JPH03153574A - 高強度サイアロン基焼結体 - Google Patents
高強度サイアロン基焼結体Info
- Publication number
- JPH03153574A JPH03153574A JP1291247A JP29124789A JPH03153574A JP H03153574 A JPH03153574 A JP H03153574A JP 1291247 A JP1291247 A JP 1291247A JP 29124789 A JP29124789 A JP 29124789A JP H03153574 A JPH03153574 A JP H03153574A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sialon
- powder
- sintered body
- based sintered
- silicon nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、高温高強度、高硬度及び高靭性を有する各種
エンジニアリングセラミックスを製造するために有用な
高強度サイアロン基焼結体に関する。
エンジニアリングセラミックスを製造するために有用な
高強度サイアロン基焼結体に関する。
(従来技術及びその問題点)
Yα−サイアロンは、α型窒化珪素のSi位置にA!が
、N位置にOが置換固溶すると同時に、Yが侵入固溶し
た物質であり、 式Y、 (S i、 Allり 、t (0,N) I
b (I)(式中、Xは0<x≦2を満足する数である
。)で表される。このYα−サイアロンは、高硬度、低
熱膨張率、優れた耐蝕性等のエンジニアリングセラミッ
クスとしての特性を有している。
、N位置にOが置換固溶すると同時に、Yが侵入固溶し
た物質であり、 式Y、 (S i、 Allり 、t (0,N) I
b (I)(式中、Xは0<x≦2を満足する数である
。)で表される。このYα−サイアロンは、高硬度、低
熱膨張率、優れた耐蝕性等のエンジニアリングセラミッ
クスとしての特性を有している。
しかし、Yα−サイアロン相単体の焼結体は、結晶形状
が粒状であるため、エンジニアリングセラミックスとし
ての強度、破壊靭性等の特性が充分ではない。そこで、
この欠点を改良するために、特開昭58−185484
号公報には、Yα−サイアロン結晶と、β型窒化珪素の
Si位置にA!が、N位置に0が置換固溶した 式S i a−gA 1xozNIl−t (I[
)(式中、2はO<z≦4.2を満足する数である。)
で表される針状のβ−サイアロン結晶とを複合化させた
サイアロン基焼結体が提案されている。
が粒状であるため、エンジニアリングセラミックスとし
ての強度、破壊靭性等の特性が充分ではない。そこで、
この欠点を改良するために、特開昭58−185484
号公報には、Yα−サイアロン結晶と、β型窒化珪素の
Si位置にA!が、N位置に0が置換固溶した 式S i a−gA 1xozNIl−t (I[
)(式中、2はO<z≦4.2を満足する数である。)
で表される針状のβ−サイアロン結晶とを複合化させた
サイアロン基焼結体が提案されている。
しかしながら、このサイアロン基焼結体の機械的特性も
実用上十分なものではない。
実用上十分なものではない。
(発明の目的)
本発明の目的は、前記問題点を解決し、高温強度及び靭
性の高い新規なサイアロン基焼結体を提供することであ
る。
性の高い新規なサイアロン基焼結体を提供することであ
る。
(発明の要旨)
本発明によれば、蛍石型結晶構造のYtHfzO7の微
結晶、in記式(1)で表されるYα〜サイアロンの結
晶、前記式(U)で表されるβ−サイアロンの結晶及び
Yを含むガラス相からなる高強度サイアロン基焼結体が
提供される。
結晶、in記式(1)で表されるYα〜サイアロンの結
晶、前記式(U)で表されるβ−サイアロンの結晶及び
Yを含むガラス相からなる高強度サイアロン基焼結体が
提供される。
(発明の詳細な説明)
本発明のサイアロン基焼結体における各相の含有割合は
