JPH03148045A - 顕微分光測定装置 - Google Patents
顕微分光測定装置Info
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- JPH03148045A JPH03148045A JP1286893A JP28689389A JPH03148045A JP H03148045 A JPH03148045 A JP H03148045A JP 1286893 A JP1286893 A JP 1286893A JP 28689389 A JP28689389 A JP 28689389A JP H03148045 A JPH03148045 A JP H03148045A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 38
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 238000001634 microspectroscopy Methods 0.000 claims description 9
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004971 IR microspectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、顕微分光測定装置の改良に関する。
第４図は、従来の一般的な顕微分光測定装置を示し、光
源１からの光を試料２に照射し、その透過光を対物レン
ズ３で集光し、像面４に拡大像を形成する。更に、この
像面４からの光をリレーレンズ５を介して拡大結像させ
、その後、接眼レンズ６により像面４を観察する。
源１からの光を試料２に照射し、その透過光を対物レン
ズ３で集光し、像面４に拡大像を形成する。更に、この
像面４からの光をリレーレンズ５を介して拡大結像させ
、その後、接眼レンズ６により像面４を観察する。
一方、分光測定を行う場合には、光路切換え用ミラー７
を像面４とリレーレンズ５との間に介装することにより
分光測定系８に光を導き、この分光測定系８及び表示装
置９により分光スペクトルを得て、解析を行う。
を像面４とリレーレンズ５との間に介装することにより
分光測定系８に光を導き、この分光測定系８及び表示装
置９により分光スペクトルを得て、解析を行う。
しかしながら、例えば第５図（ａ）に示すような試料２
中の測定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定したい
場合でも、試料２全体が測定対象となるため、物質Ａ、
Ｂ、Ｃの混合スペクトルしか得られず、目的とする物質
Ａのみの分光スペクトルを得ることができない。
中の測定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定したい
場合でも、試料２全体が測定対象となるため、物質Ａ、
Ｂ、Ｃの混合スペクトルしか得られず、目的とする物質
Ａのみの分光スペクトルを得ることができない。
そこで、この問題を解決するために、第４図に示すよう
に、像面４に測定対象以外からの光束を遮蔽するマスク
１０．１１を設置し、測定対象物質の光束のみを分光し
て、その分光スペクトルを得るのである。
に、像面４に測定対象以外からの光束を遮蔽するマスク
１０．１１を設置し、測定対象物質の光束のみを分光し
て、その分光スペクトルを得るのである。
つまり、第５図（ｂ）に示すように、像面４に、各辺が
ナイフェツジに形成され、且つスリット長を任意に変更
できる長方形のスリットからなる遮蔽マスク１０．１１
を設置し、測定対象物質Ａ以外の物質Ｂ、Ｃからの光束
を遮蔽し、且つ物質Ａからの光束が最大限に得られるよ
うにスリット長を可変させ、測定を行う。
ナイフェツジに形成され、且つスリット長を任意に変更
できる長方形のスリットからなる遮蔽マスク１０．１１
を設置し、測定対象物質Ａ以外の物質Ｂ、Ｃからの光束
を遮蔽し、且つ物質Ａからの光束が最大限に得られるよ
うにスリット長を可変させ、測定を行う。
〔発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記方法で測定対象を限定すると、第５
図（ｃ）に示すように、遮蔽マスク１０．１１を通して
観測されるのは物質Ａのみであり、他の物質Ｂ、Ｃは遮
蔽されているために試料２の保全体における物質Ａの位
置関係を目視観察により再確認することができない。ま
して、測定対象が微小になるほど、あるいは測定物質の
全体像が半導体チップや生体細胞組織のように複雑であ
るほど測定対象の位置関係を把握することが非常に重要
であるにも拘わらず、遮蔽マスク１０．１１を通しては
非常に困難である。
図（ｃ）に示すように、遮蔽マスク１０．１１を通して
観測されるのは物質Ａのみであり、他の物質Ｂ、Ｃは遮
蔽されているために試料２の保全体における物質Ａの位
置関係を目視観察により再確認することができない。ま
して、測定対象が微小になるほど、あるいは測定物質の
全体像が半導体チップや生体細胞組織のように複雑であ
るほど測定対象の位置関係を把握することが非常に重要
であるにも拘わらず、遮蔽マスク１０．１１を通しては
非常に困難である。
そこで、測定対象物質の位置関係を再確認するためには
、遮蔽マスク１０．１１を一旦取り除くか、あるいはス
リットを移動させなければならない。
、遮蔽マスク１０．１１を一旦取り除くか、あるいはス
リットを移動させなければならない。
そのため再測定するためには、遮蔽マスク１０．１１の
位置、スリット長を高精度に再現するのが非常に困難で
あり、延いては測定精度の低下を招くものである。
