JPH0461834B2 - - Google Patents
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- JPH0461834B2 JPH0461834B2 JP62151057A JP15105787A JPH0461834B2 JP H0461834 B2 JPH0461834 B2 JP H0461834B2 JP 62151057 A JP62151057 A JP 62151057A JP 15105787 A JP15105787 A JP 15105787A JP H0461834 B2 JPH0461834 B2 JP H0461834B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sialon
- powder
- sintered body
- silicon nitride
- formula
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/597—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon oxynitride, e.g. SIALONS
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、高温高強度、高硬度及び高靭性を有
する各種エンジニアリングセラミツクスを製造す
るために有用なサイアロン基焼結体に関する。
する各種エンジニアリングセラミツクスを製造す
るために有用なサイアロン基焼結体に関する。
（従来技術及びその問題点）
α−サイアロンは、α型窒化珪素のSi位置に
Alが、Ｎ位置にＯが置換固溶すると同時に、他
の金属元素が侵入型固溶した物質であり、 式 MX（Si，Al）12（Ｏ，Ｎ）16〔〕 （式中、ＭはLi、Mg、Ca、Ｙ、又はLa及びCe
以外のランタニド系金属元素を示し、ｘは０＜ｘ
≦２を満足する数である。）で表される。このα
−サイアロンは、高硬度、低熱膨張率、優れた耐
触性等のエンジニアリングセラミツクスとしての
特性を有しているほか、格子間に固溶した各種金
属原子の基づく電気特性によつてエレクトロニク
スセラミツクスとしての特性も期待されている。
Alが、Ｎ位置にＯが置換固溶すると同時に、他
の金属元素が侵入型固溶した物質であり、 式 MX（Si，Al）12（Ｏ，Ｎ）16〔〕 （式中、ＭはLi、Mg、Ca、Ｙ、又はLa及びCe
以外のランタニド系金属元素を示し、ｘは０＜ｘ
≦２を満足する数である。）で表される。このα
−サイアロンは、高硬度、低熱膨張率、優れた耐
触性等のエンジニアリングセラミツクスとしての
特性を有しているほか、格子間に固溶した各種金
属原子の基づく電気特性によつてエレクトロニク
スセラミツクスとしての特性も期待されている。
しかし、α−サイアロン相単体の焼結体は、結
晶形が粒状であるため、エンジニアリングセラミ
ツクスとしての強度、破壊靭性等の特性が充分で
はない。そこで、この欠点を改良するために、α
−サイアロン結晶と、β型窒化珪素のSi位置に
Alが、Ｎ位置にＯが置換固溶した 式 Si6-ZAlZOZN8-Z〔〕 （式中、ｚは０＜ｚ≦4.2を満足する数である。）
で表される針状のβ−サイアロン結晶とを複合化
させることが考えられる。
晶形が粒状であるため、エンジニアリングセラミ
ツクスとしての強度、破壊靭性等の特性が充分で
はない。そこで、この欠点を改良するために、α
−サイアロン結晶と、β型窒化珪素のSi位置に
Alが、Ｎ位置にＯが置換固溶した 式 Si6-ZAlZOZN8-Z〔〕 （式中、ｚは０＜ｚ≦4.2を満足する数である。）
で表される針状のβ−サイアロン結晶とを複合化
させることが考えられる。
特開昭58−185484号公報には、α−サイアロン
及びアルミナの混合粉末、又はα−サイアロン、
アルミナ及び窒化珪素の混合粉末を焼結して、α