、通常以下に示す範囲である。
、通常以下に示す範囲である。
1 < Y z Hf z O7の微結晶相 く20重
量%5<Yα−サイアロンの結晶相〈50重全量30く
β−サイアロンの結晶相 〈90重量%i<yを含むガ
ラス相 〈10重量%Y2Hf2O7の微結晶相
の割合が前記範囲を外れると、得られるサイアロン基焼
結体の機械的強度が低下するので好ましくない。
量%5<Yα−サイアロンの結晶相〈50重全量30く
β−サイアロンの結晶相 〈90重量%i<yを含むガ
ラス相 〈10重量%Y2Hf2O7の微結晶相
の割合が前記範囲を外れると、得られるサイアロン基焼
結体の機械的強度が低下するので好ましくない。
また、本発明のサイアロン基焼結体において、Yα−サ
イアロンの結晶の長径が0.05〜10μm、β−サイ
アロンの結晶の長径が1〜100μmであることが好ま
しい。
イアロンの結晶の長径が0.05〜10μm、β−サイ
アロンの結晶の長径が1〜100μmであることが好ま
しい。
本発明のサイアロン基焼結体中には、Yα−サイアロン
とα−窒化珪素との反応によって生成すると考えられる
、β−サイアロンの結晶、Yを含むガラス相及び粒界で
結晶化した蛍石型結晶構造のY2Hf2O7の微粒結晶
が、原料のYα−サイアロンの組成より式CI)のXが
若干低いYα−サイアロンの結晶と共に存在する。
とα−窒化珪素との反応によって生成すると考えられる
、β−サイアロンの結晶、Yを含むガラス相及び粒界で
結晶化した蛍石型結晶構造のY2Hf2O7の微粒結晶
が、原料のYα−サイアロンの組成より式CI)のXが
若干低いYα−サイアロンの結晶と共に存在する。
この様なYzHf、o、の微粒結晶により粒界相(Yz
HfgotとYを含むガラス相)の強度特性が向上し、
また焼結体中には組成、結晶形及び熱膨張率の異なる4
種類の相が存在し、焼結後に焼結体中に微小歪に基づく
微小クランクが発生することにより、得られるサイアロ
ン基焼結体の破壊靭性等の機械的特性が向上するもとの
考えられる。
HfgotとYを含むガラス相)の強度特性が向上し、
また焼結体中には組成、結晶形及び熱膨張率の異なる4
種類の相が存在し、焼結後に焼結体中に微小歪に基づく
微小クランクが発生することにより、得られるサイアロ
ン基焼結体の破壊靭性等の機械的特性が向上するもとの
考えられる。
本発明のサイアロン基焼結体を製造する方法としては、
前記構造の焼結体が得られれば、どのような方法を用い
てもよい。
前記構造の焼結体が得られれば、どのような方法を用い
てもよい。
以下に、本発明のサイアロン基焼結体を製造する方法の
一例を示す。
一例を示す。
本発明のサイアロン基焼結体は、前記式(1)で表され
るYα−サイアロンを主たる相とし、かつ式(1)で規
定される理論酸素量に対して8重量%以下の過剰酸素を
含有するYα−サイアロン粉末50重量%以下、酸化ハ
フニウム粉末15重量%以下、及び残部がα−窒化珪素
粉末からなる原料粉末を、最高温度1600〜2100
°Cの範囲に加熱、焼結することにより得られる。
るYα−サイアロンを主たる相とし、かつ式(1)で規
定される理論酸素量に対して8重量%以下の過剰酸素を
含有するYα−サイアロン粉末50重量%以下、酸化ハ
フニウム粉末15重量%以下、及び残部がα−窒化珪素
粉末からなる原料粉末を、最高温度1600〜2100
°Cの範囲に加熱、焼結することにより得られる。
Yα−サイアロン粉末としては、式(1)で表されるY
α−サイアロンを主たる相とする粉末であればいかなる
粉末でも良いが、本出願人が先に提案した特開昭62−
223009号の発明に従って調製した粉末が好適であ
る。この提案の方法は、 (a)非晶質窒化珪素粉末、 (b)金属アルミニウム又は窒化アルミニウム、(c)
Yα−サイアロンの格子間に侵入型固溶するYの酸化物
を生成する金属塩類、及び必要に応じて、 (d)アルミニウム又は珪素の酸素含有化合物を所望の
Yα−サイアロン組成になるように混合し、混合物を窒
素含有雰囲気下で1300〜1900°Cの範囲の温度
に加熱することにより、Yα−サイアロン粉末を製造す
