JPH0314443U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0314443U JPH0314443U JP7523589U JP7523589U JPH0314443U JP H0314443 U JPH0314443 U JP H0314443U JP 7523589 U JP7523589 U JP 7523589U JP 7523589 U JP7523589 U JP 7523589U JP H0314443 U JPH0314443 U JP H0314443U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- diaphragm
- pressure measuring
- ring
- view
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例の圧力測定装置の断面
図、第２図は第１図のダイアフラムの一部断面斜
視図、第３図は従来の圧力測定装置の断面図、第
４図は本考案の別の実施例を示す圧力測定装置の
断面図である。 １……ダイアフラム、２……ボデイ、３……フ
タ、４……圧力導入ポート、５……電極板、６…
…ボデイ、７……金属薄膜、８……Ｏリング。
図、第２図は第１図のダイアフラムの一部断面斜
視図、第３図は従来の圧力測定装置の断面図、第
４図は本考案の別の実施例を示す圧力測定装置の
断面図である。 １……ダイアフラム、２……ボデイ、３……フ
タ、４……圧力導入ポート、５……電極板、６…
…ボデイ、７……金属薄膜、８……Ｏリング。
Claims (1)
- ダイアフラムの変位量により圧力を測定する圧
力測定装置において、周縁部にリングを有するダ
イアフラムを該リング部で圧力測定装置を構成す
るボデイに接合したことを特徴とする圧力測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7523589U JPH0314443U (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7523589U JPH0314443U (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0314443U true JPH0314443U (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=31615638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7523589U Pending JPH0314443U (ja) | 1989-06-27 | 1989-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0314443U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003506706A (ja) * | 1999-08-06 | 2003-02-18 | セトラ システムズ インコーポレイテッド | カプセルに封入された共振部材を備えた容量性圧力センサー |
| JP2013533974A (ja) * | 2010-07-01 | 2013-08-29 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 静電容量センサの改善 |
-
1989
- 1989-06-27 JP JP7523589U patent/JPH0314443U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003506706A (ja) * | 1999-08-06 | 2003-02-18 | セトラ システムズ インコーポレイテッド | カプセルに封入された共振部材を備えた容量性圧力センサー |
| JP2013533974A (ja) * | 2010-07-01 | 2013-08-29 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 静電容量センサの改善 |