空
洞が破壊される。また陽極素子に含浸する硝酸マ
ンガン溶液の比重が大きいと、空洞の先端まで硝
酸マンガン溶液を含浸させることができない。 そこで少ない回数の含浸と熱分解によつて空洞
の先端にまで十分二酸化マンガン層を形成できる
方法の開発が望まれている。 〔従来の技術〕 第１図は陽極素子の断面を拡大した図、第２図
は硝酸マンガン溶液の比重および処理回数とtanδ
との関係を示す図、第３図は硝酸マンガン溶液の
比重および処理回数と静電容量との関係を示す図
である。 第１図において陽極素子１は表面積を拡大する
ために拡面処理が施されており、箔や板の内部に
形成された複雑な空洞２の表面に陽極酸化被膜３
が被着されている。単位面積当たりのコンデンサ
の静電容量を大きくするためには、二酸化マンガ
ンをこの空洞２の先端にまで充填する必要があ
る。そこで従来の二酸化マンガン層形成は同一比
重の硝酸マンガン溶液を用い、硝酸マンガン溶液
の含浸と熱分解を所定の特性が得られるまで繰り
返し行つている。 第２図は静電容量に寄与する実行表面積が見掛
けの表面積の70倍以上に拡大された陽極素子を用
い、従来の方法で二酸化マンガン層を形成した固
体電解コンデンサの、硝酸マンガン溶液の比重お
よび処理回数とtanδとの関係を示し、第３図はそ
のときの硝酸マンガン溶液の比重および処理回数
と静電容量の関係を示している。 同一比重の硝酸マンガン溶液を用いる従来の方
法において、tanδと静電容量を維持しながら処理
回数を最低限まで低減できる硝酸マンガン溶液の
比重は、第２図および第３図でも明らかなように
1.8が限度であり、比重が1.9になるとtanδが急増
し静電容量は急に減少する。 なお第１表は硝酸マンガン溶液の比重および処
理回数とリーク不良率との関係を示す表で、処理
回数とリーク不良率は硝酸マンガン溶液の比重が
高くなるに伴つて減少するが、比重1.8が限界で
比重が1.9になつても処理回数とリーク不良率は
減少しない。
第１表でも明らかなように同一比重の硝酸マン
ガン溶液を用いる従来の方法では、硝酸マンガン
溶液の比重を1.8より大きくし1.9にしても、リー
ク不良率を２％以下に減少させることができない
という問題がある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記問題点は第一段階として比重1.8の硝酸マ
ンガンの水溶液を陽極素子に含浸し、硝酸マンガ
ンの水溶液を熱分解して二酸化マンガン層を形成
した後、第二段階として比重1.9の硝酸マンガン
の水溶液を陽極素子に含浸し、硝酸マンガンの水
溶液を熱分解して二酸化マンガン層を形成する、
本発明になる固体電解コンデンサの製造方法によ
つて解決される。 〔作用〕 比重1.8の硝酸マンガンの水溶液を用いて前半
の二酸化マンガン層を形成し、且つ比重1.9の硝
酸マンガンの水溶液を用いて後半の二酸化マンガ
ン層を形成することによつて、形成された二酸化
マンガン層が空洞の先端まで充填され且つ組成が
緻密になつて、tanδの急増や静電容量の急な減少
を招くことなくリーク不良率を大幅に低減するこ
とができる。 〔実施例〕 以下本発明の実施例について説明する。 二酸化マンガン層形成工程においてリーク不良
率を左右する要因として、熱硝酸による陽極酸化
被膜の腐食と陽極酸化被膜に発生する亀裂があ
る。一般に熱分解の過程で陽極酸化被膜が熱硝酸
に腐食される時間が短い程リーク不良率は小さ
い。即ち、陽極酸化被膜が熱硝酸に腐食される時
間は比重が1.8の硝酸マンガンの水溶液よりも、
比重が1.9の硝酸マンガンの水溶液を用いた場合
の方が短くリーク不良率も小さくなる。 しかるに比重1.9の硝酸マンガンの水溶液を陽
極素子に含浸し熱分解しても、陰極層として二酸
化マンガン層が付着するのは通常60％が限度であ
る。しかも平均口径数μｍの空洞は先端部分の口
径が1μｍ以下になるため、含浸と熱分解を繰り
返しても１回目の処理で空洞の入り口が封鎖さ
れ、十分緻密な二酸化マンガン層を空洞の先端ま
で形成することができない。 即ち、空洞の先端まで二酸化マンガン層が形成
されないため、境界線で陽極酸化被膜に亀裂が生