−サイアロンとβ−サイアロンの複合組織からな
る焼結体を製造する方法が開示されている。上記
公報の特許請求の範囲には、α−サイアロンに添
加される物質は「少なくとも一種類のケイ素の窒
化物及び／又はアルミナ」であると記載されてい
る。しかし、同公報の第４ページ左下欄第12〜15
行には、「α相置換窒化ケイ素への添加物を上述
では窒化ケイ素及び／又はアルミナと述べたが、
必要な元素つまりケイ素、窒素、アルミニウム及
び酸素を与える他の添加物……」と記載されてお
り、同公報に記載の発明においてはアルミナ又は
焼結時にアルミナに転化され得るアルミナ源の使
用が必須であることが容易に理解される。このこ
とは、同公報のすべての実施例においてアルミナ
が使用されていることからも窺うことができる。
及びアルミナの混合粉末、又はα−サイアロン、
アルミナ及び窒化珪素の混合粉末を焼結して、α
−サイアロンとβ−サイアロンの複合組織からな
る焼結体を製造する方法が開示されている。上記
公報の特許請求の範囲には、α−サイアロンに添
加される物質は「少なくとも一種類のケイ素の窒
化物及び／又はアルミナ」であると記載されてい
る。しかし、同公報の第４ページ左下欄第12〜15
行には、「α相置換窒化ケイ素への添加物を上述
では窒化ケイ素及び／又はアルミナと述べたが、
必要な元素つまりケイ素、窒素、アルミニウム及
び酸素を与える他の添加物……」と記載されてお
り、同公報に記載の発明においてはアルミナ又は
焼結時にアルミナに転化され得るアルミナ源の使
用が必須であることが容易に理解される。このこ
とは、同公報のすべての実施例においてアルミナ
が使用されていることからも窺うことができる。
（発明の目的）
本発明の目的は、強度及び靭性の高いサイアロ
ン基焼結体の新規な製造法を提供することであ
る。
ン基焼結体の新規な製造法を提供することであ
る。
（発明の要旨）
本発明によれば、前記式〔〕で表されるα−
サイアロンを主たる相とし、かつ式〔〕で規定
される理論酸素量に対して１〜6.5重量％の過剰
酸素を含有するα−サイアロン粉末と、窒化珪素
粉末との混合粉末を、窒素含有雰囲気下に、1600
〜1900℃の範囲の温度で焼結することを特徴とす
る、α−サイアロンの粒状結晶、前記式〔〕で
表されるβ−サイアロンの針状結晶及び前記金属
Ｍを含むガラス相からなるサイアロン基焼結体の
製造法が提供される。
サイアロンを主たる相とし、かつ式〔〕で規定
される理論酸素量に対して１〜6.5重量％の過剰
酸素を含有するα−サイアロン粉末と、窒化珪素
粉末との混合粉末を、窒素含有雰囲気下に、1600
〜1900℃の範囲の温度で焼結することを特徴とす
る、α−サイアロンの粒状結晶、前記式〔〕で
表されるβ−サイアロンの針状結晶及び前記金属
Ｍを含むガラス相からなるサイアロン基焼結体の
製造法が提供される。
（発明の具体的説明）
本発明で使用されるα−サイアロン粉末は、式
〔〕で表されるα−サイアロンを主たる相とす
る粉末であればいかなる粉末でも良いが、本出願
人が先に提案した特願昭61−60640号の発明に従
つて調整した粉末が好適である。この提案の方法
は、 (a) 非晶質窒化珪素粉末、 (b) 金属アルミニウム又は窒化アルミニウム、 (c) α−サイアロンの格子間に侵入型固溶する金
属の酸化物を生成する金属塩類、及び必要に応
じて、 (d) アルミニウム又は珪素の酸素含有化合物を所
望のα−サイアロン組成になるように混合し、
混合物を窒素含有雰囲気下で1300〜1900℃の範
囲の温度に加熱することにより、α−サイアロ
ン粉末を製造する方法である。この方法で得ら
れるα−サイアロン粉末は、一次粒子の大きさ
が0.2〜2μｍの微細かつ均一粒度の粉末であつ
て、遊離炭素及び金属不純物を殆ど含有しない
ので、気孔及び異常粒成長のない焼結体を与え
ることができる。
〔〕で表されるα−サイアロンを主たる相とす
る粉末であればいかなる粉末でも良いが、本出願