る方法である。この方法で得られるYα−サイアロン粉
末は、−成粒子の大きさが0.2〜2μmの微細かつ均
一粒度の粉末であって、遊離炭素及び金属不純物を殆ど
含有しないので、気孔及び異常粒成長のない焼結体を与
えることができる。
α−サイアロンを主たる相とする粉末であればいかなる
粉末でも良いが、本出願人が先に提案した特開昭62−
223009号の発明に従って調製した粉末が好適であ
る。この提案の方法は、 (a)非晶質窒化珪素粉末、 (b)金属アルミニウム又は窒化アルミニウム、(c)
Yα−サイアロンの格子間に侵入型固溶するYの酸化物
を生成する金属塩類、及び必要に応じて、 (d)アルミニウム又は珪素の酸素含有化合物を所望の
Yα−サイアロン組成になるように混合し、混合物を窒
素含有雰囲気下で1300〜1900°Cの範囲の温度
に加熱することにより、Yα−サイアロン粉末を製造す
る方法である。この方法で得られるYα−サイアロン粉
末は、−成粒子の大きさが0.2〜2μmの微細かつ均
一粒度の粉末であって、遊離炭素及び金属不純物を殆ど
含有しないので、気孔及び異常粒成長のない焼結体を与
えることができる。
Yα−サイアロン粉末の焼結性を高めると同時に高強度
のサイアロン基焼結体を得るためには、焼結原料のYα
−サイアロン粉末が式CI)で規定される理論酸素量に
対して8重量%以下の過剰酸素を含有していることが必
要である。
のサイアロン基焼結体を得るためには、焼結原料のYα
−サイアロン粉末が式CI)で規定される理論酸素量に
対して8重量%以下の過剰酸素を含有していることが必
要である。
Yα−サイアロン粉末に過剰の酸素を含有させる方法と
しては、例えば、Yα−サイアロン粉末の調製段階で非
晶質窒化珪素に珪素、アルミニウム又はイツトリウムの
酸素含有化合物を過剰量添加する方法、Yα−サイアロ
ン粉末を酸素含有雰囲気中で加熱する方法が採用される
。後者の一例としては、Yα−サイアロン粉末を酸素含
有雰囲気中で800〜1200°Cの範囲の温度に加熱
して、理論量より過剰の酸素をYα−サイアロン粉末に
含有させる方法が挙げられる。加熱時間は通常0.5〜
5時間である。この処理は、例えばYαサイアロン粉末
を保持板上に薄く乗せて酸素含有雰囲気中に放置する方
法、α−サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で流動化さ
せる方法によって行うことができる。
しては、例えば、Yα−サイアロン粉末の調製段階で非
晶質窒化珪素に珪素、アルミニウム又はイツトリウムの
酸素含有化合物を過剰量添加する方法、Yα−サイアロ
ン粉末を酸素含有雰囲気中で加熱する方法が採用される
。後者の一例としては、Yα−サイアロン粉末を酸素含
有雰囲気中で800〜1200°Cの範囲の温度に加熱
して、理論量より過剰の酸素をYα−サイアロン粉末に
含有させる方法が挙げられる。加熱時間は通常0.5〜
5時間である。この処理は、例えばYαサイアロン粉末
を保持板上に薄く乗せて酸素含有雰囲気中に放置する方
法、α−サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で流動化さ
せる方法によって行うことができる。
過剰酸素量は8重量%以下、好ましくは1〜6.5重量
%、特に好ましくは2〜4重量%である。
%、特に好ましくは2〜4重量%である。
過剰酸素量が過度に多いと焼結体中に融点の低い相が多
く残留し、高温での機械的特性が損なわれるようになる
。
く残留し、高温での機械的特性が損なわれるようになる
。
α−窒化珪素粉末としては、焼結性の面で1μm以下の
粒径を有していることが好ましく、さらに得られる焼結
体の高温での強度、耐蝕性、耐酸化性を損なう不純物の
含有量が1重量%以下であることが好ましい。
粒径を有していることが好ましく、さらに得られる焼結
体の高温での強度、耐蝕性、耐酸化性を損なう不純物の
含有量が1重量%以下であることが好ましい。
Yα−サイアロン粉末、α−窒化珪素粉末、及び酸化ハ
フニウム粉末の混合物中のα−窒化珪素粉末の配合割合