じて地の金属箔や金属板と二酸化マンガン層が接
触し、リーク不良率が第１表に示す如く２％以下
に低減しない。しかも比重が1.8の硝酸マンガン
の水溶液の場合よりも第２図に示す如くtanδが大
きくなる。 一方、比重が1.8の硝酸マンガンの水溶液を用
いる従来の方法は、十分緻密な二酸化マンガン層
を空洞の先端まで形成できるためtanδが小さくな
るが、比重が1.9の硝酸マンガンの水溶液の場合
に比べ陽極酸化被膜が熱硝酸に腐食される時間は
長く、リーク不良率は第１表に示す如く２％を限
度としそれ以上向上することは無い。 そこで本発明になる二酸化マンガン層形成方法
は従来の形成方法と異なり、二酸化マンガン層の
形成を第一段階と第二段階に分けて行つている。
即ち、第１段階では空洞の先端まで十分緻密な二
酸化マンガン層を形成するために、比重が1.8の
硝酸マンガンの水溶液を用いた処理を２度繰り返
して行い、第二段階では陽極酸化被膜が熱硝酸に
腐食される時間を短縮するために、比重が1.9の
硝酸マンガンの水溶液を用いた処理を２度繰り返
して行つている。 このように二酸化マンガン層の形成を第一段階
と第二段階に分けて行うことによつて、比重が
1.8の硝酸マンガンの水溶液を用いた場合におけ
る利点と、比重1.9の硝酸マンガンの水溶液を用
いた場合における利点が加算され、形成された二
酸化マンガン層が空洞の先端まで充填され且つ組
成が緻密になつて、tanδの急増や静電容量の急な
減少を招くことなくリーク不良率を0.5％まで低
減することができる。 〔発明の効果〕 上述の如く本発明によればtanδの急増や静電容
量の急な減少を招くことなく、リーク不良率を
0.5％まで低減できる二酸化マンガン層形成方法
を提供することができる。
ガン溶液を用いる従来の方法では、硝酸マンガン
溶液の比重を1.8より大きくし1.9にしても、リー
ク不良率を２％以下に減少させることができない
という問題がある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記問題点は第一段階として比重1.8の硝酸マ
ンガンの水溶液を陽極素子に含浸し、硝酸マンガ
ンの水溶液を熱分解して二酸化マンガン層を形成
した後、第二段階として比重1.9の硝酸マンガン
の水溶液を陽極素子に含浸し、硝酸マンガンの水
溶液を熱分解して二酸化マンガン層を形成する、
本発明になる固体電解コンデンサの製造方法によ
つて解決される。 〔作用〕 比重1.8の硝酸マンガンの水溶液を用いて前半
の二酸化マンガン層を形成し、且つ比重1.9の硝
酸マンガンの水溶液を用いて後半の二酸化マンガ
ン層を形成することによつて、形成された二酸化
マンガン層が空洞の先端まで充填され且つ組成が
緻密になつて、tanδの急増や静電容量の急な減少
を招くことなくリーク不良率を大幅に低減するこ
とができる。 〔実施例〕 以下本発明の実施例について説明する。 二酸化マンガン層形成工程においてリーク不良
率を左右する要因として、熱硝酸による陽極酸化
被膜の腐食と陽極酸化被膜に発生する亀裂があ
る。一般に熱分解の過程で陽極酸化被膜が熱硝酸
に腐食される時間が短い程リーク不良率は小さ
い。即ち、陽極酸化被膜が熱硝酸に腐食される時
間は比重が1.8の硝酸マンガンの水溶液よりも、
比重が1.9の硝酸マンガンの水溶液を用いた場合
の方が短くリーク不良率も小さくなる。 しかるに比重1.9の硝酸マンガンの水溶液を陽
極素子に含浸し熱分解しても、陰極層として二酸
化マンガン層が付着するのは通常60％が限度であ
る。しかも平均口径数μｍの空洞は先端部分の口
径が1μｍ以下になるため、含浸と熱分解を繰り
返しても１回目の処理で空洞の入り口が封鎖さ
れ、十分緻密な二酸化マンガン層を空洞の先端ま
で形成することができない。 即ち、空洞の先端まで二酸化マンガン層が形成
されないため、境界線で陽極酸化被膜に亀裂が生
じて地の金属箔や金属板と二酸化マンガン層が接
触し、リーク不良率が第１表に示す如く２％以下
に低減しない。しかも比重が1.8の硝酸マンガン
の水溶液の場合よりも第２図に示す如くtanδが大
きくなる。 一方、比重が1.8の硝酸マンガンの水溶液を用
