JPH0315178Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0315178Y2 JPH0315178Y2 JP4407183U JP4407183U JPH0315178Y2 JP H0315178 Y2 JPH0315178 Y2 JP H0315178Y2 JP 4407183 U JP4407183 U JP 4407183U JP 4407183 U JP4407183 U JP 4407183U JP H0315178 Y2 JPH0315178 Y2 JP H0315178Y2
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- JP
- Japan
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- vibrator
- metal plate
- heat
- drive electrode
- lead
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- Expired
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 5
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
産業上の利用分野
本考案は、駆動電極と対向電極間に高周波電圧
を印加させることにより超音波を発振し、その振
動エネルギーで対向電極に接した液体を霧化させ
るバイモルフ圧電形超音波振動子に関するもので
ある。
を印加させることにより超音波を発振し、その振
動エネルギーで対向電極に接した液体を霧化させ
るバイモルフ圧電形超音波振動子に関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点
従来のバイモルフ圧電形超音波振動子は第１図
に示すように構成され、すなわち圧電素子１の片
面の中央に駆動電極２を設けるとともに、他面よ
り前記駆動電極２を設けた面の周囲まで対向電極
３を設けている。そして液体面からの反射超音波
や液体中に含まれる化学物質から対向電極３や圧
電素子を保護するために、対向電極３の上にステ
ンレス鋼などの保護金属板４を耐熱性導電接着剤
５で貼り付けている。前記駆動電極２と対向電極
３には振動子リード６をハンダで接続している。
に示すように構成され、すなわち圧電素子１の片
面の中央に駆動電極２を設けるとともに、他面よ
り前記駆動電極２を設けた面の周囲まで対向電極
３を設けている。そして液体面からの反射超音波
や液体中に含まれる化学物質から対向電極３や圧
電素子を保護するために、対向電極３の上にステ
ンレス鋼などの保護金属板４を耐熱性導電接着剤
５で貼り付けている。前記駆動電極２と対向電極
３には振動子リード６をハンダで接続している。
ところでこの種の振動子は一般に対向電極に接
する液体が枯渇した場合は、音響インピーダンス
が激減するため、振動子に過電流が流れるととも
に自己発熱し、振動子自身が破壊するのみなら
ず、振動子を保持する物体へ熱的なストレスを与
えてしまうことがある。したがつて振動子そのも
のが熱暴走を断ち切る構造を備えておくと有効で
ある。しかし、液体が枯渇しているにもかかわら
ず駆動したために生じる破壊や熱暴走から振動子
を保護するため、従来は振動子を駆動する側で液
体の有無や振動子を流れる電流レベルを検出し
て、異常と認めた場合は振動子の駆動を停止する
方法が実施されている。しかし検出系が正常に動
作しなかつた場合には熱暴走の問題は残る。この
熱暴走に対して従来の振動子は特別にその防止対
策を施していない。
する液体が枯渇した場合は、音響インピーダンス
が激減するため、振動子に過電流が流れるととも
に自己発熱し、振動子自身が破壊するのみなら
ず、振動子を保持する物体へ熱的なストレスを与
えてしまうことがある。したがつて振動子そのも
のが熱暴走を断ち切る構造を備えておくと有効で
ある。しかし、液体が枯渇しているにもかかわら
ず駆動したために生じる破壊や熱暴走から振動子
を保護するため、従来は振動子を駆動する側で液
体の有無や振動子を流れる電流レベルを検出し
て、異常と認めた場合は振動子の駆動を停止する
方法が実施されている。しかし検出系が正常に動
作しなかつた場合には熱暴走の問題は残る。この
熱暴走に対して従来の振動子は特別にその防止対
策を施していない。
考案の目的
本考案は上記状況に鑑み、熱暴走状態になつて
もその状態を断ち切つて振動子を保持する物体へ
熱的ストレスを与えないバイモルフ圧電形振動子
を提供するにある。
もその状態を断ち切つて振動子を保持する物体へ
熱的ストレスを与えないバイモルフ圧電形振動子
を提供するにある。
考案の構成
前記目的を達成するため、本考案は駆動電極に
リード線引出し用金属板をエポキシ系耐熱性導電
接着剤で貼り合わせた構成としたものである。そ
して圧電素子から多量の熱が発生した場合はその
熱で上記金属板が駆動電極よりはずれ、安全性が
確保されるものである。
リード線引出し用金属板をエポキシ系耐熱性導電
接着剤で貼り合わせた構成としたものである。そ
して圧電素子から多量の熱が発生した場合はその
熱で上記金属板が駆動電極よりはずれ、安全性が
確保されるものである。
実施例の説明
以下本考案の一実施例を第２図にもとづき説明
する。
する。
第２図は本考案のバイモルフ圧電形超音波振動
子の構造図であり、第１図と比べ、駆動電極２の