は30重量%以上、好ましくは50〜90重量%、さら
に好ましくは60〜80重量%である。上記範囲内にお
いて窒化珪素粉末の配合割合を高めるに従って生成サイ
アロン基焼結体中のβ−サイアロン相の割合が増大する
。α−窒化珪素粉末の配合割合が90重量%を超えると
、混合物の焼結性が低下し焼結体の緻密化が進行しなく
なる。また、必要に応じて、10重量%以下の酸化イツ
トリウム粉末を添加することもできる。
フニウム粉末の混合物中のα−窒化珪素粉末の配合割合
は30重量%以上、好ましくは50〜90重量%、さら
に好ましくは60〜80重量%である。上記範囲内にお
いて窒化珪素粉末の配合割合を高めるに従って生成サイ
アロン基焼結体中のβ−サイアロン相の割合が増大する
。α−窒化珪素粉末の配合割合が90重量%を超えると
、混合物の焼結性が低下し焼結体の緻密化が進行しなく
なる。また、必要に応じて、10重量%以下の酸化イツ
トリウム粉末を添加することもできる。
Yα−サイアロン粉末、α−窒化珪素粉末、及び酸化ハ
フニウム粉末の混合方法については特に制限はなく、そ
れ自体公知の方法、例えば、両者を乾式混合する方法、
不活性液体中で両者を湿式混合した後不活性液体を除去
する方法等を適宜採用することができる。混合装置とし
てはV型混合機、ボールミル等が便利に使用される。
フニウム粉末の混合方法については特に制限はなく、そ
れ自体公知の方法、例えば、両者を乾式混合する方法、
不活性液体中で両者を湿式混合した後不活性液体を除去
する方法等を適宜採用することができる。混合装置とし
てはV型混合機、ボールミル等が便利に使用される。
混合粉末の加熱焼結は、例えば、混合粉末をそのまま乾
式あるいは湿式で所定の形状に成形し、湿式で成形した
場合は乾燥処理を行った後に、常圧又は加圧した窒素含
有非酸化性ガス雰囲気下で焼結する方法、原料粉末を所
定の形状のダイスに充填し、ホットプレスする方法等を
採用することができる。また上記方法で得られた焼結体
をさらに熱間静水圧プレスすることにより、焼結体の物
理的特性を一層高めることもできる。
式あるいは湿式で所定の形状に成形し、湿式で成形した
場合は乾燥処理を行った後に、常圧又は加圧した窒素含
有非酸化性ガス雰囲気下で焼結する方法、原料粉末を所
定の形状のダイスに充填し、ホットプレスする方法等を
採用することができる。また上記方法で得られた焼結体
をさらに熱間静水圧プレスすることにより、焼結体の物
理的特性を一層高めることもできる。
常圧又は雰囲気加圧焼結に先立つ混合粉末の成形は公知
の方法、例えばラバープレス法、−軸成形法、鋳込成形
法、射出成形法、爆発圧縮成形法等によって行うことが
できる。
の方法、例えばラバープレス法、−軸成形法、鋳込成形
法、射出成形法、爆発圧縮成形法等によって行うことが
できる。
焼結温度は通常1600〜2100°Cであり、焼結時
間は通常0.5〜10時間である。焼結温度が過度に低
いと焼結が進行せず、また焼結温度が過度に高いと焼結
体に熱分解による組成変化が生じるようになる。
間は通常0.5〜10時間である。焼結温度が過度に低
いと焼結が進行せず、また焼結温度が過度に高いと焼結
体に熱分解による組成変化が生じるようになる。
(発明の効果)
本発明で得られるサイアロン基焼結体は、従来のサイア
ロン基焼結体に比較して、高温強度、破壊靭性等の機械
的特性が向上しているので、信顛性の高い構造材料、特
にガスタービン部品、切削チップ、ロール、ダイス、ノ
ズル等の耐摩耗、耐熱材料として好適に使用することが
できる。
ロン基焼結体に比較して、高温強度、破壊靭性等の機械
的特性が向上しているので、信顛性の高い構造材料、特
にガスタービン部品、切削チップ、ロール、ダイス、ノ
ズル等の耐摩耗、耐熱材料として好適に使用することが
できる。
(実施例)
以下に実施例及び比較例を示す。
実施例1〜5及び比較例1
非晶質窒化珪素粉末500 g、YtOx粉末62g及
び金属Al粉末65.7 gを窒素ガス雰囲気下に振動
ミルで1時間混合した。混合粉末をカーボン製ルツボに
