JPH04152246A - 顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計 - Google Patents
顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計Info
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- JPH04152246A JPH04152246A JP27703790A JP27703790A JPH04152246A JP H04152246 A JPH04152246 A JP H04152246A JP 27703790 A JP27703790 A JP 27703790A JP 27703790 A JP27703790 A JP 27703790A JP H04152246 A JPH04152246 A JP H04152246A
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- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、赤外顕微鏡を備えた顕微式フーリエ変換赤外
線分光光度計に関する。
線分光光度計に関する。
第３図は、従来の一般的な顕微分光測定装置を示し、観
察時には、光ｆ！１′からの可視光を試料２に照射し、
その透過光を対物鏡３で集光し、像面４に拡大像を形成
する。更に、この像面４からの光をリレーレンズ５を介
して拡大結像させ、その後、接眼レンズ６により像面４
を観察する。
察時には、光ｆ！１′からの可視光を試料２に照射し、
その透過光を対物鏡３で集光し、像面４に拡大像を形成
する。更に、この像面４からの光をリレーレンズ５を介
して拡大結像させ、その後、接眼レンズ６により像面４
を観察する。
一方、分光測定を行う場合には、可視光を赤外光に切換
え、光路切換え用ミラー７を像面４とリレーレンズ５と
の間に介装することによりリレー光学系８に赤外光を導
き、その後、検出器９により分光スペクトルを得て、解
析を行う。
え、光路切換え用ミラー７を像面４とリレーレンズ５と
の間に介装することによりリレー光学系８に赤外光を導
き、その後、検出器９により分光スペクトルを得て、解
析を行う。
そして、例えば第４図（ａ）に示すような試料２中の測
定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定したい場合、
第３図に示すように、像面４に測定対象部位以外からの
光束を遮蔽するマスク１０．１１を設置し、測定対象部
位からの光束のみを分光して、その分光スペクトルを得
るのである。
定対象部位Ａのみの分光スペクトルを測定したい場合、
第３図に示すように、像面４に測定対象部位以外からの
光束を遮蔽するマスク１０．１１を設置し、測定対象部
位からの光束のみを分光して、その分光スペクトルを得
るのである。
つまり、第４図（ｂ）に示すように、像面４に、各辺が
ナイフェツジに形成され、且つスリット長を任意に変更
できる長方形のスリットからなる１蔽マスク１０．１１
を設置し、測定対象部位Ａ以外σ部位Ｂ、Ｃからの光束
を遮蔽し、且つ測定対象部位Ａからの光束が最大限に得
られるようにスリット長を可変止し、測定を行う。
ナイフェツジに形成され、且つスリット長を任意に変更
できる長方形のスリットからなる１蔽マスク１０．１１
を設置し、測定対象部位Ａ以外σ部位Ｂ、Ｃからの光束
を遮蔽し、且つ測定対象部位Ａからの光束が最大限に得
られるようにスリット長を可変止し、測定を行う。
しかしながら、上記方法で測定対象を限定すると、第４
図（ｃ）に示すように、遮蔽マスク１０．１１を通して
観測されるのは部位Ａのみであり、他の部位Ｂ、Ｃは遮
蔽されているために試料２の像全体における部位Ａの位
置関係を目視観察により再確認することができない。ま
して、測定対象が微小になるほど、あるいは全体像が半
導体チンプや生体細胞組織のように複雑であるほど測定
対象の位置関係を把握することが非常に重要であるにも
拘わらず、遮蔽マスク１０．１１を通しては非常に困難
である。
図（ｃ）に示すように、遮蔽マスク１０．１１を通して
観測されるのは部位Ａのみであり、他の部位Ｂ、Ｃは遮
蔽されているために試料２の像全体における部位Ａの位
置関係を目視観察により再確認することができない。ま
して、測定対象が微小になるほど、あるいは全体像が半
導体チンプや生体細胞組織のように複雑であるほど測定
対象の位置関係を把握することが非常に重要であるにも
拘わらず、遮蔽マスク１０．１１を通しては非常に困難
である。
そこで、測定対象部位の位置関係を再確認するためには
、遮蔽マスク１０、ＩＩを一旦取り除くか、あるいはス
リ、トを移動させなければならない。
、遮蔽マスク１０、ＩＩを一旦取り除くか、あるいはス
