JPH04155247A - 顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料観察方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、顕微式フーリエ変換赤外分光法における試料
観察方法に関する。

〔従来の技術〕

第４図は、従来の一般的な顕微分光測定装置を示し、試
料観察時には、光源１°からの可視光を試料２に照射し
、その透過光を対物鏡３で集光し、像面４に拡大像を形
成する。更に、この像面４からの光をリレーレンズ５を
介して拡大結像させ、その後、接眼レンズ６により像面
４を観察する。

一方、分光測定を行う場合には、可視光を赤外光に切換
え、光路切換え用ミラー７を像面４とリレーレンズ５と
の間に介装することによりリレー光学系８に赤外光を導
き、その後、検出器９により分光スペクトルを得て、解
析を行う。

そして、例えば第５図（ａ）に示すような試料２中の測
定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定したい場合、
第４図に示すように、像面４に測定対象部位以外からの
光束を遮蔽するマスク１０．１１を設置し、測定対象部
位からの光束のみを分光して、その分光スペクトルを得
るのである。

つまり、第５図（ｂ）に示すように、像面４に、各辺が
ナイフェツジに形成され、且つスリット長を任意に変更
できる長方形のスリットからなる遮蔽マスク１０．１１
を設置し、測定対象部位Ａ以外の部位Ｂ、Ｃからの光束
を遮蔽し、且つ測定対象部位Ａからの光束が最大限に得
られるようにスリット長を可変とし、測定を行う。

〔発明が解決しようとするｉＢ） しかしながら、上記方法で測定対象を限定すると、第５
図（ｃ）に示すように、遮蔽マスクｌ０１１１を通して
観測されるのは部位Ａのみであり、他の部位Ｂ、Ｃは遮
蔽されているために試料２の保全体における部位への位
置間係を目視観察により再確認することができない、ま
して、測定対象が微小になるほど、あるいは全体像が半
導体チップや生体細胞組織のように複雑であるほど測定
対象の位置関係を把握することが非常に重要であるにも
拘わらず、遮蔽マスク１０．１１を通しては非常に困難
である。

本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、試料全体における測定部位の位置
確認及び移動を容易に行うことができる顕微式フーリエ
変換赤外分光法における試料観察方法を提供することに
ある。

〔課題を解決するための手段〕

上述の目的を達成するため、本発明に係る顕微式フーリ
エ変換赤外分光法における試料観察方法は、マスクを像
点に設けると共に、光路に対して移動自在に構成し、当
該マスクを光路中に設けた状態で像点における結合像を
テレビカメラによってモニターし、当該テレビカメラか
らの信号を画像処理装置に入力して、当該画像処理装置
によってマスクで遮光された部位のみを第１画像として
記録した後、前記マスクを光路から外した状態で再び像
点における結合像を前記テレビカメラによってモニター
し、当該テレビカメラからの信号を画像処理装置に入力
して第２画像として前記第１画像と同一の画面上で合成
像として観察できるようにした点に特徴がある。

〔作用〕

上記特徴構成によれば、マスクによって遮蔽された部位
の像を第１画像として記録した後、試料の全体像を第２
画像として前記第１ｉ！ｉ像と同一の画面上で合成して
表示するため、試料全体における測定対象部位の位置関
係が明確になると共に、容易に測定対象部位の変更が行
えるため、従来のものと比べて飛躍的な測定時間の短縮
及び測定精度の向上が可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図ないし第３図は、本発明に係る顕微式フーリエ変
換赤外分光法における試料観察方法の一実施例を示し、
これらの図において第４回及び第５図に示す符号と同一
のものは同一物または相当物を示す。

まず、第１図に示すように、試料観察時には、光源１°
からの可視光をミラー１２．１３およびコンデンサ鏡】
４を介して試料ステージ２°に載置された試料２に照射
する。試０２を透過した光または照射光によって励起さ
れた螢光や燐光などの光は、対物鏡３を介して像点４で
結像する。この像点４には、測定対象部位以外からの光
を遮蔽する例えば、各辺がナイフェツジに形成され、且
つスリット長を任意に変更できる長方形のスリットから
成る遮蔽マスク】０、】】を設置し、試料２中の測定対
象部位からの光のみが遮蔽マスク１０、ＩＩを通過する
ように設定する。なお、遮蔽する手段として他に、円形
のピンホール等を用いてもよい。