位置、スリット長を高精度に再現するのが非常に困難で
あり、延いては測定精度の低下を招くものである。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、遮蔽マスクを移動させることなく
測定対象物の位置確認が行え、測定に要する時間を大幅
に短縮でき、且つ高精度な測定を可能とする顕微分光測
定装置を提供することにある。
目的とするところは、遮蔽マスクを移動させることなく
測定対象物の位置確認が行え、測定に要する時間を大幅
に短縮でき、且つ高精度な測定を可能とする顕微分光測
定装置を提供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る顕微分光測定
装置は、対物レンズの後方にビームスプリッタを設けて
、二つの分岐光路を形成し、一方の分岐光路にのみ像点
に所定のマスクを設けると共に、前記両分岐光路におけ
る夫々の像点より後方において、二つの分岐光路におけ
る光を再結合して、夫々の像点における結合像を合成し
て成る像を観察できるように構成した点に特徴がある。
装置は、対物レンズの後方にビームスプリッタを設けて
、二つの分岐光路を形成し、一方の分岐光路にのみ像点
に所定のマスクを設けると共に、前記両分岐光路におけ
る夫々の像点より後方において、二つの分岐光路におけ
る光を再結合して、夫々の像点における結合像を合成し
て成る像を観察できるように構成した点に特徴がある。
上記特徴構成によれば、試料からの光束をビームスプリ
ッタによって二分岐し、一方の分岐光路にのみ像点に遮
蔽マスクを設けて、その後方で再び両分岐光路の光を結
合するだけで、遮蔽マスクを移動させることなく試料全
体における測定対象部位の位置関係が明確となり、その
後、測定に必要な測定対象部位からの光を分光測定系に
導入して分析を行えばよく、従来のものと比べて飛躍的
な測定時間の短縮及び測定精度の向上が可能となる。
ッタによって二分岐し、一方の分岐光路にのみ像点に遮
蔽マスクを設けて、その後方で再び両分岐光路の光を結
合するだけで、遮蔽マスクを移動させることなく試料全
体における測定対象部位の位置関係が明確となり、その
後、測定に必要な測定対象部位からの光を分光測定系に
導入して分析を行えばよく、従来のものと比べて飛躍的
な測定時間の短縮及び測定精度の向上が可能となる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図及び第２図は、本発明に係る顕微分光測定装置の
一構成例を示し、これらの図において第４図及び第５図
に示す符号と同一のものは同一物または相当物を示す。
一構成例を示し、これらの図において第４図及び第５図
に示す符号と同一のものは同一物または相当物を示す。
まず、光源１からの光（ここでは光源に可視光を用いる
。）を試料２に照射する。試料２から透過した光または
照射光によって励起された螢光や燐光などの光は、対物
レンズ３を介してビームスプリッタ１２により、二つの
分岐光路ａ、ｂを通る光に分割される。光路ａを通る光
は、ミラー１３により反射され、対物レンズ３の像点４
ａで結像する。
。）を試料２に照射する。試料２から透過した光または
照射光によって励起された螢光や燐光などの光は、対物
レンズ３を介してビームスプリッタ１２により、二つの
分岐光路ａ、ｂを通る光に分割される。光路ａを通る光
は、ミラー１３により反射され、対物レンズ３の像点４
ａで結像する。
この像点４ａに、測定対象以外からの光を遮蔽する例え
ば、各辺がナイフェツジに形成され、且つスリット長を
任意に変更できる長方形のスリットから成る遮蔽マスク
１０．１１を設置し、試料２中の測定対象物からの光の
みが遮蔽マスク１０．１１を通過するように設定する（
第５図（ｂ） 、（ｃ）参照）。
ば、各辺がナイフェツジに形成され、且つスリット長を
任意に変更できる長方形のスリットから成る遮蔽マスク
１０．１１を設置し、試料２中の測定対象物からの光の
みが遮蔽マスク１０．１１を通過するように設定する（
第５図（ｂ） 、（ｃ）参照）。
なお、遮蔽する手段として他に、円形のピンホールを用
いてもよい。
いてもよい。
一方、ビームスプリッタ１２で分岐された他方の光路す
を通る光は、ミラー１４．１５を経て、光路ａと同様に
対物レンズ３の像点４ｂで結像する。なお、この像点４
ｂには前記遮蔽マスク１０．１１等のものは一切設置し
ない。
を通る光は、ミラー１４．１５を経て、光路ａと同様に
対物レンズ３の像点４ｂで結像する。なお、この像点４
ｂには前記遮蔽マスク１０．１１等のものは一切設置し
ない。
その後、光路ａの像点４ａに設置された遮蔽マスり１０
．１１を通過した光は、ミラー１６．１７で反射され、
また、光路すの像点４ｂを通過した光は、ミラー１８で
反射され、上記夫々の光はビームミキサ１９へ入射し、
リレーレンズ５を介してミラー２０．２１で反射された
後、像点４ａでの像と像点４ｂでの像の合成像として像
点４ａｂに結像する。
．１１を通過した光は、ミラー１６．１７で反射され、
また、光路すの像点４ｂを通過した光は、ミラー１８で
反射され、上記夫々の光はビームミキサ１９へ入射し、
リレーレンズ５を介してミラー２０．２１で反射された
後、像点４ａでの像と像点４ｂでの像の合成像として像
点４ａｂに結像する。
従って、この像点４ａｂを、接眼レンズ６を通して観察
する場合、遮蔽マスク１０．１１により遮蔽されていな
い測定対象部位は、遮蔽マスク１０．１１により遮蔽さ
れた部位に比べて、像点４ａと像点４ｂの像が合成され
るため輝度が高くなり、試料２における遮蔽マスク１０
．１１の設定位置を確認できる。
する場合、遮蔽マスク１０．１１により遮蔽されていな
い測定対象部位は、遮蔽マスク１０．１１により遮蔽さ