リ、トを移動させなければならない。
そして再測定するには、遮蔽マスク１ｏ、１１の位置、
スリット長を高精度に再現するのが非常に困難であり、
延いては測定精度の低下を招くものである。
スリット長を高精度に再現するのが非常に困難であり、
延いては測定精度の低下を招くものである。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、遮蔽マスクを移動させることなく
測定部位の位置確認が行え、測定に要する時間を大幅に
短縮でき、且つ高精度な測定を可能とする顕微式フーリ
エ変換赤外線分光光度計を提供することにある。
目的とするところは、遮蔽マスクを移動させることなく
測定部位の位置確認が行え、測定に要する時間を大幅に
短縮でき、且つ高精度な測定を可能とする顕微式フーリ
エ変換赤外線分光光度計を提供することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る顕微式フーリ
エ変換赤外線分光光度計は、対物鏡の後方にビームスプ
リッタを設けて、二つの分岐光路を形成し、一方の分岐
光路にのみ像点に所定のマスクを設けると共に、前記両
分岐光路における夫々の像点より後方において、夫々の
光を個別のテレビカメラでモニターし、各々のテレビカ
メラからの信号を画像処理装置に入力して、夫々の像点
における結合像を同一の画面上で合成像として観察でき
るように構成した点に特徴がある。
エ変換赤外線分光光度計は、対物鏡の後方にビームスプ
リッタを設けて、二つの分岐光路を形成し、一方の分岐
光路にのみ像点に所定のマスクを設けると共に、前記両
分岐光路における夫々の像点より後方において、夫々の
光を個別のテレビカメラでモニターし、各々のテレビカ
メラからの信号を画像処理装置に入力して、夫々の像点
における結合像を同一の画面上で合成像として観察でき
るように構成した点に特徴がある。
上記特徴構成によれば、試料からの光束をビームスプリ
ッタによって二分岐し、一方をマスクを設けた光路側に
、他方をマスクのかからない光路に通して夫々の光を個
別のテレビカメラでモニターした後、画像処理装置で夫
々の像点における結合像を合成するため、遮蔽マスクを
移動させるこよなく試料全体における測定対象部位の位
置関係が明確となり、容易に測定対象部位の変更が行え
るため、従来のものと比べて飛躍的な測定時間の短縮及
び測定精度の向上が可能となる。
ッタによって二分岐し、一方をマスクを設けた光路側に
、他方をマスクのかからない光路に通して夫々の光を個
別のテレビカメラでモニターした後、画像処理装置で夫
々の像点における結合像を合成するため、遮蔽マスクを
移動させるこよなく試料全体における測定対象部位の位
置関係が明確となり、容易に測定対象部位の変更が行え
るため、従来のものと比べて飛躍的な測定時間の短縮及
び測定精度の向上が可能となる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図及び第２図は、本発明に係る顕微式フーリエ変換
赤外線分光光度計の一構成例を示し、これらの図におい
て第３図及び第４図に示す符号と同一のものは同一物ま
たは相当物を示す。
赤外線分光光度計の一構成例を示し、これらの図におい
て第３図及び第４図に示す符号と同一のものは同一物ま
たは相当物を示す。
まず、光ｌｆｆ１１′からの可視光をミラー１２．１３
およびコンデンサ鏡１４を介して試料ステージ２゛に載
置された試１１２に照射する。試料２を透過した光また
は照射光によって励起された螢光や燐光などの光は、対
物鏡３を介してビームスプリッタＪ５により、二つの分
岐光路ａ、ｂを通る光に分割される。光路ａを通る光は
、ミラー１Ｇにより反射され、対物鏡３の像点４ａで結
像する。この像点４ａに、測定対象部位以外からの光を
遮蔽する例えば、各辺がナイフェツジに形成され、且つ
スリット長を任意に変更できる長方形のスリットから成
る遮蔽マスク１０．１１を設置し、試料２中の測定対象
部位からの光のみが遮蔽マスク１０．１１を通過するよ
うに設定する（第４図（ｂ） 、（ｃ） ＃照）。なお
、遮蔽する手段として他に、円形のピンボールを用いて
もよい。
およびコンデンサ鏡１４を介して試料ステージ２゛に載
置された試１１２に照射する。試料２を透過した光また
は照射光によって励起された螢光や燐光などの光は、対
物鏡３を介してビームスプリッタＪ５により、二つの分
岐光路ａ、ｂを通る光に分割される。光路ａを通る光は
、ミラー１Ｇにより反射され、対物鏡３の像点４ａで結
像する。この像点４ａに、測定対象部位以外からの光を
遮蔽する例えば、各辺がナイフェツジに形成され、且つ
スリット長を任意に変更できる長方形のスリットから成
る遮蔽マスク１０．１１を設置し、試料２中の測定対象
部位からの光のみが遮蔽マスク１０．１１を通過するよ
うに設定する（第４図（ｂ） 、（ｃ） ＃照）。なお
