JPH031478Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、ガラス、石英、結晶素材などの基板
又はこれら基板に薄膜を被覆した膜付き基板（以
下、本考案において単に「基板」という。）の洗
浄液による浸漬処理や、各種製造工程間の移動、
保管を行う際に使用される基板収容装置に関す
る。

この基板収容装置は、特に半導体製造用基板、
すなわち透明導電膜、クロム膜、反射防止膜など
をガラス基板上に被覆させたフオトマスブランク
スや、このブランク上のクロム膜などにミクロン
オーダーの微細なパターンを形成したフオトマス
クにあつては、無塵室や感光防止のの暗室で取扱
われる。

従来の基板収容装置は、その本体となる収容箱
１０が第１図に示されるように複数の基板１を収
容するるものであるが、上下面を開口にした枠対
２の上方から下方に向かつて、一対の内側面に互
いに対向するように凸部３と凹部４とからなる複
数の溝５が配列形成され、複数の基板１が、対向
する溝５に一枚づつ互いに所定の間隔をおいて収
容される。そして、複数の基板１は、その下方端
面６が枠体２の端面保持部７と当接して保持され
る。

この端面保持部は７は溝５の下方端部に形成さ
れているが、７′で示すように複数の基板１の配
列方向にあつて、その下方端面６の中間部分と当
接するように枠体１の開口底部に形成してもよ
い。なお、枠体１の開口部８は、基板１を収容す
る口であると共に、溝５の凹部４に対向するよう
に形した側面孔９と併せて、洗浄液の浸漬処理を
行う際に、液の循環を良くするための流通孔とし
て作用する。

しかしながら、複数の基板１は、１枚目の収容
時には他の基板１と当接することはあり得ない
が、２枚目以降の収容時には、次に収容する基板
１の下方端面６が先に収容済の基板１の上方端面
やその周辺表面と互いに当接しがちである。この
ような当接は、収容済の基板１の上方端面とその
周辺部分が枠体２の開口部８の上方端面から突出
していることから発生するる現象であるが、この
突出は、後で各基板１を収容箱１０から取り出す
ために必要である。

したがつて、従来の基板収容装置によれば、複
数の基板１の収容時において先の収容済の基板１
と当接し、しかも、この基板の材質がガラスなど
の脆弱性であることから、その当接個所がキズを
付けたり、破損するという欠点があつた。また破
損時に発生する破片も無塵室で取扱つている関係
で無視できなに欠点があつた。

本考案の目的は、収容時における基板１のキ
ズ、破損を防止し、かつその収容作業を容易にし
た基板収容装置を提供するることである。以下、
本考案を実施例図面を参照して詳細に説明する。

第２図は本考案による実施例の基板収容装置１
１を示す斜視図であり、第３図は本例において使
用する補助収容具１２を示し、同図ａ，ｂ及びｃ
はそれぞれ平面図、Ｘ−Ｘ断面図及びＹ−Ｙ断面
図であり、並びに第４図は本例の横断面図であ
る。

なお、第１図に示した符号と同一符号は相互に
同一の構成部分を示し、本例の収容箱１０は第１
図に示したものと同一であるので、その説明を省
略する。

本例の基板収容装置１１は、複数の基板１と補
助収容具１２と収容箱１０とからなり、基板１と
してはクロム膜付きガラス基板を使用し、収容箱
１０と補助収容具１２にはそれぞれABC樹脂、
ポリエチレン、ポリカーボネート又はポリアミド
などを素材にして成形加工されている。

本考案の特徴の一つである補助収容具１２は、
上下面を開口にした枠体１３であつて、上方から
下方に向かつて一対の内側面に互いに対向する凸
部１４と凹部１５とからなる溝１６を、収容箱１
０に形成した凸部３と凹部４とからなる溝５とそ
れぞれ同様に配列形成している。そして、この補
助収容具１２は、溝１６を形成した一対の内側面
を含む両側面においてその上方端面から下方端面
の中間に位置する下方端面までにそれぞれ開口側
部１７，１７を形成している。

