JPH03147343A - Ｉｃウエハの品種識別方法 - Google Patents
Ｉｃウエハの品種識別方法Info
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- JPH03147343A JPH03147343A JP28578289A JP28578289A JPH03147343A JP H03147343 A JPH03147343 A JP H03147343A JP 28578289 A JP28578289 A JP 28578289A JP 28578289 A JP28578289 A JP 28578289A JP H03147343 A JPH03147343 A JP H03147343A
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- Japan
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- wafer
- type
- chip
- probe card
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 33
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 14
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2831—Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、ＩＣ製造工程におけるウェハテストおよび
チップアセンブリの自動化に好適なＩＣウェハの品種識
別方法に関する。
チップアセンブリの自動化に好適なＩＣウェハの品種識
別方法に関する。
［従来の技術」
従来、ＩＣウェハの製造ラインでは、複数の品種のＩＣ
ウェハが１つのライン上を流れている。
ウェハが１つのライン上を流れている。
したがって、各々のＩＣウェハには、品種を識別するた
めに品種名を記入した工程チエツクシートが添付されて
いる。このようなＩＣウェハの製造ラインにおいて、Ｉ
Ｃウェハテスト工程では、作業者によって工程チエツク
シートが確認された後に、ウェハ品種毎にテストプログ
ラムが切り換えられている。また、チップアセンブリ工
程でも同様に作業者によって切り換えが行われている。
めに品種名を記入した工程チエツクシートが添付されて
いる。このようなＩＣウェハの製造ラインにおいて、Ｉ
Ｃウェハテスト工程では、作業者によって工程チエツク
シートが確認された後に、ウェハ品種毎にテストプログ
ラムが切り換えられている。また、チップアセンブリ工
程でも同様に作業者によって切り換えが行われている。
［発明が解決しようとする課題」
ところで、上述した従来のＩＣウェハの製造工程では、
特に、マスクＲＯＭや１チツプマイコン等の同一ハード
で異種ソフト（内部のＲＯＭのコードのみ異なる）を載
せる場合には、ＩＣウェハテスト工程やチップアセンブ
リ工程において、異種ウェハの混入がないように、作業
者による工程チエツクリストの確認が行われるが、これ
には細心の確認の注意が必要である。また、ウェハテス
ト工程やチップアセンブリ工程では、プログラムの切り
換え等も作業者によって行われているため、ＩＣウェハ
テスト工程およびチップアセンブリ工程の自動化が難し
いという問題が生じる。
特に、マスクＲＯＭや１チツプマイコン等の同一ハード
で異種ソフト（内部のＲＯＭのコードのみ異なる）を載
せる場合には、ＩＣウェハテスト工程やチップアセンブ
リ工程において、異種ウェハの混入がないように、作業
者による工程チエツクリストの確認が行われるが、これ
には細心の確認の注意が必要である。また、ウェハテス
ト工程やチップアセンブリ工程では、プログラムの切り
換え等も作業者によって行われているため、ＩＣウェハ
テスト工程およびチップアセンブリ工程の自動化が難し
いという問題が生じる。
この発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、ＩＣ
ウェハテスト工程の自動化およびチップアセンブリ工程
の自動化かでき、さらに、チップサイズの異なる異種ハ
ードのチップの生産にも対応できるＩＣウェハの品種識
別方法を提供することを［」的としている。
ウェハテスト工程の自動化およびチップアセンブリ工程
の自動化かでき、さらに、チップサイズの異なる異種ハ
ードのチップの生産にも対応できるＩＣウェハの品種識
別方法を提供することを［」的としている。
「課題を解決するための手段」
このような問題点を解決するために、この発明ではＩＣ
ウェハの不要な周辺領域に不良品識別マークとは補色の
関係にある色で品種識別マークを塗布し、前記不良品識
別マークと同一色の光学フィルタを通すことにより前記
品種識別マークのみを検出し、品種を識別することを特
徴とする。
ウェハの不要な周辺領域に不良品識別マークとは補色の