れた部位に比べて、像点４ａと像点４ｂの像が合成され
るため輝度が高くなり、試料２における遮蔽マスク１０
．１１の設定位置を確認できる。
しかも、測定対象以外の像も確認できるため、試料２中
における測定対象部位の位置関係が明確となる。
における測定対象部位の位置関係が明確となる。
さらに測定対象部位を明確にするため、ビームスプリッ
タ１２で二分岐した光路ａ、ｂ中に分光特性の異なる色
フィルタ等を夫々挿入することにより、遮蔽された部位
とされていない部位の色彩が異なり、その違いがより明
確となる。
タ１２で二分岐した光路ａ、ｂ中に分光特性の異なる色
フィルタ等を夫々挿入することにより、遮蔽された部位
とされていない部位の色彩が異なり、その違いがより明
確となる。
上記方法により測定対象部位の位置を確認した後、赤外
光を用いて測定対象部位の分光特性や強度を測定するに
は第２図に示すように、ビームスプリッタ１２の代わり
に全反射ミラー２２を設置する。
光を用いて測定対象部位の分光特性や強度を測定するに
は第２図に示すように、ビームスプリッタ１２の代わり
に全反射ミラー２２を設置する。
すなわち、光源１から発した赤外光を試料２に照射し、
その透過光を対物レンズ３を介して全反射ミラー２２に
より光路ａに反射させ、対物レンズ３の像点４ａで結像
する。（なお、この赤外光は三光束干渉分光器で波長ご
とにエネルギー強度変調を受けた光束であっても、非変
調の光束であってもよい。） 像点４ａには、予め可視光を用いて測定対象部位の光束
のみを透過させるように遮蔽マスク１０．１１を設けで
あるため、測定対象以外からの赤外光は遮蔽される。次
に、像点４ａより後方に全反射ミラー２３を設けるか、
あるいは第１図におけるミラー１６を取り除くかして、
測定対象部位からの赤外光を分光測定系８に導入する。
その透過光を対物レンズ３を介して全反射ミラー２２に
より光路ａに反射させ、対物レンズ３の像点４ａで結像
する。（なお、この赤外光は三光束干渉分光器で波長ご
とにエネルギー強度変調を受けた光束であっても、非変
調の光束であってもよい。） 像点４ａには、予め可視光を用いて測定対象部位の光束
のみを透過させるように遮蔽マスク１０．１１を設けで
あるため、測定対象以外からの赤外光は遮蔽される。次
に、像点４ａより後方に全反射ミラー２３を設けるか、
あるいは第１図におけるミラー１６を取り除くかして、
測定対象部位からの赤外光を分光測定系８に導入する。
このとき、試料２に照射された赤外光が非変調の場合に
は、分光測定系８内の分光器により分光スペクトルを得
て、表示装置９により分光スペクトルを表示する。また
、赤外光が三光束干渉分光器によって波長毎に周波数の
異なるエネルギー変調を受けているときは、測定対象部
位からの赤外光を直接検出器で検出し、周波数分析する
ことによって分光スペクトルを得る。
は、分光測定系８内の分光器により分光スペクトルを得
て、表示装置９により分光スペクトルを表示する。また
、赤外光が三光束干渉分光器によって波長毎に周波数の
異なるエネルギー変調を受けているときは、測定対象部
位からの赤外光を直接検出器で検出し、周波数分析する
ことによって分光スペクトルを得る。
第３図は、本発明の別実施例を示し、測定に用いる光源
１が可視光の場合であり、第１図と同様の光学配置にお
いて、光路ａの像点４ａとミラー１６との間にビームス
プリッタ２４を設けるだけで測定対象部位からの光を分
光測定系８に導入し、分光スペクトルを得る。なお、可
視光の場合においても、前記赤外光と同様に、光束が変
調、非変調のどちらを用いてもよい。
１が可視光の場合であり、第１図と同様の光学配置にお
いて、光路ａの像点４ａとミラー１６との間にビームス
プリッタ２４を設けるだけで測定対象部位からの光を分
光測定系８に導入し、分光スペクトルを得る。なお、可
視光の場合においても、前記赤外光と同様に、光束が変
調、非変調のどちらを用いてもよい。
なお、可視光による測定対象部位からの螢光あるいは燐
光の測定には、上記光学系が適用できるが、光源１には
強度が一定の光束を用いる。
光の測定には、上記光学系が適用できるが、光源１には
強度が一定の光束を用いる。
上述の実施例では透過式の顕微分光測定装置について説
明したが、本発明は反射式の顕微分光測定装置にも適用
できるのは云うまでもない。
明したが、本発明は反射式の顕微分光測定装置にも適用
できるのは云うまでもない。
以上説明したように、本発明によれば、遮蔽マスクを移
動させることなく試料における測定対象部位の位置確認
ができるため、測定に要する時間を短縮でき、延いては
非常に高精度な測定が行えるようになったのである。
動させることなく試料における測定対象部位の位置確認
ができるため、測定に要する時間を短縮でき、延いては
非常に高精度な測定が行えるようになったのである。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は
測定対象部位の位置確認用光学配置図、第２図は赤外光
顕微分光測定用光学配置図である。 第３図は本発明の別実施例を示す可視光顕微分光測定用
光学配置図である。 第４図及び第５図は従来例を示し、第４図は従来の顕微
分光測定装置の構成図、第５図は遮蔽マスクによる非測
定対象部位の遮蔽方法を説明するための平面図である。 ｌ−・光源、２−試料、３一対物レンズ、１０．１１−
遮蔽マスク、１２−ビームスプリッタ。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 第４図 第５図 （ａ） （ｂ） （Ｃ）
測定対象部位の位置確認用光学配置図、第２図は赤外光
顕微分光測定用光学配置図である。 第３図は本発明の別実施例を示す可視光顕微分光測定用
