JPH02128934U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02128934U JPH02128934U JP3766289U JP3766289U JPH02128934U JP H02128934 U JPH02128934 U JP H02128934U JP 3766289 U JP3766289 U JP 3766289U JP 3766289 U JP3766289 U JP 3766289U JP H02128934 U JPH02128934 U JP H02128934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- differential pressure
- main body
- measuring device
- pressure measuring
- peripheral portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図は第１図の製作説明図、第３図、第４図は
第１図の動作説明図、第５図は本考案の他の実施
例の要部構成説明図、第６図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図である。 １……ボデイ、２……差圧センサ、４……シー
ルリング、５……シール室、６……導圧孔、７…
…封入液、８……変換部、１１……シールダイア
フラム。
第２図は第１図の製作説明図、第３図、第４図は
第１図の動作説明図、第５図は本考案の他の実施
例の要部構成説明図、第６図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図である。 １……ボデイ、２……差圧センサ、４……シー
ルリング、５……シール室、６……導圧孔、７…
…封入液、８……変換部、１１……シールダイア
フラム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 本体ボデイに周辺部が固定された金属のシール
ダイアフラムを具備する差圧測定装置において、 前記本体ボデイに周辺部が取付けられたのち外
表面部分が所要薄板厚さに電解エツチングにより
仕上げ形成されたシールダイアフラムを具備した
ことを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3766289U JPH02128934U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3766289U JPH02128934U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02128934U true JPH02128934U (ja) | 1990-10-24 |
Family
ID=31544979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3766289U Pending JPH02128934U (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02128934U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5790126A (en) * | 1980-11-26 | 1982-06-04 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
| JPS60154575A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 半導体圧力検出素子の製造方法 |
| JPS6259827A (ja) * | 1985-09-07 | 1987-03-16 | ロ−ベルト・ボツシユ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 圧力センサ |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP3766289U patent/JPH02128934U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5790126A (en) * | 1980-11-26 | 1982-06-04 | Hitachi Ltd | Differential pressure transmitter |
| JPS60154575A (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-14 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 半導体圧力検出素子の製造方法 |
| JPS6259827A (ja) * | 1985-09-07 | 1987-03-16 | ロ−ベルト・ボツシユ・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 圧力センサ |