いる従来の方法は、十分緻密な二酸化マンガン層
を空洞の先端まで形成できるためtanδが小さくな
るが、比重が1.9の硝酸マンガンの水溶液の場合
に比べ陽極酸化被膜が熱硝酸に腐食される時間は
長く、リーク不良率は第１表に示す如く２％を限
度としそれ以上向上することは無い。 そこで本発明になる二酸化マンガン層形成方法
は従来の形成方法と異なり、二酸化マンガン層の
形成を第一段階と第二段階に分けて行つている。
即ち、第１段階では空洞の先端まで十分緻密な二
酸化マンガン層を形成するために、比重が1.8の
硝酸マンガンの水溶液を用いた処理を２度繰り返
して行い、第二段階では陽極酸化被膜が熱硝酸に
腐食される時間を短縮するために、比重が1.9の
硝酸マンガンの水溶液を用いた処理を２度繰り返
して行つている。 このように二酸化マンガン層の形成を第一段階
と第二段階に分けて行うことによつて、比重が
1.8の硝酸マンガンの水溶液を用いた場合におけ
る利点と、比重1.9の硝酸マンガンの水溶液を用
いた場合における利点が加算され、形成された二
酸化マンガン層が空洞の先端まで充填され且つ組
成が緻密になつて、tanδの急増や静電容量の急な
減少を招くことなくリーク不良率を0.5％まで低
減することができる。 〔発明の効果〕 上述の如く本発明によればtanδの急増や静電容
量の急な減少を招くことなく、リーク不良率を
0.5％まで低減できる二酸化マンガン層形成方法
を提供することができる。
第１図は陽極素子の断面を拡大した図、第２図
は硝酸マンガン溶液の比重および処理回数とtanδ
との関係を示す図、第３図は硝酸マンガン溶液の
比重および処理回数と静電容量との関係を示す
図、である。
は硝酸マンガン溶液の比重および処理回数とtanδ
との関係を示す図、第３図は硝酸マンガン溶液の
比重および処理回数と静電容量との関係を示す
図、である。
Claims (1)
- １ 第一段階として比重1.8の硝酸マンガンの水
溶液を陽極素子に含浸し、該硝酸マンガンの水溶
液を熱分解して二酸化マンガン層を形成した後、
第二段階として比重1.9の硝酸マンガンの水溶液
を陽極素子に含浸し、該硝酸マンガンの水溶液を
熱分解して二酸化マンガン層を形成することを特
徴とした固体電解コンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26922384A JPS61166020A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26922384A JPS61166020A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61166020A JPS61166020A (ja) | 1986-07-26 |
| JPH0314220B2 true JPH0314220B2 (ja) | 1991-02-26 |
Family
ID=17469375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26922384A Granted JPS61166020A (ja) | 1984-12-20 | 1984-12-20 | 固体電解コンデンサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61166020A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003234253A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-22 | Rohm Co Ltd | 固体電解コンデンサの製造方法 |
-
1984
- 1984-12-20 JP JP26922384A patent/JPS61166020A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61166020A (ja) | 1986-07-26 |
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