光学配置図である。 第４図及び第５図は従来例を示し、第４図は従来の顕微
分光測定装置の構成図、第５図は遮蔽マスクによる非測
定対象部位の遮蔽方法を説明するための平面図である。 ｌ−・光源、２−試料、３一対物レンズ、１０．１１−
遮蔽マスク、１２−ビームスプリッタ。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫 第４図 第５図 （ａ） （ｂ） （Ｃ）
Claims (1)
- 光源からの光を試料に照射し、該試料からの反射あるい
は透過光を対物レンズを介して分光測定する顕微分光測
定装置において、前記対物レンズの後方にビームスプリ
ッタを設けて、二つの分岐光路を形成し、一方の分岐光
路にのみ像点に所定のマスクを設けると共に、前記両分
岐光路における夫々の像点より後方において、二つの分
岐光路における光を再結合して、夫々の像点における結
合像を合成して成る像を観察できるように構成したこと
を特徴とする顕微分光測定装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1286893A JPH0776747B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 顕微分光測定装置 |
| DE69025702T DE69025702T2 (de) | 1989-11-03 | 1990-10-26 | Mikroskopisches Spektrometer |
| EP90120609A EP0426040B1 (en) | 1989-11-03 | 1990-10-26 | Microscopic spectrometer |
| US07/607,313 US5301007A (en) | 1989-11-03 | 1990-10-31 | Microscopic spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1286893A JPH0776747B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 顕微分光測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03148045A true JPH03148045A (ja) | 1991-06-24 |
| JPH0776747B2 JPH0776747B2 (ja) | 1995-08-16 |
Family
ID=17710361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1286893A Expired - Lifetime JPH0776747B2 (ja) | 1989-11-03 | 1989-11-03 | 顕微分光測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5301007A (ja) |
| EP (1) | EP0426040B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0776747B2 (ja) |
| DE (1) | DE69025702T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08159966A (ja) * | 1994-12-06 | 1996-06-21 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| JP2010502956A (ja) * | 2006-08-28 | 2010-01-28 | サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー | 画像駆動分析による分光器顕微鏡法 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04249747A (ja) * | 1990-12-30 | 1992-09-04 | Horiba Ltd | 顕微分光測定装置 |
| US5581085A (en) * | 1995-03-06 | 1996-12-03 | Spectra-Tech, Inc. | Infrared microspectrometer accessory |
| JPH09178563A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-07-11 | Shimadzu Corp | 分光測定装置 |
| EP0819964B1 (en) * | 1996-07-16 | 2004-02-04 | Perkin-Elmer Limited | Microscope aperture control |
| SG66376A1 (en) * | 1997-07-03 | 1999-07-20 | Inst Of Microlectronics Nation | Multiwavelength imaging and spectroscopic photoemission microscope system |
| US6693280B2 (en) | 2001-08-03 | 2004-02-17 | Sensir Technologies, L.L.C. | Mid-infrared spectrometer attachment to light microscopes |