充填して抵抗加熱式高温炉にセットし、窒素ガス雰囲気
下、室温から1200°C迄を1時間、1200°Cか
ら1400’C迄を4時間、さらに1400″Cから1
600 ’C迄を2時間の昇温スケジュールで加熱する
ことにより結晶化させ、Yα−サイアロン粉末を得た。
び金属Al粉末65.7 gを窒素ガス雰囲気下に振動
ミルで1時間混合した。混合粉末をカーボン製ルツボに
充填して抵抗加熱式高温炉にセットし、窒素ガス雰囲気
下、室温から1200°C迄を1時間、1200°Cか
ら1400’C迄を4時間、さらに1400″Cから1
600 ’C迄を2時間の昇温スケジュールで加熱する
ことにより結晶化させ、Yα−サイアロン粉末を得た。
得られたYα−サイアロン粉末の特性を以下に示す。
理論組成 Yo、 5siv、 ysAlz、 zsO
o、 ?SNI S、 zs比表面積 2.5ボ/g 粒子形状 等軸結晶 生成相 α相290% 生成物組成(wtχ) Yニア、2 Si:44.2 Al:9.8 0:
4.9 N:33.9過剰酸素量 2.9重量% 上記Yα−サイアロン粉末、α−窒化珪素粉末(宇部興
産■製5N−EIO;比表面積:11ボ/g、酸素含有
量:1.3wt%)、及び酸化ハフニウム粉末(ヘルマ
ン・シー・スタルク■製)を第1表に示す割合で、媒体
としてエタノールを用い48時間湿式ボールミリングし
た後、80°Cで真空乾燥した。得られた原料粉末40
gを表面が窒化硼素で被覆された内径100印の黒鉛製
ダイスに充填し、ホットプレス焼結装置にセットした後
、250 kg/ciの加圧下に室温から1750°C
まで200°C/時で昇温し、同温度に1時間保持した
。
o、 ?SNI S、 zs比表面積 2.5ボ/g 粒子形状 等軸結晶 生成相 α相290% 生成物組成(wtχ) Yニア、2 Si:44.2 Al:9.8 0:
4.9 N:33.9過剰酸素量 2.9重量% 上記Yα−サイアロン粉末、α−窒化珪素粉末(宇部興
産■製5N−EIO;比表面積:11ボ/g、酸素含有
量:1.3wt%)、及び酸化ハフニウム粉末(ヘルマ
ン・シー・スタルク■製)を第1表に示す割合で、媒体
としてエタノールを用い48時間湿式ボールミリングし
た後、80°Cで真空乾燥した。得られた原料粉末40
gを表面が窒化硼素で被覆された内径100印の黒鉛製
ダイスに充填し、ホットプレス焼結装置にセットした後
、250 kg/ciの加圧下に室温から1750°C
まで200°C/時で昇温し、同温度に1時間保持した
。
作製した焼結体から3X4X50mmのテストピース5
0本を切り出し、これを外スパン30M11、内スパン
10+maの4点曲げ強度試験を行い(室温及び140
0℃)強度及びワイブル係数を求めた。
0本を切り出し、これを外スパン30M11、内スパン
10+maの4点曲げ強度試験を行い(室温及び140
0℃)強度及びワイブル係数を求めた。
また、5EPB法によりKICを測定した。結果を第1
表に示す。
表に示す。
実施例6〜13及び比較例2
実施例1〜5で使用したYα−サイアロン粉末、α−窒
化珪素粉末及び酸化ハフニウム粉末を第2表に示す割合
で、媒体としてエタノールを用い48時間湿式ボールミ
リングした後、80℃で真空乾燥した。
化珪素粉末及び酸化ハフニウム粉末を第2表に示す割合
で、媒体としてエタノールを用い48時間湿式ボールミ
リングした後、80℃で真空乾燥した。
粉末混合物を、断面が50X80rM1角の金型を用い
て予備成形した後、圧力1.5ton/dでラバープレ
スした。得られた成形品を電気炉を用いて、第2表に記
載の温度−雰囲気ガス圧力条件下に昇温し、同温度に2
時間保持して、常圧焼結又は雰囲気加圧焼結を行った。
て予備成形した後、圧力1.5ton/dでラバープレ
スした。得られた成形品を電気炉を用いて、第2表に記
載の温度−雰囲気ガス圧力条件下に昇温し、同温度に2
時間保持して、常圧焼結又は雰囲気加圧焼結を行った。
得られた焼結体の特性を実施例1と同様にして測定した
。結果を第2表に示す。