人が先に提案した特願昭61−60640号の発明に従
つて調整した粉末が好適である。この提案の方法
は、 (a) 非晶質窒化珪素粉末、 (b) 金属アルミニウム又は窒化アルミニウム、 (c) α−サイアロンの格子間に侵入型固溶する金
属の酸化物を生成する金属塩類、及び必要に応
じて、 (d) アルミニウム又は珪素の酸素含有化合物を所
望のα−サイアロン組成になるように混合し、
混合物を窒素含有雰囲気下で1300〜1900℃の範
囲の温度に加熱することにより、α−サイアロ
ン粉末を製造する方法である。この方法で得ら
れるα−サイアロン粉末は、一次粒子の大きさ
が0.2〜2μｍの微細かつ均一粒度の粉末であつ
て、遊離炭素及び金属不純物を殆ど含有しない
ので、気孔及び異常粒成長のない焼結体を与え
ることができる。
α−サイアロン粉末の焼結性を高めると同時に
高強度のサイアロン基焼結体を得るためには、焼
結原料のα−サイアロン粉末が式〔〕で規定さ
れる理論酸素量に対して１〜6.5重量％の過剰酸
素を含有していることが必要である。
高強度のサイアロン基焼結体を得るためには、焼
結原料のα−サイアロン粉末が式〔〕で規定さ
れる理論酸素量に対して１〜6.5重量％の過剰酸
素を含有していることが必要である。
α−サイアロン粉末に過剰の酸素を含有させる
方法としては、例えば、α−サイアロン粉末の調
製段階で非晶質窒化珪素に珪素又はアルミニウム
の酸素含有化合物を過剰量添加する方法、α−サ
イアロン粉末を酸素含有雰囲気中で加熱する方法
が採用される。後者の一例としては、α−サイア
ロン粉末を酸素含有雰囲気中で800〜1200℃の範
囲の温度に加熱して、理論量より過剰の酸素をα
−サイアロン粉末に含有させる方法が挙げられ
る。加熱時間は通常0.5〜５時間である。この処
理は、例えばα−サイアロン粉末を保持板上に薄
く乗せて酸素含有雰囲気中に放置する方法、α−
サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で流動化させ
る方法によつて行うことができる。
方法としては、例えば、α−サイアロン粉末の調
製段階で非晶質窒化珪素に珪素又はアルミニウム
の酸素含有化合物を過剰量添加する方法、α−サ
イアロン粉末を酸素含有雰囲気中で加熱する方法
が採用される。後者の一例としては、α−サイア
ロン粉末を酸素含有雰囲気中で800〜1200℃の範
囲の温度に加熱して、理論量より過剰の酸素をα
−サイアロン粉末に含有させる方法が挙げられ
る。加熱時間は通常0.5〜５時間である。この処
理は、例えばα−サイアロン粉末を保持板上に薄
く乗せて酸素含有雰囲気中に放置する方法、α−
サイアロン粉末を酸素含有雰囲気中で流動化させ
る方法によつて行うことができる。
過剰酸素量は１〜6.5重量％、好ましくは２〜
４重量％である。過剰酸素量が過度に多いと焼結
体中に融点の低い相が多く残留し、高温での機械
特性が損なわれるようになる。
４重量％である。過剰酸素量が過度に多いと焼結
体中に融点の低い相が多く残留し、高温での機械
特性が損なわれるようになる。
本発明で使用される窒化珪素粉末は、焼結性の
面で1μｍ以下の粒径を有していることが好まし
く、さらに得られる焼結体の高温での強度、耐触
性、耐酸化性を損なう不純物の含有量が１重量％
以下であることが好ましい。
面で1μｍ以下の粒径を有していることが好まし
く、さらに得られる焼結体の高温での強度、耐触
性、耐酸化性を損なう不純物の含有量が１重量％
以下であることが好ましい。
α−サイアロン粉末と窒化珪素粉末との混合物
中の窒化珪素粉末の配合割合は80重量％以下、好
ましくは30〜75重量％、さらに好ましくは40〜65
重量％である。上記範囲内において窒化珪素粉末
の配合割合を高めるに従つて生成サイアロン基焼
結体中のβ−サイアロン相の割合が増大する。窒
化珪素粉末の配合割合が80重量％を超えると、混
合物の焼結性が低下し焼結体の緻密化が進行しな
くなる。