| US7268881B2 (en) * | 2004-02-17 | 2007-09-11 | The Curators Of The University Of Missouri | Light scattering detector |
| US20110083493A1 (en) * | 2008-06-11 | 2011-04-14 | The Curators Of The University Of Missouri | Liquid Chromatography Detector and Flow Controller Therefor |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3502413A (en) * | 1965-12-23 | 1970-03-24 | Gene E Lightner | Apparatus for producing a display of the transmission or reflection characteristics of a sample by comparison with a standard |
| DE1813499C3 (de) * | 1968-11-13 | 1974-05-30 | Jenoptik Jena Gmbh, X 6900 Jena | Mikroskop-Fotometer-Tubus |
| JPS5035434B1 (ja) * | 1971-02-06 | 1975-11-15 | ||
| GB1407021A (en) * | 1972-01-14 | 1975-09-24 | Vickers Ltd | Optical devices |
| US3895854A (en) * | 1973-10-18 | 1975-07-22 | Coulter Electronics | Chromatic method and apparatus for conducting microscopic examinations at a plurality of magnifications |
| US4662747A (en) * | 1983-08-03 | 1987-05-05 | Cornell Research Foundation, Inc. | Method and apparatus for production and use of nanometer scale light beams |
| US4810077A (en) * | 1986-02-13 | 1989-03-07 | Spectra-Tech, Inc. | Grazing angle microscope |
| US4971437A (en) * | 1986-07-28 | 1990-11-20 | Texaco Inc. | Optical spectral analysis system and method |
| DE3853676T2 (de) * | 1987-02-17 | 1996-01-11 | Spectra Tech Inc | Mikroskop. |
| US4929078A (en) * | 1987-04-08 | 1990-05-29 | Oklahoma State University | Conversion of dual wave beam spectrophotometer to dual wavelength spectrophotometer |
| JPH0752122B2 (ja) * | 1988-06-21 | 1995-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 色彩輝度計 |
-
1989
- 1989-11-03 JP JP1286893A patent/JPH0776747B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-10-26 EP EP90120609A patent/EP0426040B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-10-26 DE DE69025702T patent/DE69025702T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-31 US US07/607,313 patent/US5301007A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08159966A (ja) * | 1994-12-06 | 1996-06-21 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
| JP2010502956A (ja) * | 2006-08-28 | 2010-01-28 | サーモ エレクトロン サイエンティフィック インストルメンツ リミテッド ライアビリティ カンパニー | 画像駆動分析による分光器顕微鏡法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0426040A1 (en) | 1991-05-08 |
| DE69025702T2 (de) | 1996-10-10 |
| EP0426040B1 (en) | 1996-03-06 |
| DE69025702D1 (de) | 1996-04-11 |
| JPH0776747B2 (ja) | 1995-08-16 |
| US5301007A (en) | 1994-04-05 |
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