次に、このような補助収容具１２を収容箱１０
の上方端面に載置するが、、その際の両者の位置
合わせは、両者の溝５，１６を構成する凸部３，
１４及び凹部４，１５をそれぞれ合わせるか、又
は１枚目の基板１を収容箱１０の溝５に収容した
後、その収容済の基板１の上方部分（収容箱１０
からの突出部分）を補助収容具１２の該当箇所の
溝１６に収容して強制的に合わせることにより行
われる。

そして、複数の基板１は、補助収容具１２の複
数の溝１６の該当箇所を順次通して、収容箱１０
の複数の溝５に順次収容される。その際、収容済
の基板１の上方部分は、補助収容具１２に完全に
収容されていることから、次に収容する基板とは
当接しない。この基板１の上方部分は、本例では
補助収容具１２の溝１６内で収容されて、その横
揺れを防止しているが、収容後には収容箱１０の
溝５で基板１の主要表面を配列保持しているの
で、この溝１６より下方。すなわち開口側部１７
に対面する空間内に収容されてもよい。

本例のように補助収容具１２に開口側部１７を
形成した場合、その開口側部１７を設けないで、
溝１６が下方端面まで形成されている場合と比較
して、収容箱１０の溝５の上方端面と補助収容具
１２の溝１６の下方端面との間に所定の距離（本
例：10mm）を設けていることになり、、基板１の
収容作業は、相互の溝５，１６の加工精度が所定
通りであるときは一層容易になり、多少低下して
いるときでも容易にある利点がある。

このような基板収容装置１１は、基板出荷時に
おいて気密性の外箱内に収容されるが、その際、
補助収容具１２をそのまま使用するか、又はそれ
を取り外してもよい。

以上の通り本考案によれば、複数の基板を相互
接触することなく、かつ容易に収容することがで
きるので、例えば半導体製造用のフオトマスクブ
ランクスやフオトマスクに対してキズ又は破片を
排除する必要がある基板収容装置において、その
価値は絶大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の基板収容装置を示す斜視図、第
２図は本考案による実施例の基板収容装置を示す
斜視図、第３図は本例の補助収容具を示し、同図
ａは平面図、同図ｂはＸ−Ｘ断面図及び同図ｃは
Ｙ−Ｙ断面図、並びに第４図は本例の横断面図で
ある。 １…基板、２…収容箱の枠体、３…収容箱の凸
部、４…収容箱の凹部、５…収容箱の溝、６…基
板の下方端面、７，７′…枠体の端面保持部、８
…枠体の開口部、１０…収容箱、１１…基板収容
装置、１２…補助収容具、１３…補助収容具の枠
体、１４…補助収容具の凸部、１５…補助収容具
の凹部、１６…補助収容具の溝、１７…補助収容
具の開口側部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数の基板と、上下面を開口にした枠体であ
   つて、上方から下方に向かつて配列した、一対
   の内側面に互いに対向する複数の溝を具備した
   補助収容具と、前記補助収容具の複数の溝と同
   様に配列した複数の溝と前記基板の下方端面を
   当接して保持する端面保持部とを具備した収容
   箱とからなり、前記基板は、前記補助収容具の
   複数の溝を通して前記収容箱の複数の溝に収容
   されると共に、前記複数の基板の上方部分が前
   記補助収容具に収容されていることを特徴とす
   る基板収容装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項記載におい
   て、前記補助収容具の複数の溝を設けた両側面
   の中間部から下方端面までにそれぞれ開口側部
   を設けていることを特徴とする基板収容装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第１項又は第２項記
   載において、前記複数の基板の上方部分が前記
   補助収容具の複数の溝に収容されていることを
   特徴とする基板収容装置。 (4) 実用新案登録請求の範囲第２項記載におい
   て、前記複数の基板の上方部分は前記補助収容
   具の開口側部に対面する空間内に収容されてい
   ることを特徴とする基板収容装置。