、遮蔽する手段として他に、円形のピンボールを用いて
もよい。
一方、ビームスプリッタ】５で分岐された他方の光路す
を通る光は、ミラー１７を経て、光路ａと同様に対物鏡
３の像点４ｂで結像する。なお、この像点４ｂには前記
遮蔽マスク】０．１１等のものは一切設置しない。
を通る光は、ミラー１７を経て、光路ａと同様に対物鏡
３の像点４ｂで結像する。なお、この像点４ｂには前記
遮蔽マスク】０．１１等のものは一切設置しない。
その後、光路ａの像点４ａに設置された遮蔽マスり１０
．１１を通過した光は、ミラー１８．１９で反射された
後、テレビカメラ２０によって像点４ａにおける測定対
象部位の像をモニターし、また、光路すの像点４ｂを通
過した光は、テレビカメラ２１によって像点４ｂにおけ
る試料像をモニターする。そして、テレビカメラ２０．
２１からの信号を画像処理装置２２に入力して各々の信
号を合成し、像点４ａでの像と像点４ｂでの像の合成像
としてテレビモニタ２３の画面上に表示する。
．１１を通過した光は、ミラー１８．１９で反射された
後、テレビカメラ２０によって像点４ａにおける測定対
象部位の像をモニターし、また、光路すの像点４ｂを通
過した光は、テレビカメラ２１によって像点４ｂにおけ
る試料像をモニターする。そして、テレビカメラ２０．
２１からの信号を画像処理装置２２に入力して各々の信
号を合成し、像点４ａでの像と像点４ｂでの像の合成像
としてテレビモニタ２３の画面上に表示する。
従って、この合成像を観察する場合、遮蔽マスク１０．
１１により遮蔽されていない測定対象部位は、遮蔽マス
ク１０．１１により遮蔽された部位に比べて像点４ａと
像点４ｂの像が合成されるため輝度が高くなり、試料２
における遮蔽マスク１０．１１の設定位置を確認できる
。しかも、測定対象部位以外の像も同一画面上で確認で
きるため、試料２中における測定対象部位の位置関係が
明確となる。
１１により遮蔽されていない測定対象部位は、遮蔽マス
ク１０．１１により遮蔽された部位に比べて像点４ａと
像点４ｂの像が合成されるため輝度が高くなり、試料２
における遮蔽マスク１０．１１の設定位置を確認できる
。しかも、測定対象部位以外の像も同一画面上で確認で
きるため、試料２中における測定対象部位の位置関係が
明確となる。
上記方法により測定対象部位の位置を確認した後、赤外
光を用いて測定対象部位の分光特性や強度を測定するに
は第２図に示すように、ミラー１２を移動させ、且つ、
ビームスプリッタ１５の代わりに全反射ミラー２４を設
置する。
光を用いて測定対象部位の分光特性や強度を測定するに
は第２図に示すように、ミラー１２を移動させ、且つ、
ビームスプリッタ１５の代わりに全反射ミラー２４を設
置する。
すなわち、光源１から発した赤外光を例えば二光束干渉
計等からなる干渉計２５を通過させて、波長ごとにエネ
ルギー強度変調をかけ、その後ミラー２６．２７．１３
およびコンデンサ鏡１４を介して試料２に照射し、その
透過光を対物鏡３を介して全反射ミラー２４により光路
ａに反射させ、対物鏡３の像点４ａで結像する。
計等からなる干渉計２５を通過させて、波長ごとにエネ
ルギー強度変調をかけ、その後ミラー２６．２７．１３
およびコンデンサ鏡１４を介して試料２に照射し、その
透過光を対物鏡３を介して全反射ミラー２４により光路
ａに反射させ、対物鏡３の像点４ａで結像する。
像点４ａには、予め可視光を用いて測定対象部位の光束
のみを透過させるように遮蔽マスク１０．１１を設定し
であるため、測定対象部位以外からの赤外光は遮蔽され
る。次に、ミラー１８を移動させ、ミラー２８によって
測定対象部位からの赤外光をリレー光学系８に導入する
。そして、赤外光は干渉計２５によって波長毎に周波数
の異なるエネルキー変調を受けているので、測定対象部
位からの赤外光を直接検出器９で検出し、周波数分析す
ることによって分光スペクトルを得る。
のみを透過させるように遮蔽マスク１０．１１を設定し
であるため、測定対象部位以外からの赤外光は遮蔽され
る。次に、ミラー１８を移動させ、ミラー２８によって
測定対象部位からの赤外光をリレー光学系８に導入する
。そして、赤外光は干渉計２５によって波長毎に周波数
の異なるエネルキー変調を受けているので、測定対象部
位からの赤外光を直接検出器９で検出し、周波数分析す
ることによって分光スペクトルを得る。
上述の実施例では透過式の顕微式フーリエ変換赤外線分
光光度計について説明したが、反射式で測定を行う場合
には、第２図に示すように、矢印Ｐ方向にミラー２６を
移動させ、ミラー２９．３０を介して試料２に光を照射
してその反射光を用いて同様に測定を行えばよい。
光光度計について説明したが、反射式で測定を行う場合
には、第２図に示すように、矢印Ｐ方向にミラー２６を
移動させ、ミラー２９．３０を介して試料２に光を照射
してその反射光を用いて同様に測定を行えばよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、試料からの光束
