JPH0366144A - ウエハーテストカテゴリー集計装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はウェハーテスト工程の各種データのカテゴリ
ー集計装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のウェハーテスト工程のカテゴリー集計装
置の位置付けを示した説明図である１１図に会いて、ウ
ェハーテストカテゴリー集計装置０υはクエハープロー
ビング装置（１４］内のデータ集計ブロック（１５１か
らデーターを集め、それを処理してＣＲＴ（１８１上又
はプリンター（１９に出力するものである。。

次に動作について説明する。クエハーテストカテコリー
集計装置αυはテスター（Ｌカでウェハーブロービング
装置１４１上のウェハー（１３１をウェハーテストし、
そのテスト結果（以下カテゴリーと呼ぶ）及びウェハー
（８）上のチップ位置を、クエハープロビング装置（１
４１内のデータ集計ブロック（１５１よりデーターを受
け、０ＲＴ（１８１又はプリンター〇にカテゴリー内容
又はウェハー（１３Ｉ上の不良チップ位置（以下ウェハ
ーマツプと呼ぶ）を出力する。

従来のウェハーテストカテゴリー集計装置のデータ出力
結果を第３図に示す。

１工程目クエハーテスト後の＼ウェハ（１）の様に不良
箇所にインク等でマーク（２）を付ける１、このデータ
ーをウェハーテストカテゴリー集計装置が集計しウェハ
ーマツプ（８）と、カテゴリーシート（４）をプリンタ
ー（９）又はＣＲＴ　（８）に表示する。ウェハーマツ
プ（８）にはウェハー上のどのチップがどの様な不良で
あるか認識できる様に不良カテゴリーを数字で表示し、
カテゴリーシート（４）には対象ウェハ中にカテゴリー
別に何個不良があったかを表示している。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハーテストカテゴリー集計装置は以上のよう
に構成されていたので、ウェハ−テスト工程が２工程以
上ある場合、その集計には個々のコードで出力されたウ
ェハーマツプとカテゴリーシートラ見比べる必要が有り
、最終ウエノ＼−歩留９は実際のウェハーの不良マーク
を数えて、不良数、良品数の確認が必要であり、全体の
不良数を把握しにくいという問題があった。

この発明は上記のような問題を解消するためになされた
もので、個々のウェハーテストコードの集計結果を出力
できるとともに、全コードテスト後のトータル的な結果
をまとめてウェハーマツプ、カテゴリーシートを出力で
きるウェハーテストカテゴリー集計装置を得ることを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るウェハーテストカテゴリー集計装置は、
個々のウェハーテスト工程の結果を保持し、そのデータ
ーを重ね合せて最終テストデーターを作成するとともに
、そのデーターにより最終ウェハーマツプ及びカテゴリ
ーを出力できる様にしたものである。

〔作用〕

この発明におけるウェハーテストカテゴリー集計装置は
出力された最終ウェハーマツプ及びカテゴリーシートに
より最終良品数の把握が容易になり、ウニバー上の不良
位置や不良内容による不良解析が容易に実現できる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図において、（１）は１工程目のウェハーであり、
その結果を集計したものがウェハーマツプ（５）、及び
カテゴリーシート（７）である。また同ウェハー（１）
を２工程目でウェハーテストを実施したものが２工程目
終了ウエハー（２）である。その２工程目のみの結果を
集計したものが、ウェハーマツプ（６）及びカテゴリー
シート（８）である。最終ウェハーテスト工程（以下説
明は２工程までとする１、）を終えた結果を集計したも
のがクエノ＼−マツプ（９）、及びカテゴリーシートα
０）である。

次に動作について説明する。

第１クエハーテスト工程を終了したクエノ＼−（１）に
は不良箇所に不良マーク（８）が打込まれる。この結果
はウェハーテストカテゴリー集計装置に第２図の様な構
成で伝達され集積てれる。又、このウェハーテストカテ
ゴリー集計装置により、その結果を第１クエハー工程目
の″ウェハーマツプ（５）及びカテゴリーシート（γ）
として出力てれる。

次に同一ウェハーを第２ウエノ＼−テスト工程に投入し
、終了後のウニ／Ｘ−（２）には第１ウニ／Ｘ−テスト
工程と第２ウエハーテスト工程の不良箇所に不良マーク
が付いている。（第１図中には第２工程目の不良マーク
（４）として区別されている。）その結果は第２クエハ
ー工程のみのウェハ−マツプ（６）及びカテゴリーシー
ト（８）として出力される。

しかし、第２工程目の不良中に第１工程目の不良が全て
含まれるとは限らない為、これら複数テスト工程のテス
ト結果をウェハーテストカテゴリー集計装置内に、−旦
保持し、個々のテスト工程の結果を重ね合セる機能を有
するようにしたが本発明のウェハーテストカテゴリー集
計装置である。

このウェハーテストカテゴリー装置により最終ウェハー
テスト終了後のウェハーマツプ（９）とカテゴリーシー
トαＯ）が出力される。

なか、上記実施例では複数あるウェハーテスト工程の最
終結果をウェハーマツプ及びカテゴリーシートに出力す
る機能を設けたウェハーテストカテゴリー集計装置につ
いて示したが、仮に１〜１０工程のウェハーテスト工程
がある場合、最終結果のみでなく個々のウェハーテスト
工程の出力又は２工程目と５工程目を重ね合せたものを
出力するといった機能を設けてもよい。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、最終ウニ／Ｘ−テスト
工程終了後の良品数、不良品数の把握が従来はウェハー
を目視によって検数していたがそれが不要となり、又不
良解析データとしても容易に出力され、活用ができると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例であるウニ／Ｘ−テストカ
テゴリー集計装置の集計結果を示す説明図、第２図はウ
ェハーテスト工程にかけるカテゴリー集計装置の位置付
けを示した説明図、第３図は従来のウェハーテストカテ
ゴリー集計結果を示す説明図である。 図において、（１）は１工程終了ウニ／）−１（２）は
２工程終了ウエハー、（８）は１工程目不良マーク、（
４）は２工程目の不良マーク、（５）は１工程目ウエノ
＼−マツプ、（６）は２工程目ウエハーマツプ、（ア）
は１工程目カテコ゛リーシー十、（８）は２工程目カテ
コ゛リーシ−）　、（９）は最終ウェハーマツプ、叫は
最終カテゴリーシートを示す。 なお、図中、同一符号は同一　または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ２工程以上の工程を有するウェハーテスト工程において
   、そのウェハーテストのデータの集計を、１工程づつの
   データを保持し、最終的に全工程を重ね合せた集計結果
   を出力できることを特徴とするウェハーテストカテゴリ
   ー集計装置。