その後、像点４を通過しだ光をテレビカメラ】５によっ
て像点４における結合像としてモニターし、テレビカメ
ラ１５からの信号を画像処理装置１６に入力して、遮蔽
マスク】Ｏｌｌ】によって遮蔽された部位のみを第１画
像ａとして記録し、テレビモニタ１７の画面上に表示す
る（第３図参照）。

次に、試料２全体からの光が像点４を通過するように遮
蔽マスク１０．１１を光路から外し、像点４を通過した
光は、再びテレビカメラ１５によって像点４における試
料２の全体像としてモニターし、テレビカメラ１５から
の信号を画像処理装置１６に入力して第２画像すとして
テレビモニタ１７の西面上に表示された第１画像ａと同
一画面上に合成像として表示するＣ輌３図参照）。

従って、この合成像を観察する場合、第１画像ａにおけ
る遮蔽マスク１０．１１により遮蔽された部位以外は遮
蔽マスク１０．１１により形成された測定対象部位観察
用の開口部であるため、この開口部と第２画像すとして
の試料２の全体像とを同一の画面上で確認できるため、
試料２中における測定対象部位の位１関係が明確となる
と共に、試料２を移動させることにより、測定対象部位
の変更も容易に行える。

而して、上記方法により測定対象部位を設定した後、赤
外光を用いて測定対象部位の分光特性や強度を測定する
には、第２菌に示すように、遮蔽マスク１０．１１を第
１画像ａとして記録した位置に戻した後、ミラー１２を
移動させ、光源１から発した赤外光を例えば三光束干渉
計等からなる干渉計１８を通過させて、波長ごとにエネ
ルギー強度変調をかけ、その後ミラー１９．２０．１３
およびコンデンサ鏡１４を介して試料２に照射し、その
透過光を対物鏡３を介して像点４で結像する。

像点４には、予め可視光を用いて測定対象部位の光束の
みを透過させるように試料２を設定しであるため、測定
対象部位以外からの赤外光は遮蔽される。そして、ミラ
ー２１を光路中に導入し、測定対象部位からの赤外光を
リレー光学系８に導入する。赤外光は干渉計１８によっ
て波長毎に周波数の異なるエネルギー変調を受けている
ので、測定対象部位からの赤外光を直接検出器９で検出
し、周波数分析することによって分光スペクトルを得る
。

上述の実施例では透過式の顕微式フーリエ変換赤外分光
法について説明したが、反射式で測定を行う場合には、
第２図に示すように、矢印Ｐ方向にミラー１９を移動さ
せ、ミラー２２．２３．２４を介して試料２に光を照射
してその反射光を用いて同様に測定を行えばよい。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、マスクによって
遮蔽された部位の像を第１画像として記録した後、試料
の全体像を第２画像として前記第１画像と同一の画面上
で合成して表示するため、試料全体における測定対象部
位の位置関係が明確になると共に、容易に測定対象部位
の変更が行えるため、従来のものと比べて飛躍的な測定
時間の短縮及び測定精度の向上が可能となったのである
。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示し、第１回
は顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計における測定対
象部位の位置確認用光学配置図、第２図は赤外光分光測
定用光学配置図、第３図は試料観察のための動作説明図
である。 第４図及び第５図は従来例を示し、第４図は従来の顕微
分光測定装置の構成図、第５図は遮蔽マスクによる非測
定対象部位の遮蔽方法を説明するための平面図である。 １、ｌ゛　−光源、２−試料、４−像点、１０．１１−
゛遮蔽マスク、１５　　テレビカメラ、１６−画像処理
袋Ｗ、ａ　　−第１画像、ｂ−第２Ｍ像。 出　願　人　　株式会社　板場製作所 代　理　人　　弁理士　　藤本英夫 第４図 Ｑ１７一

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光源からの光を試料に照射し、該試料からの反射あるい
   は透過光をマスクを介して分光測定する顕微式フーリエ
   変換赤外分光法において、前記マスクを像点に設けると
   共に、光路に対して移動自在に構成し、当該マスクを光
   路中に設けた状態で像点における結合像をテレビカメラ
   によってモニターし、当該テレビカメラからの信号を画
   像処理装置に入力して、当該画像処理装置によってマス
   クで遮光された部位のみを第１画像として記録した後、
   前記マスクを光路から外した状態で再び像点における結
   合像を前記テレビカメラによってモニターし、当該テレ
   ビカメラからの信号を画像処理装置に入力して第２画像
   として前記第１画像と同一の画面上で合成像として観察
   できるようにしたことを特徴とする顕微式フーリエ変換
   赤外分光法における試料観察方法。