をビームスプリッタによって二分岐し、一方をマスクを
設けた光路側に、他方をマスクのかからない光路に通し
て夫々の光を個別のテレビカメラでモニターした後、画
像処理装置で夫々の像点における結合像を合成するため
、遮蔽マスクを移動させることなく試料全体における測
定対象部位の位置関係が明確となり、容易に測定対象部
位の変更が行えるため、従来のものと比べて飛躍的な測
定時間の短縮及び測定精度の向上が可能となったのであ
る。
をビームスプリッタによって二分岐し、一方をマスクを
設けた光路側に、他方をマスクのかからない光路に通し
て夫々の光を個別のテレビカメラでモニターした後、画
像処理装置で夫々の像点における結合像を合成するため
、遮蔽マスクを移動させることなく試料全体における測
定対象部位の位置関係が明確となり、容易に測定対象部
位の変更が行えるため、従来のものと比べて飛躍的な測
定時間の短縮及び測定精度の向上が可能となったのであ
る。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を示し、第１図は
測定対象部位の位置確認用光学配置図、第２図は赤外光
分光測定用光学配置図である。 第３図及び第４図は従来例を示し、第３図は従来の顕微
分光測定装置の構成図、第４図は遮蔽マスクによる非測
定対象部位の遮蔽方法を説明するための平面図である。 １．１′−光源、２−試料、３一対物鏡、４ａ４ｂ−像
点、１０．１１−遮蔽マスク、１５− ビームスプリン
タ、２０．２１− テレビカメラ、２２−［ｉ像処理装
置。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫
測定対象部位の位置確認用光学配置図、第２図は赤外光
分光測定用光学配置図である。 第３図及び第４図は従来例を示し、第３図は従来の顕微
分光測定装置の構成図、第４図は遮蔽マスクによる非測
定対象部位の遮蔽方法を説明するための平面図である。 １．１′−光源、２−試料、３一対物鏡、４ａ４ｂ−像
点、１０．１１−遮蔽マスク、１５− ビームスプリン
タ、２０．２１− テレビカメラ、２２−［ｉ像処理装
置。 出 願 人 株式会社 堀場製作所 代 理 人 弁理士 藤本英夫
Claims (1)
- 光源からの光を試料に照射し、該試料からの反射ある
いは透過光を対物鏡を介して分光測定する顕微式フーリ
エ変換赤外線分光光度計において、前記対物鏡の後方に
ビームスプリッタを設けて、二つの分岐光路を形成し、
一方の分岐光路にのみ像点に所定のマスクを設けると共
に、前記両分岐光路における夫々の像点より後方におい
て、夫々の光を個別のテレビカメラでモニターし、各々
のテレビカメラからの信号を画像処理装置に入力して、
夫々の像点における結合像を同一の画面上で合成像とし
て観察できるように構成したことを特徴とする顕微式フ
ーリエ変換赤外線分光光度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27703790A JPH04152246A (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27703790A JPH04152246A (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04152246A true JPH04152246A (ja) | 1992-05-26 |
Family
ID=17577901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27703790A Pending JPH04152246A (ja) | 1990-10-16 | 1990-10-16 | 顕微式フーリエ変換赤外線分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04152246A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002340793A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Jasco Corp | タンパク質二次構造の面分布測定方法及び装置 |
-
1990
- 1990-10-16 JP JP27703790A patent/JPH04152246A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002340793A (ja) * | 2001-05-11 | 2002-11-27 | Jasco Corp | タンパク質二次構造の面分布測定方法及び装置 |
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