中の窒化珪素粉末の配合割合は80重量％以下、好
ましくは30〜75重量％、さらに好ましくは40〜65
重量％である。上記範囲内において窒化珪素粉末
の配合割合を高めるに従つて生成サイアロン基焼
結体中のβ−サイアロン相の割合が増大する。窒
化珪素粉末の配合割合が80重量％を超えると、混
合物の焼結性が低下し焼結体の緻密化が進行しな
くなる。
α−サイアロン粉末と窒化珪素粉末との混合方
法については特に制限はなく、それ自体公知の方
法、例えば、両者を乾式混合する方法、不活性液
体中で両者を湿式混合おした後不活性液体を除去
する方法等を適宜採用することができる。混合装
置としてはＶ型混合機、ボールミル等が便利に使
用される。
法については特に制限はなく、それ自体公知の方
法、例えば、両者を乾式混合する方法、不活性液
体中で両者を湿式混合おした後不活性液体を除去
する方法等を適宜採用することができる。混合装
置としてはＶ型混合機、ボールミル等が便利に使
用される。
混合粉末の加熱焼結はそれ自体公知の方法に従
つて行うことができる。例えば、混合粉末をその
まま乾式あるいは湿式で所定の形状に成形し、湿
式で成形した場合は乾燥処理を行つた後に、常圧
又は加圧下に窒素含有ガス雰囲気下で焼結する方
法、原料粉末を所定の形状のダイスに充填し、ホ
ツトプレスする方法等を採用することができる。
また上記方法で得られた焼結体をさらに熱間静水
圧プレスすることにより、焼結体の物理的特性を
一層高めることもできる。
つて行うことができる。例えば、混合粉末をその
まま乾式あるいは湿式で所定の形状に成形し、湿
式で成形した場合は乾燥処理を行つた後に、常圧
又は加圧下に窒素含有ガス雰囲気下で焼結する方
法、原料粉末を所定の形状のダイスに充填し、ホ
ツトプレスする方法等を採用することができる。
また上記方法で得られた焼結体をさらに熱間静水
圧プレスすることにより、焼結体の物理的特性を
一層高めることもできる。
常圧又は加圧焼結に先立つ混合粉末の成形は公
知の方法、例えばラバープレス法、一軸成形法、
鋳込成形法、射出成形法、爆発圧縮成形法等によ
つて行うことができる。
知の方法、例えばラバープレス法、一軸成形法、
鋳込成形法、射出成形法、爆発圧縮成形法等によ
つて行うことができる。
焼結温度は通常1600〜1900℃であり、焼結時間
は通常0.5〜10時間である。焼結温度が過度に低
いと焼結が進行せず、また焼結温度が過度に高い
と焼結体に熱分解による組成変化が生じるように
なる。
は通常0.5〜10時間である。焼結温度が過度に低
いと焼結が進行せず、また焼結温度が過度に高い
と焼結体に熱分解による組成変化が生じるように
なる。
本発明によつて得られるサイアロン基焼結体中
には、α−サイアロンと窒化珪素との反応によつ
て生成すると考えられる、β−サイアロン相の針
状結晶及び式〔〕における金属Ｍを含むガラス
相が、原料のα−サイアロンの組成より式〔〕
のｘが若干低いα−サイアロン相と共に存在す
る。この様子を第１図及び第２図に示す。第１図
及び第２図からわかるように、β−サイアロン相
の針状結晶がα−サイアロン相の粒状結晶の間に
一体となつて分散されている。この結果、得られ
るサイアロン基焼結体の強度、破壊靭性等の機械
的特性が向上するものと考えられる。
には、α−サイアロンと窒化珪素との反応によつ
て生成すると考えられる、β−サイアロン相の針
状結晶及び式〔〕における金属Ｍを含むガラス
相が、原料のα−サイアロンの組成より式〔〕
のｘが若干低いα−サイアロン相と共に存在す
る。この様子を第１図及び第２図に示す。第１図
及び第２図からわかるように、β−サイアロン相
の針状結晶がα−サイアロン相の粒状結晶の間に
一体となつて分散されている。この結果、得られ
るサイアロン基焼結体の強度、破壊靭性等の機械
的特性が向上するものと考えられる。
サイアロン基焼結体のガラス相の含有割合は通
常１〜20重量％、好ましくは３〜10重量％であ
る。
常１〜20重量％、好ましくは３〜10重量％であ