。結果を第2表に示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 蛍石型結晶構造のY_2Hf_2O_7の微結晶、式
Y_x(Si,Al)_1_2(O,N)_1_6(式
中、xは0<x≦2を満足する数である。)で表される
Yα−サイアロンの結晶、 式Si_6_−_zAl_zO_2N_8_−_z(式
中、zは0<z≦4.2を満足する数である。)で表さ
れるβ−サイアロンの結晶及びYを含むガラス相からな
る高強度サイアロン基焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1291247A JPH03153574A (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 高強度サイアロン基焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1291247A JPH03153574A (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 高強度サイアロン基焼結体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03153574A true JPH03153574A (ja) | 1991-07-01 |
| JPH0559074B2 JPH0559074B2 (ja) | 1993-08-30 |
Family
ID=17766391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1291247A Granted JPH03153574A (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 | 高強度サイアロン基焼結体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03153574A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005298299A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Kurosaki Harima Corp | 窒化珪素質ディスク |
| WO2008068283A3 (de) * | 2006-12-06 | 2008-09-12 | Ceramtec Ag | WERKSTOFF AUF DER BASIS VON SiAlONen |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101654964B1 (ko) * | 2013-04-11 | 2016-09-08 | 배건택 | 휴대용 치주질환 치료장치 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP1291247A patent/JPH03153574A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005298299A (ja) * | 2004-04-14 | 2005-10-27 | Kurosaki Harima Corp | 窒化珪素質ディスク |
| WO2008068283A3 (de) * | 2006-12-06 | 2008-09-12 | Ceramtec Ag | WERKSTOFF AUF DER BASIS VON SiAlONen |
| US9637417B2 (en) | 2006-12-06 | 2017-05-02 | Ceramtec Gmbh | Material based on SiAlONs |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0559074B2 (ja) | 1993-08-30 |
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