関係にある色で品種識別マークを塗布し、前記不良品識
別マークと同一色の光学フィルタを通すことにより前記
品種識別マークのみを検出し、品種を識別することを特
徴とする。
「作用Ｊ
まず、ＩＣウェハの不要な周辺領域に不良品識別マーク
とは補色の関係にある色で品種識別マークを予め塗布す
る。そして、品種識別を必要とする工程において、前記
不良品識別マークと同一色の光学フィルタを通すことに
より前記品種識別マークのみを検出して品種を識別する
。
とは補色の関係にある色で品種識別マークを予め塗布す
る。そして、品種識別を必要とする工程において、前記
不良品識別マークと同一色の光学フィルタを通すことに
より前記品種識別マークのみを検出して品種を識別する
。
Ｕ実施例」
次に図面を参照してこの発明の実施例について説明する
。
。
図はこの発明の一実施例の概念図である。この図におい
て、１はウェハであり、ＩＣチップ２゜２、・・・・・
・が形成されている。３．３．・・・・・・はスクライ
ブラインであり、ＩＣチップ２．２．・・・・・を切り
出ずための切り欠き線である。４はファセットであり、
ウェハ１の結晶方向を示す切り欠きである。
て、１はウェハであり、ＩＣチップ２゜２、・・・・・
・が形成されている。３．３．・・・・・・はスクライ
ブラインであり、ＩＣチップ２．２．・・・・・を切り
出ずための切り欠き線である。４はファセットであり、
ウェハ１の結晶方向を示す切り欠きである。
５は不良チップ識別マークであり、ＩＣウェハテスト時
に不良チップに対して赤色の塗料が塗布される。この例
の場合、不良デツプ識別マーク５は「○」で表す。次に
、６は品種識別マーク、７はプローブカード識別マーク
、８はパッケージ識別マークである。この例の場合、品
種識別マーク６、プローブカード識別マーク７およびパ
ッケージ識別マーク８は［・Ｊで表し、緑色の塗料が塗
布される。これら品種識別マーク６、プローブカード識
別マーク７およびパッケージ識別マーク８は、この例の
場合、最大４個のマークを用いて表示している。また、
品種識別マーク６、プローブカード識別マーク７および
パッケージ識別マーク８と不良デツプ識別マーク６とは
補色の関係にある色を用いている。次に、矢印Ａは各種
マークの読み取り方向である。
に不良チップに対して赤色の塗料が塗布される。この例
の場合、不良デツプ識別マーク５は「○」で表す。次に
、６は品種識別マーク、７はプローブカード識別マーク
、８はパッケージ識別マークである。この例の場合、品
種識別マーク６、プローブカード識別マーク７およびパ
ッケージ識別マーク８は［・Ｊで表し、緑色の塗料が塗
布される。これら品種識別マーク６、プローブカード識
別マーク７およびパッケージ識別マーク８は、この例の
場合、最大４個のマークを用いて表示している。また、
品種識別マーク６、プローブカード識別マーク７および
パッケージ識別マーク８と不良デツプ識別マーク６とは
補色の関係にある色を用いている。次に、矢印Ａは各種
マークの読み取り方向である。
次に、上述した品種識別マーク６を例にマークと品種と
の対応について説明する。品種識別マーク６には、上述
したように４個のマークが用いられており、このマーク
の有無を２進数の１．０に対応さけると、２’＝１６通
りの組合せができる。
の対応について説明する。品種識別マーク６には、上述
したように４個のマークが用いられており、このマーク
の有無を２進数の１．０に対応さけると、２’＝１６通
りの組合せができる。
この１６通りの組合せを次の表に示す。
このように、何もマークがない場合には、品種ｒＹＭ７
４００Ｊに対応し、図に示す品種識別マーク６が手前に
１つの場合には、品種ｒＹＭ７４０１」に対応する。
また、ＩＣウェハ上のファセットの位置を基準として、
プローブカード識別マーク７およびパッケージ識別マー
ク８も同様にそれぞれプローブカード、パッケージに対
応させる。
４００Ｊに対応し、図に示す品種識別マーク６が手前に
１つの場合には、品種ｒＹＭ７４０１」に対応する。
また、ＩＣウェハ上のファセットの位置を基準として、
プローブカード識別マーク７およびパッケージ識別マー
ク８も同様にそれぞれプローブカード、パッケージに対
応させる。
次に、上述した各種マークを用いた品種識別方法につい
て説明する。
て説明する。
まＶ、マーク読み取りは、ＩＣウェハテスト工程におい
て行われる。このＩＣウェハテスト工程では、品種識別
マーク６およびプローブカード識別マーク７を読み取る
。この読み取りは、Ｃ０Ｄ（電荷結合素子）ラインセン
サを用いてチップのコントラストを検出することによっ
て行われる。
て行われる。このＩＣウェハテスト工程では、品種識別
マーク６およびプローブカード識別マーク７を読み取る
。この読み取りは、Ｃ０Ｄ（電荷結合素子）ラインセン
サを用いてチップのコントラストを検出することによっ
て行われる。
そして、各々の品種識別マーク６およびプローブカード
識別マーク７に従い、テストプログラムとプローブカー
ドとが自動的に選択されてＩＣウェハテストが行われる