周辺の構造が異なるだけであるから、同一部分に
ついては同一番号をつけて説明を省略する。本実
施例の特徴とする構成はリード引き出し用金属板
８を駆動電極２上の一部に銀または銅の金属粉末
を体積比60％混入した常温硬化型のエポキシ系耐
熱性導電接着剤５を用いて貼り合わせた構成にあ
る。このリード引き出し用金属板８の材質は、ハ
ンダ付性・導電性の点から鋼などが有効である。
そして振動子リード６は、リード引き出し用金属
板８にハンダ９で接続している。
子の構造図であり、第１図と比べ、駆動電極２の
周辺の構造が異なるだけであるから、同一部分に
ついては同一番号をつけて説明を省略する。本実
施例の特徴とする構成はリード引き出し用金属板
８を駆動電極２上の一部に銀または銅の金属粉末
を体積比60％混入した常温硬化型のエポキシ系耐
熱性導電接着剤５を用いて貼り合わせた構成にあ
る。このリード引き出し用金属板８の材質は、ハ
ンダ付性・導電性の点から鋼などが有効である。
そして振動子リード６は、リード引き出し用金属
板８にハンダ９で接続している。
以上のような構造において、液体が枯渇して圧
電素子１から発熱が始まつて温度が上昇すると、
駆動電極２上へ塗布した耐熱性導電接着剤５はリ
ード引出し用金属板８と駆動電極２の接続部にあ
るため、両者の接触抵抗で局部的に高温となり、
耐熱性導電接着剤５は硬化した接着剤自体の強度
が低下するとともに、内包する空気が熱膨張して
内部の結合力が弱められる。さらに圧電素子１の
上下振動による振り切り力が加わつているため、
リード引出し用金属板８は駆動電極２から離脱
し、圧電素子１の駆動は停止される。リード引出
し用金属板８は、対向電極３上より面積が小さく
熱放散効果の小さい駆動電極２上へ設ける方が、
本考案の目的に沿う形となる。
電素子１から発熱が始まつて温度が上昇すると、
駆動電極２上へ塗布した耐熱性導電接着剤５はリ
ード引出し用金属板８と駆動電極２の接続部にあ
るため、両者の接触抵抗で局部的に高温となり、
耐熱性導電接着剤５は硬化した接着剤自体の強度
が低下するとともに、内包する空気が熱膨張して
内部の結合力が弱められる。さらに圧電素子１の
上下振動による振り切り力が加わつているため、
リード引出し用金属板８は駆動電極２から離脱
し、圧電素子１の駆動は停止される。リード引出
し用金属板８は、対向電極３上より面積が小さく
熱放散効果の小さい駆動電極２上へ設ける方が、
本考案の目的に沿う形となる。
考案の効果
前記実施例の説明より明らかなように、本考案
によれば液体が枯渇しているにもかかわらず駆動
したために生じる振動子の熱暴走状態を、振動子
を保持する物体に熱的ストレスを与える前に断ち
切ることができ、その実用的効果は大きい。
によれば液体が枯渇しているにもかかわらず駆動
したために生じる振動子の熱暴走状態を、振動子
を保持する物体に熱的ストレスを与える前に断ち
切ることができ、その実用的効果は大きい。
第１図は従来のバイモルフ圧電形超音波振動子
の断面図、第２図は本考案の一実施例のバイモル
フ圧電形超音波振動子の断面図である。 ２……駆動電極、５……耐熱性導電接着剤、６
……振動子リード、８……リード引出し用金属
板、９……ハンダ。
の断面図、第２図は本考案の一実施例のバイモル
フ圧電形超音波振動子の断面図である。 ２……駆動電極、５……耐熱性導電接着剤、６
……振動子リード、８……リード引出し用金属
板、９……ハンダ。
Claims (1)
- 金属を焼結して形成した駆動電極上の一部に、
金属粉末を混入したエポキシ系耐熱性導電接着剤
でリード引出し用金属板を貼り合わせ、その金属
板にリード線をハンダ付けしたバイモルフ圧電形
超音波振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4407183U JPS59150569U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | バイモルフ圧電形超音波振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4407183U JPS59150569U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | バイモルフ圧電形超音波振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59150569U JPS59150569U (ja) | 1984-10-08 |
| JPH0315178Y2 true JPH0315178Y2 (ja) | 1991-04-03 |
Family
ID=30174601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4407183U Granted JPS59150569U (ja) | 1983-03-25 | 1983-03-25 | バイモルフ圧電形超音波振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59150569U (ja) |
-
1983
- 1983-03-25 JP JP4407183U patent/JPS59150569U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59150569U (ja) | 1984-10-08 |
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