る。
（発明の効果）
本発明で得られるサイアロン基焼結体は、従来
のサイアロン基焼結体に比較して、高温強度、破
壊靭性等の機械的特性が向上しているので、信頼
性の高い構造材料、特に切削チツプ、ロール、ダ
イス、ノズル等の耐摩耗、耐熱材料として好適に
使用することができる。
のサイアロン基焼結体に比較して、高温強度、破
壊靭性等の機械的特性が向上しているので、信頼
性の高い構造材料、特に切削チツプ、ロール、ダ
イス、ノズル等の耐摩耗、耐熱材料として好適に
使用することができる。
（実施例）
以下に実施例及び比較例を示す。
実施例１〜５及び比較例１
非晶質窒化珪素粉末479.2ｇ、Y2O3粉末59.4ｇ
及び金属Al粉末63ｇを窒素ガス雰囲気下に振動
ミルで１時間混合した。混合粉末をカーボン製ル
ツボに充填して抵抗加熱式高温炉にセツトし、窒
素ガス雰囲気下、室温から1200℃迄を１時間、
1200℃から1400℃迄を４時間、さらに1400℃から
1600℃迄を２時間の昇温スケジユールで加熱する
ことにより結晶化させ、Ｙ系α−サイアロン粉末
を得た。得られたα−サイアロン粉末の特性を以
下に示す。
及び金属Al粉末63ｇを窒素ガス雰囲気下に振動
ミルで１時間混合した。混合粉末をカーボン製ル
ツボに充填して抵抗加熱式高温炉にセツトし、窒
素ガス雰囲気下、室温から1200℃迄を１時間、
1200℃から1400℃迄を４時間、さらに1400℃から
1600℃迄を２時間の昇温スケジユールで加熱する
ことにより結晶化させ、Ｙ系α−サイアロン粉末
を得た。得られたα−サイアロン粉末の特性を以
下に示す。
理論組成 Y0.5Si9.75Al2.25O0.75N15.25
比表面積 2.5m2／ｇ
粒 形 等軸結晶
生成相 α相≧90％
生成物組成（wt％）
Ｙ：7.2 Si：44.2 Al：9.8 Ｏ：4.9 Ｎ：33.9
過剰酸素量 2.9重量％
上記α−サイアロン粉末及び窒化珪素粉末（平
均径：0.5μｍ、比表面積：11m2／ｇ）を第１表に
示す割合で、媒体としてエタノールを用い48時間
湿式ミリングした後、80℃で真空乾燥した。得ら
れた粉末40ｇを80×44mmの金型を使用して150
Kg／cm2の圧力で一軸プレスした後、1500Kg／cm2の
圧力でラバープレスして成形体を得た。この成形
体を黒鉛ルツボに入れ、高周波誘導炉にセツト
し、窒素ガス雰囲気下に1750℃で４時間保持し
た。
均径：0.5μｍ、比表面積：11m2／ｇ）を第１表に
示す割合で、媒体としてエタノールを用い48時間
湿式ミリングした後、80℃で真空乾燥した。得ら
れた粉末40ｇを80×44mmの金型を使用して150
Kg／cm2の圧力で一軸プレスした後、1500Kg／cm2の
圧力でラバープレスして成形体を得た。この成形
体を黒鉛ルツボに入れ、高周波誘導炉にセツト
し、窒素ガス雰囲気下に1750℃で４時間保持し
た。
得られたサイアロン基焼結体の特性を第１表に
示す。実施例４で得られたサイアロン基焼結体の
透過型電子顕微鏡写真を第１図に示し、第１図中
の←１及び←２で示した部分のＸ線マイクロアナ
ライザーによる元素分析結果を、それぞれ、第２
図のａ及びｂに示す。
示す。実施例４で得られたサイアロン基焼結体の
透過型電子顕微鏡写真を第１図に示し、第１図中
の←１及び←２で示した部分のＸ線マイクロアナ
ライザーによる元素分析結果を、それぞれ、第２
図のａ及びｂに示す。
実施例６〜10及び比較例２〜３
非晶質窒化珪素粉末、Y2O3粉末、金属Al粉末
及びγ−Al2O3粉末を第２表に記載の割合で窒素
ガス雰囲気下に振動ミルで１時間混合した。次い
で、混合粉末を実施例１と同様の方法で加熱し、
さらに最高温度で第２表に記載の時間保持して結
晶化させ、Ｙ系α−サイアロン粉末を得た。
及びγ−Al2O3粉末を第２表に記載の割合で窒素
ガス雰囲気下に振動ミルで１時間混合した。次い
で、混合粉末を実施例１と同様の方法で加熱し、
さらに最高温度で第２表に記載の時間保持して結