。ＩＣウェハテスト終了後、ウェハは、チップアセンブ
リ工程に送られる。そして、デツプアセンブリ時には、
赤色光学フィルタを通ずことによって、不良チップ識別
マーク５と補色の関係にある品種マーク６およびパッケ
ージ識別マーク７のみが検出される。そして、検出さ第
１た品種識別マーク６およびパッケージ識別マーク７に
従い、各々、パッケージフレームとパッケージに印字す
る品番とが自動的に選択されてアセンブリが行われる。
識別マーク７に従い、テストプログラムとプローブカー
ドとが自動的に選択されてＩＣウェハテストが行われる
。ＩＣウェハテスト終了後、ウェハは、チップアセンブ
リ工程に送られる。そして、デツプアセンブリ時には、
赤色光学フィルタを通ずことによって、不良チップ識別
マーク５と補色の関係にある品種マーク６およびパッケ
ージ識別マーク７のみが検出される。そして、検出さ第
１た品種識別マーク６およびパッケージ識別マーク７に
従い、各々、パッケージフレームとパッケージに印字す
る品番とが自動的に選択されてアセンブリが行われる。
［発明の効果−１
以上説明したように、この発明によれば、ＩＣウェハ」
−の不要領域に、不良チップ識別マークとは補色の関係
にある色で品種識別マークを塗布し、各工程において、
この識別マークを必要に応じて読み取るようにしたため
、多品種生産で人手のかかるＥＣウェハテスト工程の自
動化およびチップアセンブリ工程の自動化ができ、さら
に、チップサイズが異なる異種ハードのチップの生産に
も対応できる利点が得られる。
−の不要領域に、不良チップ識別マークとは補色の関係
にある色で品種識別マークを塗布し、各工程において、
この識別マークを必要に応じて読み取るようにしたため
、多品種生産で人手のかかるＥＣウェハテスト工程の自
動化およびチップアセンブリ工程の自動化ができ、さら
に、チップサイズが異なる異種ハードのチップの生産に
も対応できる利点が得られる。
図はこの発明の一実施例の
Ｃウェハの概念図
である。
！・・・・・・ＩＣウェハ、５・・・・・・不良チップ
識別マーク（不良品識別マーク）、６・・・・・・品種
識別マーク。
識別マーク（不良品識別マーク）、６・・・・・・品種
識別マーク。
Claims (1)
- ＩＣウェハの不要な周辺領域に不良品識別マークとは
補色の関係にある色で品種識別マークを塗布し、前記不
良品識別マークと同一色の光学フィルタを通すことによ
り前記品種識別マークのみを検出し、品種を識別するこ
とを特徴とするＩＣウェハの品種識別方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28578289A JPH03147343A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | Ｉｃウエハの品種識別方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28578289A JPH03147343A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | Ｉｃウエハの品種識別方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03147343A true JPH03147343A (ja) | 1991-06-24 |
Family
ID=17695999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28578289A Pending JPH03147343A (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 | Ｉｃウエハの品種識別方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03147343A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100595139B1 (ko) * | 2004-12-31 | 2006-06-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 프루브 카드의 아이디 인식 장치 및 그 인식 방법 |
-
1989
- 1989-11-01 JP JP28578289A patent/JPH03147343A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100595139B1 (ko) * | 2004-12-31 | 2006-06-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 프루브 카드의 아이디 인식 장치 및 그 인식 방법 |
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