晶化させ、Ｙ系α−サイアロン粉末を得た。
このα−サイアロン粉末40重量％と窒化珪素粉
末60重量％を混合し、実施例１と同様の方法で焼
結してサイアロン基焼結体を得た。得られた焼結
体の特性を第３表に示す。
末60重量％を混合し、実施例１と同様の方法で焼
結してサイアロン基焼結体を得た。得られた焼結
体の特性を第３表に示す。
第１図は実施例４で得られたサイアロン基焼結
体の粒子構造を示す図であり、第２図ａ及びｂ
は、第１図中の←１及び←２で示した部分のＸ線
マイクロアナライザーによる元素分析結果を示す
図である。
体の粒子構造を示す図であり、第２図ａ及びｂ
は、第１図中の←１及び←２で示した部分のＸ線
マイクロアナライザーによる元素分析結果を示す
図である。
【表】
【表】
【表】
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 式MX（Si，Al）12（Ｏ，Ｎ）16 （式中、ＭはLi、Mg、Ca、Ｙ、又はLa及びCe
以外のランタニド系金属元素を示し、ｘは０＜ｘ
≦２を満足する数である。）で表されるα−サイ
アロンを主たる相とし、かつ上記式で規定される
理論酸素量に対して１〜6.5重量％の過剰酸素を
含有するα−サイアロン粉末と、窒化珪素粉末と
の混合粉末を、窒素含有雰囲気下に、1600〜1900
℃の範囲の温度で焼結することを特徴とする、上
記α−サイアロンの粒状結晶、 式 Si6-ZAlZOZN8-Z （式中、ｚは０＜ｚ≦4.2を満足する数である。）
で表されるβ−サイアロンの針状結晶及び上記金
属Ｍを含むガラス相からなるサイアロン基焼結体
の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151057A JPS63319269A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | サイアロン基焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151057A JPS63319269A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | サイアロン基焼結体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63319269A JPS63319269A (ja) | 1988-12-27 |
| JPH0461834B2 true JPH0461834B2 (ja) | 1992-10-02 |
Family
ID=15510354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62151057A Granted JPS63319269A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | サイアロン基焼結体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63319269A (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58185484A (ja) * | 1982-02-26 | 1983-10-29 | ル−カス・インダストリ−ズ・パブリツク・リミテツド・カンパニ− | セラミック物質の製造法 |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP62151057A patent/JPS63319269A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63319269A (ja) | 1988-12-27 |
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